Табақчаи графити MOCVD чист?

Афзоиши эпитаксиалии вафлҳо тавассути технологияи ҷойгиркунии буғи кимиёвии органикии металлӣ (MOCVD) ба даст оварда мешавад, ки дар он газҳои ултра-тоза ба реактор ворид карда мешаванд ва бо дақиқӣ чен карда мешаванд, то онҳо дар ҳарорати баланд якҷоя шуда, таъсири мутақобилаи кимиёвиро ба вуҷуд оранд ва ба вафлҳои нимноқилӣ дар қабатҳои хеле тунуки атомӣ ҷойгир карда шуда, эпитаксии маводҳо ва нимноқилҳои мураккабро ташкил медиҳанд.

Дар таҷҳизоти CVD, субстратро барои таҳшинкунии эпитаксиалӣ мустақиман ба рӯи металл ё танҳо ба поя гузоштан мумкин нест, зеро ба он омилҳои зиёде таъсир мерасонанд. Аз ин рӯ, барои нигоҳ доштани субстрат суссептор ё табақча лозим аст ва сипас аз технологияи CVD барои анҷом додани таҳшинкунии эпитаксиалӣ дар субстрат истифода баред. Ин суссептор як астСусептори графити MOCVD(инчунин номида мешавадТабақчаи графити MOCVD).

Сохтори он дар расми зер нишон дода шудааст:

Чаро суссептори графитӣ ба пӯшиши CVD ниёз дорад?

Суссептори графитӣ яке аз ҷузъҳои асосии таҷҳизоти MOCVD мебошад. Он элементи интиқолдиҳанда ва гармкунандаи субстрат мебошад. Параметрҳои кори он, ба монанди устувории гармӣ ва якрангии гармӣ, дар сифати афзоиши маводи эпитаксиалӣ нақши ҳалкунанда мебозанд ва мустақиман якрангӣ ва покии маводи плёнкаи тунуки эпитаксиалиро муайян мекунанд. Аз ин рӯ, сифати он мустақиман ба тайёр кардани вафлиҳои эпитаксиалӣ таъсир мерасонад. Дар айни замон, бо афзоиши шумораи истифода ва тағирёбии шароити корӣ, фарсудашавӣ ва кандашавии он хеле осон аст ва он маводи истеъмолӣ мебошад. Гузаронандагии аълои гармӣ ва устувории графит ба он ҳамчун ҷузъи асосии таҷҳизоти MOCVD бартарии калон медиҳад.

Аммо, агар он танҳо графити холис бошад, баъзе мушкилот ба миён меоянд. Дар раванди истеҳсолӣ, газҳои зангзанандаи боқимонда ва моддаҳои органикии металлӣ боқӣ мемонанд ва суссептори графит занг мезанад ва меафтад, ки мӯҳлати кори суссептори графитиро хеле кам мекунад. Дар айни замон, афтидани хокаи графит инчунин боиси ифлосшавии пластина мегардад, аз ин рӯ, ин мушкилот бояд дар раванди омодасозии пойгоҳ ҳал карда шаванд. Технологияи рӯйпӯшкунӣ метавонад фиксатсияи хокаи рӯизаминиро таъмин кунад, гузариши гармиро беҳтар созад ва тақсимоти гармиро мувозинат кунад ва ба технологияи асосии ҳалли ин мушкилот табдил ёфтааст.

Мувофиқи муҳити татбиқ ва талаботи истифодаи пойгоҳи графит, рӯйпӯши рӯизаминӣ бояд хусусиятҳои зеринро дошта бошад:

1. Зичии баланд ва фарогирии пурра:Асоси графит дар муҳити кории ҳарорати баланд ва зангзананда қарор дорад. Сатҳи он бояд пурра пӯшонида шуда бошад ва пӯшиш бояд зичии хуб дошта бошад, то нақши хуби муҳофизатӣ дошта бошад.

2. Ҳамвории хуби сатҳ:Азбаски асоси графитӣ, ки барои парвариши монокристаллҳо истифода мешавад, ҳамвории сатҳи хеле баландро талаб мекунад, ҳамвории аслии асос бояд пас аз омода кардани рӯйпӯш нигоҳ дошта шавад, яъне сатҳи рӯйпӯш бояд яксон бошад.

3. Қувваи хуби пайванд:Кам кардани фарқияти коэффитсиенти васеъшавии гармӣ байни пойгоҳи графит ва маводи рӯйпӯш метавонад қувваи пайванди байни ин дуро самаранок беҳтар созад. Пас аз таҷриба кардани давраҳои гармии ҳарорати баланд ва паст, рӯйпӯш ба осонӣ кафида намешавад.

4. Гузаронандагии баланди гармӣ:Рушди чипҳои баландсифат барои таъмини гармии зуд ва яксон аз пойгоҳи графит талаб мекунад, аз ин рӯ маводи рӯйпӯш бояд гузаронандагии баланди гармӣ дошта бошад.

5. Нуқтаи баланди обшавӣ, муқовимати оксидшавӣ ба ҳарорати баланд ва муқовимат ба зангзанӣ:Пӯшиш бояд қодир бошад, ки дар ҳарорати баланд ва муҳити кории зангзананда устувор кор кунад.

Устувории гармӣ, якрангии гармӣ ва дигар параметрҳои фаъолияти онСусептори графити бо пӯшонидашудаи SiCдар сифати афзоиши маводи эпитаксиалӣ нақши ҳалкунанда мебозанд, аз ин рӯ, он ҷузъи калидии асосии таҷҳизоти MOCVD мебошад.

Шакли кристаллии β-SiC (3C-SiC) ҳамчун рӯйпӯш интихоб карда мешавад. Дар муқоиса бо дигар шаклҳои кристаллӣ, ин шакли кристалл як қатор хосиятҳои аъло, аз қабили устувории хуби термодинамикӣ, муқовимати оксидшавӣ ва муқовимати зангзанӣ дорад. Дар айни замон, он дорои гузаронандагии гармӣ мебошад, ки асосан бо графит мувофиқ аст ва ба ин васила ба пойгоҳи графит хосиятҳои махсус медиҳад. Он метавонад вайроншавии пойгоҳи графитро, ки дар натиҷаи оксидшавӣ ва зангзании ҳарорати баланд ва талафоти хока ҳангоми хизматрасонӣ ба вуҷуд омадааст, самаранок ҳал кунад ва сатҳи пойгоҳи графитро зич, ғайрисӯрохдор, тобовар ба ҳарорати баланд, зидди зангзанӣ, зидди оксидшавӣ ва дигар хусусиятҳо гардонад ва бо ин васила сифати эпитаксиалии кристалл ва мӯҳлати хидматрасонии пойгоҳи графитиро беҳтар созад (мӯҳлати хидматрасонии пойгоҳи графити бо пӯшонидашудаи SiC дар кӯраҳо чен карда мешавад).

Чӣ тавр табақча/сусептори графити MOCVD-ро интихоб кардан мумкин аст, ки ба ҳарорати баланд ва зангзанӣ тобовар бошад?

Ҳангоми интихоби атабақи графитӣ ё ҳассос барои MOCVDки ба зангзании ҳарорати баланд тобовар аст, омилҳои асосии зеринро бояд ба назар гирифт:

1. Покии мавод:Маводҳои графити баландсифат метавонанд дар ҳарорати баланд ба зангзанӣ ва оксидшавӣ беҳтар муқовимат кунанд ва таъсири ифлосҳоро ба раванди таҳшиншавӣ кам кунанд.

2. Зичӣ ва сӯрохнокӣ:Табақчаҳои графитӣ бо зичии баланд ва сӯрохии паст қувваи механикии беҳтар ва муқовимати зангзаниро доранд ва метавонанд аз воридшавии газ ва эрозияи мавод самаранок пешгирӣ кунанд.

3. Гузаронидани гармӣ:Табақчаи графитии дорои гармигузаронии баланди гармӣ ба тақсимоти баробари гармӣ, кам кардани фишори гармӣ ва беҳтар кардани устуворӣ ва мӯҳлати хизмати таҷҳизот мусоидат мекунад.

4. Коркарди рӯизаминӣ:Паллетҳои графитӣ, ки коркарди махсуси рӯизаминӣ, ба монанди рӯйпӯшкунӣ ё пӯшишро аз сар гузаронидаанд, метавонанд муқовимати зангзанӣ ва фарсудашавии худро боз ҳам беҳтар гардонанд.

5. Андоза ва шакл:Мувофиқи талаботи мушаххаси таҷҳизоти MOCVD, андоза ва шакли мувофиқро интихоб кунед, то мутобиқати табақ бо таҷҳизот ва қулайии кор таъмин карда шавад.

6. Обрӯи истеҳсолкунанда:Барои таъмини эътимоднокии сифати маҳсулот ва хидматрасонии пас аз фурӯш, истеҳсолкунандаеро бо обрӯи хуб ва таҷрибаи ғанӣ интихоб кунед.

7. Самаранокии хароҷот:Бо дарназардошти талаботи техникӣ, самаранокии хароҷотро ба назар гиред ва маҳсулотеро интихоб кунед, ки самаранокии арзиши баландтар доранд.

VET Energy як таъминкунандаи суссептори графити баландсифат мебошад, мо доираи васеи категорияҳоро пешниҳод менамоем ва онро дар таҷҳизоти MOCVD бо тамғаҳо, моделҳо ва хусусиятҳои гуногун истифода бурдан мумкин аст.Сусептори графити бо пӯшонидашудаи SiCОнҳое, ки аз ҷониби VET Energy истеҳсол мешаванд, нуқтаҳои тамос бо рӯйпӯш ва пайвандҳои заиф надоранд. Аз ҷиҳати мӯҳлати хизмат, онҳо метавонанд ба талаботи муштариён бо ниёзҳои гуногун (аз ҷумла истифодаи атмосфераи хлордор) ҷавобгӯ бошанд ва муштариён метавонанд машварат ва дархост пешниҳод кунанд.