Афзоиши эпитаксиалии вафли тавассути технологияи таҳкурсии буғи химиявии органикии металлӣ (MOCVD) ба даст оварда мешавад, ки дар он газҳои ултра пок ба реактор ворид карда мешаванд ва ба таври дақиқ чен карда мешаванд, то онҳо дар ҳарорати баланд муттаҳид карда, таъсири мутақобилаи кимиёвӣ ба вуҷуд оранд ва ба вафли нимноқил дар қабатҳои хеле тунуки атомӣ ҷойгир карда мешаванд, то маводи эпитаксиалии мураккаби эпитаксиалиро ташкил кунанд.
Дар таҷҳизоти CVD, субстратро мустақиман ба металл ё танҳо дар поя барои таҳшиншавии эпитаксиалӣ ҷойгир кардан мумкин нест, зеро ба он омилҳои зиёд таъсир мерасонанд. Аз ин рӯ, барои нигоҳ доштани субстрат ҳассос ё табақи лозим аст ва сипас технологияи CVD-ро барои иҷрои таҳшини эпитаксиалӣ дар субстрат истифода баред. Ин ҳабскунанда аҲассоскунандаи графити MOCVD(инчунин номида мешавадТабақи графити MOCVD).
Сохтори он дар расми зерин нишон дода шудааст:
Чаро ҳассосияти графит ба рӯйпӯши CVD ниёз дорад?
Ҳасбкунандаи графит яке аз ҷузъҳои асосии таҷҳизоти MOCVD мебошад. Он интиқолдиҳанда ва гармидиҳии субстрат мебошад. Параметрҳои иҷрои он ба монанди устувории гармӣ ва якрангии гармӣ дар сифати афзоиши маводи эпитаксиалӣ нақши ҳалкунанда мебозанд ва бевосита якранг ва тозагии маводи филми тунуки эпитаксиалиро муайян мекунанд. Аз ин ру, сифати он ба тайёр кардани пластинкахои эпитаксиалй бевосита таъсир мерасонад. Дар баробари ин, бо афзоиши шумораи истифодабарӣ ва тағйирёбии шароити кор, пӯшидан ва канда шудан хеле осон аст, он маводи истеъмолӣ мебошад. Қобилияти аълои гармӣ ва устувории графит ба он ҳамчун ҷузъи асосии таҷҳизоти MOCVD бартарии калон медиҳад.
Аммо, агар он танҳо графити пок бошад, баъзе мушкилот ба миён меоянд. Дар процесси истехсолот газхои зангзананда ва моддахои органикии металлй бокимонда хоханд буд ва графит ба занг зада меафтад, ки ин мухлати хизмати хассоси графитро хеле кам мекунад. Дар баробари ин, хокаи графит афтода низ боиси ифлосшавии вафли мегардад, бинобар ин, ин мушкилотро дар раванди омодасозии пойгоҳ ҳал кардан лозим аст. Технологияи пӯшиш метавонад устувории хокаи рӯизаминиро таъмин кунад, гузариши гармиро баланд бардорад ва тавозуни тақсимоти гармиро таъмин кунад ва ба технологияи асосии ҳалли ин мушкилот табдил ёфтааст.
Мувофиқи муҳити татбиқ ва талаботи истифодаи пойгоҳи графит, рӯйпӯши рӯизаминӣ бояд хусусиятҳои зеринро дошта бошад:
1. Зичии баланд ва фарогирии пурра:Пойгоҳи графит дар муҳити кории ҳарорати баланд ва зангзананда қарор дорад. Сатҳи бояд пурра пӯшонида шавад ва рӯйпӯш бояд зичии хуб дошта бошад, то нақши хуби муҳофизатӣ бозӣ кунад.
2. Ҳамвор будани сатҳи хуб:Азбаски пойгоҳи графите, ки барои афзоиши яккристалл истифода мешавад, ҳамвории сатҳи хеле баландро талаб мекунад, пас аз омода кардани рӯйпӯш ҳамвории аслии пойгоҳ бояд нигоҳ дошта шавад, яъне сатҳи рӯйпӯш бояд яксон бошад.
3. Қувваи хуби пайвастшавӣ:Кам кардани фарқияти коэффисиенти тавсеаи гармидиҳӣ байни пойгоҳи графит ва маводи рӯйпӯш метавонад қувваи пайвасти байни ҳардуро ба таври муассир беҳтар кунад. Пас аз сар кардани давраҳои гармии ҳарорати баланд ва паст, кафидани рӯйпӯш осон нест.
4. Гармигузаронии баланд:Рушди чипҳои баландсифат заминаи графитро талаб мекунад, ки гармии зуд ва якхеларо таъмин кунад, аз ин рӯ маводи рӯйпӯш бояд гузаронандаи гармии баланд дошта бошад.
5. Нуқтаи обшавии баланд, муқовимати оксидшавии ҳарорати баланд ва муқовимат ба зангзанӣ:Сарпӯш бояд дар ҳарорати баланд ва муҳити кории зангзананда устувор кор кунад.
Устувории гармӣ, якрангии гармӣ ва дигар параметрҳои иҷроиҲассосияти графити бо SiC пӯшидашудадар сифати афзоиши маводи эпитаксиалӣ нақши ҳалкунанда мебозад, бинобар ин он ҷузъи асосии таҷҳизоти MOCVD мебошад.
Шакли булӯрии β-SiC (3C-SiC) ҳамчун рӯйпӯш интихоб карда мешавад. Дар муқоиса бо дигар шаклҳои булӯр, ин шакли булӯр дорои як қатор хосиятҳои аъло, ба монанди устувории хуби термодинамикӣ, муқовимати оксидшавӣ ва муқовимат ба зангзанӣ мебошад. Дар баробари ин, он дорои хосиятҳои махсуси графитӣ мебошад, ки асосан ба графит мувофиқат мекунад. Он метавонад шикасти пойгоҳи графитро, ки дар натиҷаи оксидшавии ҳарорати баланд ва зангзанӣ ва талафоти хока ҳангоми хидмат ба вуҷуд омадаанд, самаранок ҳал кунад ва сатҳи пойгоҳи графитро зич, ғайриоддӣ, ба ҳарорати баланд тобовар, зидди зангзанӣ, зидди оксидшавӣ ва дигар хусусиятҳо гардонад ва ба ин васила сифати эпитаксиалии кристалл ва мӯҳлати хидмати кографи асосиро беҳтар созад. печҳо).
Чӣ тавр интихоб кардани табақи графитии MOCVD/сусептор, ки ба ҳарорати баланд ва зангзанӣ тобовар аст?
Ҳангоми интихоби атабақи графитӣ ё ҳассос барои MOCVDки ба зангзании ҳарорати баланд тобовар аст, омилҳои асосии зерин бояд ба назар гирифта шаванд:
1. Тозагии моддӣ:Маводҳои графити тозагии баланд метавонанд ба зангзанӣ ва оксидшавӣ дар ҳарорати баланд муқовимат кунанд ва таъсири ифлосҳоро ба раванди таҳшиншавӣ коҳиш диҳанд.
2. Зичӣ ва ковокӣ:Ҷӯйборҳои графитӣ бо зичии баланд ва порозияи паст дорои қувваи беҳтари механикӣ ва муқовимат ба зангзанӣ мебошанд ва метавонанд воридшавии газ ва эрозияи маводро самаранок пешгирӣ кунанд.
3. Кобилияти гармигузаронӣ:Табақи гармидиҳии баландсифати графитӣ барои тақсим кардани гармӣ, коҳиш додани фишори гармӣ ва беҳтар кардани устуворӣ ва мӯҳлати хидматрасонии таҷҳизот кӯмак мекунад.
4. Коркарди рӯизаминӣ:Палетҳои графитӣ, ки аз коркарди махсуси рӯизаминӣ, аз қабили пӯшиш ё пӯшиш гузаштаанд, метавонанд муқовимат ба зангзании худро ва муқовимати фарсудашавии худро боз ҳам баланд бардоранд.
5. Андоза ва шакл:Мувофиқи талаботи мушаххаси таҷҳизоти MOCVD, андоза ва шакли мувофиқро интихоб кунед, то мутобиқати табақа бо таҷҳизот ва роҳати кор таъмин карда шавад.
6. Обрӯи истеҳсолкунанда:Истеҳсолкунандаеро интихоб кунед, ки обрӯи хуб ва таҷрибаи бой дорад, то эътимоднокии сифати маҳсулот ва хидматрасонии пас аз фурӯшро таъмин кунад.
7. Самаранокии хароҷот:Дар асоси қонеъ кардани талаботҳои техникӣ, самаранокии хароҷотро баррасӣ кунед ва маҳсулоти дорои арзиши баландтарро интихоб кунед.
VET Energy як таъминкунандаи ҳассосияти графити тозагии баланд аст, мо доираи васеи категорияҳоро пешниҳод мекунем ва онро дар таҷҳизоти MOCVD тамғаҳо, моделҳо ва мушаххасоти гуногун истифода бурдан мумкин аст. ДарҲассосияти графити бо SiC пӯшидашудаки аз ҷониби VET Energy истеҳсол шудааст, нуқтаҳои алоқаи пӯшиш ва пайвандҳои заиф надоранд. Дар робита ба мӯҳлати хидмат онҳо метавонанд ба талаботи муштариёни дорои ниёзҳои гуногун (аз ҷумла истифодаи атмосфераи хлордор) қонеъ гардонанд ва муштариён барои машварат ва дархост муроҷиат мекунанд.
Вақти фиристодан: Март-01-2025