Vöxtur á skífum næst með tækni sem kallast málmlífræn efnagufuútfelling (MOCVD), þar sem afarhreinar lofttegundir eru sprautaðar inn í hvarfefnið og fínmældar, þannig að þær sameinast við hækkað hitastig til að valda efnahvörfum og eru settar á hálfleiðaraskífur í mjög þunnum atómlögum til að mynda útfellingu efna og efnasambanda hálfleiðara.
Í CVD búnaði er ekki hægt að setja undirlagið beint á málm eða einfaldlega á botn til að leggja epitaxískan grunn, því margir þættir hafa áhrif á það. Þess vegna þarf móttakara eða bakka til að halda undirlaginu og nota síðan CVD tækni til að framkvæma epitaxískan grunn á undirlaginu. Þessi móttakari er...MOCVD grafítskynjari(einnig kallaðMOCVD grafítbakki).
Uppbygging þess er sýnd á myndinni hér að neðan:
Af hverju þarf grafítskynjarinn CVD-húðun?
Grafítskynjarinn er einn af kjarnaþáttum MOCVD búnaðar. Hann er burðarefni og hitaþáttur undirlagsins. Afköst hans, svo sem hitastöðugleiki og hitajafnvægi, gegna lykilhluti í gæðum vaxtar epitaxial efnisins og ákvarða beint einsleitni og hreinleika epitaxial þunnfilmuefna. Þess vegna hefur gæði hans bein áhrif á undirbúning epitaxial skífna. Á sama tíma, með aukinni notkun og breytingum á vinnuskilyrðum, er hann mjög auðvelt að slitna og er rekstrarvara. Framúrskarandi hitaleiðni og stöðugleiki grafíts gefur því mikinn kost sem grunnþátt í MOCVD búnaði.
Hins vegar, ef um hreint grafít er að ræða, munu koma upp vandamál. Í framleiðsluferlinu verða eftirstandandi ætandi lofttegundir og lífræn málmefni, og grafítþrýstibúnaðurinn mun tærast og detta af, sem dregur verulega úr endingartíma grafítþrýstibúnaðarins. Á sama tíma mun fallandi grafítduft einnig valda mengun á skífunni, þannig að þessi vandamál þarf að leysa við undirbúning grunnsins. Húðunartækni getur tryggt yfirborðsfestingu duftsins, aukið varmaleiðni og jafnað varmadreifingu og hefur orðið aðaltæknin til að leysa þetta vandamál.
Samkvæmt notkunarumhverfi og notkunarkröfum grafítgrunnsins ætti yfirborðshúðunin að hafa eftirfarandi eiginleika:
1. Mikil þéttleiki og full þekja:Grafítgrunnurinn er í vinnuumhverfi sem getur orðið fyrir miklum hita og tæringu. Yfirborðið verður að vera alveg þakið og húðunin verður að hafa góða þéttleika til að gegna góðu verndandi hlutverki.
2. Góð yfirborðsflattleiki:Þar sem grafítgrunnurinn sem notaður er til vaxtar einkristalla krefst mjög mikillar yfirborðsflattleika, verður að viðhalda upprunalegri flatleika grunnsins eftir að húðunin er undirbúin, það er að segja, yfirborð húðunarinnar verður að vera einsleitt.
3. Góður límstyrkur:Með því að minnka muninn á varmaþenslustuðlinum milli grafítgrunnsins og húðunarefnisins er hægt að bæta límstyrkinn á milli þeirra tveggja á áhrifaríkan hátt. Eftir að hafa gengið í gegnum hitabreytingar við háan og lágan hita er húðunin ekki auðvelt að springa.
4. Mikil varmaleiðni:Hágæða flísvöxtur krefst þess að grafítgrunnurinn veiti hraðan og jafnan hita, þannig að húðunarefnið ætti að hafa mikla varmaleiðni.
5. Hátt bræðslumark, oxunarþol við háan hita og tæringarþol:Húðunin ætti að geta virkað stöðugt í háum hita og tærandi vinnuumhverfi.
Hitastöðugleiki, hitajöfnuður og aðrir afköstarþættirSiC húðaður grafítviðnámsnemigegna lykilhlutverki í gæðum vaxtar epitaxial efnis, þannig að það er kjarninn í lykilþáttum MOCVD búnaðar.
β-SiC (3C-SiC) kristallaform er valið sem húðun. Í samanburði við aðrar kristallaform hefur þetta kristallaform fjölda framúrskarandi eiginleika eins og góðan varmafræðilegan stöðugleika, oxunarþol og tæringarþol. Á sama tíma hefur það varmaleiðni sem er í grundvallaratriðum í samræmi við grafít, sem gefur grafítgrunninum sérstaka eiginleika. Það getur á áhrifaríkan hátt leyst bilun í grafítgrunninum sem stafar af oxun við háan hita og tæringu og dufttapi við notkun, og gert yfirborð grafítgrunnsins þéttara, ekki holótt, háhitaþolið, tæringarvarna, oxunarvarna og aðra eiginleika, og þannig bætt gæði kristalsins og endingartíma grafítgrunnsins (endingartími SiC-húðaðs grafítgrunns er mældur í ofnum).
Hvernig á að velja MOCVD grafítbakka/viðnámsþol sem er ónæmur fyrir háum hita og tæringu?
Þegar þú velurgrafítbakki eða susceptor fyrir MOCVDsem er ónæmt fyrir tæringu við háan hita, ætti að hafa eftirfarandi lykilþætti í huga:
1. Hreinleiki efnisins:Háhrein grafítefni geta betur staðist tæringu og oxun við háan hita og dregið úr áhrifum óhreininda á útfellingarferlið.
2. Þéttleiki og gegndræpi:Grafítbakkar með mikilli þéttleika og lágu gegndræpi hafa betri vélrænan styrk og tæringarþol og geta á áhrifaríkan hátt komið í veg fyrir gasgegndræpi og efniseyðingu.
3. Varmaleiðni:Grafítbakkinn með mikilli varmaleiðni hjálpar til við að dreifa hita jafnt, draga úr hitaálagi og bæta stöðugleika og endingartíma búnaðarins.
4. Yfirborðsmeðferð:Grafítpallar sem hafa gengist undir sérstaka yfirborðsmeðhöndlun, svo sem húðun eða málun, geta aukið tæringarþol þeirra og slitþol enn frekar.
5. Stærð og lögun:Samkvæmt sérstökum kröfum MOCVD búnaðarins skal velja viðeigandi stærð og lögun til að tryggja samhæfni bakkans við búnaðinn og þægilega notkun.
6. Orðspor framleiðanda:Veldu framleiðanda með gott orðspor og mikla reynslu til að tryggja áreiðanleika vörugæða og þjónustu eftir sölu.
7. Hagkvæmni:Með það að leiðarljósi að uppfylla tæknilegar kröfur skal hafa hagkvæmni í huga og velja vörur með hærri kostnaðarafköstum.
VET Energy er birgir af hágæða grafítviðnámsþráðum, við bjóðum upp á fjölbreytt úrval af flokkum og er hægt að nota í MOCVD búnaði af mismunandi vörumerkjum, gerðum og með mismunandi forskriftum.SiC húðaður grafítviðnámsnemiFramleiddar af VET Energy eru án snertipunkta við húðun og án veikra hlekka. Hvað varðar endingartíma geta þær uppfyllt kröfur viðskiptavina með mismunandi þarfir (þar á meðal notkun á klórinnihaldandi andrúmslofti) og viðskiptavinir eru velkomnir að hafa samband og senda fyrirspurnir.
Birtingartími: 1. mars 2025