Epitaksijalni rast pločica postiže se tehnologijom metalorganskog hemijskog taloženja iz parne faze (MOCVD), u kojoj se ultračisti gasovi ubrizgavaju u reaktor i fino doziraju, tako da se na povišenim temperaturama spajaju i izazivaju hemijske interakcije, a zatim se talože na poluprovodničke pločice u vrlo tankim atomskim slojevima formirajući epitaksiju materijala i složenih poluprovodnika.
U CVD opremi, supstrat se ne može postaviti direktno na metal ili jednostavno na podlogu za epitaksijalno nanošenje, jer će na njega uticati mnogi faktori. Stoga je potreban susceptor ili tacna za držanje supstrata, a zatim korištenje CVD tehnologije za izvođenje epitaksijalnog nanošenja na supstrat. Ovaj susceptor je...MOCVD grafitni susceptor(također se nazivaMOCVD grafitni pladanj).
Njegova struktura je prikazana na slici ispod:
Zašto je grafitnom susceptoru potreban CVD premaz?
Grafitni susceptor je jedna od osnovnih komponenti MOCVD opreme. On je nosač i grijaći element supstrata. Njegovi parametri performansi, kao što su termička stabilnost i termička ujednačenost, igraju odlučujuću ulogu u kvaliteti rasta epitaksijalnog materijala i direktno određuju ujednačenost i čistoću epitaksijalnih tankoslojnih materijala. Stoga, njegov kvalitet direktno utiče na pripremu epitaksijalnih pločica. Istovremeno, sa povećanjem broja upotreba i promjenama u radnim uslovima, vrlo se lako troši i predstavlja potrošni materijal. Odlična termička provodljivost i stabilnost grafita daju mu veliku prednost kao osnovnoj komponenti MOCVD opreme.
Međutim, ako se radi samo o čistom grafitu, doći će do nekih problema. U procesu proizvodnje, postojat će rezidualni korozivni plinovi i metalne organske tvari, a grafitni susceptor će korodirati i otpadati, što znatno smanjuje vijek trajanja grafitnog susceptora. Istovremeno, padajući grafitni prah također će uzrokovati zagađenje pločice, tako da se ovi problemi moraju riješiti u procesu pripreme baze. Tehnologija premazivanja može osigurati fiksiranje površinskog praha, poboljšati toplinsku provodljivost i uravnotežiti raspodjelu topline, te je postala glavna tehnologija za rješavanje ovog problema.
U skladu sa okruženjem primjene i zahtjevima upotrebe grafitne baze, površinski premaz treba da ima sljedeće karakteristike:
1. Visoka gustoća i potpuna pokrivenost:Grafitna baza se nalazi u radnom okruženju s visokom temperaturom i korozivnim djelovanjem. Površina mora biti potpuno prekrivena, a premaz mora imati dobru gustoću kako bi imao dobru zaštitnu ulogu.
2. Dobra ravnost površine:Budući da grafitna baza koja se koristi za rast monokristala zahtijeva vrlo visoku ravnost površine, originalna ravnost baze mora se održati nakon pripreme premaza, odnosno površina premaza mora biti ujednačena.
3. Dobra čvrstoća lijepljenja:Smanjenje razlike u koeficijentu termičkog širenja između grafitne baze i materijala premaza može efikasno poboljšati čvrstoću veze između njih. Nakon što je izložen termičkim ciklusima visokih i niskih temperatura, premaz nije lako pucati.
4. Visoka toplotna provodljivost:Za visokokvalitetni rast čipa potrebna je grafitna baza koja osigurava brzo i ravnomjerno zagrijavanje, tako da materijal premaza treba imati visoku toplinsku provodljivost.
5. Visoka tačka topljenja, otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama i otpornost na koroziju:Premaz treba biti sposoban stabilno raditi u uvjetima visoke temperature i korozivnog radnog okruženja.
Termička stabilnost, termička ujednačenost i drugi parametri performansiGrafitni susceptor obložen SiC-omigraju odlučujuću ulogu u kvaliteti rasta epitaksijalnog materijala, tako da su ključna komponenta MOCVD opreme.
Kao premaz odabran je kristalni oblik β-SiC (3C-SiC). U poređenju s drugim kristalnim oblicima, ovaj kristalni oblik ima niz odličnih svojstava kao što su dobra termodinamička stabilnost, otpornost na oksidaciju i otpornost na koroziju. Istovremeno, ima toplotnu provodljivost koja je u osnovi konzistentna s grafitom, što grafitu daje posebna svojstva. Može efikasno riješiti kvar grafitne baze uzrokovan oksidacijom i korozijom na visokim temperaturama i gubitkom praha tokom upotrebe, te učiniti površinu grafitne baze gustom, neporoznom, otpornom na visoke temperature, antikorozivnom, antioksidacijskom i drugim karakteristikama, čime se poboljšava kvalitet kristalne epitaksijalne strukture i vijek trajanja grafitne baze (vijek trajanja grafitne baze obložene SiC-om mjeri se u pećima).
Kako odabrati MOCVD grafitni pladanj/susceptor otporan na visoke temperature i koroziju?
Prilikom odabiragrafitna posuda ili susceptor za MOCVDkoji je otporan na koroziju na visokim temperaturama, treba uzeti u obzir sljedeće ključne faktore:
1. Čistoća materijala:Visokočisti grafitni materijali mogu bolje odoljeti koroziji i oksidaciji na visokim temperaturama i smanjiti utjecaj nečistoća na proces taloženja.
2. Gustoća i poroznost:Grafitne posude visoke gustoće i niske poroznosti imaju bolju mehaničku čvrstoću i otpornost na koroziju, te mogu efikasno spriječiti prodiranje plina i eroziju materijala.
3. Toplotna provodljivost:Grafitna posuda visoke toplotne provodljivosti pomaže u ravnomjernoj raspodjeli toplote, smanjenju termičkog naprezanja i poboljšanju stabilnosti i vijeka trajanja opreme.
4. Površinska obrada:Grafitne palete koje su prošle posebnu površinsku obradu, poput premazivanja ili galvanizacije, mogu dodatno poboljšati svoju otpornost na koroziju i otpornost na habanje.
5. Veličina i oblik:U skladu sa specifičnim zahtjevima MOCVD opreme, odaberite odgovarajuću veličinu i oblik kako biste osigurali kompatibilnost posude s opremom i jednostavnost rukovanja.
6. Ugled proizvođača:Odaberite proizvođača s dobrom reputacijom i bogatim iskustvom kako biste osigurali pouzdanost kvalitete proizvoda i postprodajne usluge.
7. Isplativost:Uzimajući u obzir ispunjavanje tehničkih zahtjeva, razmotrite isplativost i odaberite proizvode s višim učinkom troškova.
VET Energy je dobavljač visokočistog grafitnog susceptora, nudimo širok raspon kategorija i možemo ih koristiti u MOCVD opremi različitih marki, modela i specifikacija.Grafitni susceptor obložen SiC-omProizvodi koje proizvodi VET Energy nemaju kontaktne tačke premaza niti slabe tačke. Što se tiče vijeka trajanja, mogu zadovoljiti zahtjeve kupaca s različitim potrebama (uključujući upotrebu atmosfera koje sadrže hlor), a kupci su dobrodošli da se konsultuju i raspitaju.
Vrijeme objave: 01.03.2025.