Waa maxay MOCVD saxaarad garaafeed?

Kobaca Epitaxial Wafer waxaa lagu gaaraa iyada oo loo marayo tikniyoolajiyadda kaydinta kiimikada organic organic (MOCVD), kaas oo gaasaska aadka u saafiga ah lagu duro reactor iyo si fiican loo mitir, si ay isugu daraan heerkulka sare si ay u keenaan isdhexgalka kiimikaad waxaana lagu shubaa wafers semiconductor ee lakabyo atomic ah oo dhuuban si ay u sameeyaan qalabyada semiconductors.

Qalabka CVD, substrate-ka si toos ah looguma dhejin karo birta ama si fudud looguma dhejin karo saldhigga epitaxial, sababtoo ah waxaa saameyn doona arrimo badan. Sidaa darteed, susceptor ama saxaarad ayaa loo baahan yahay si loo qabto substrate-ka, ka dibna la isticmaalo tignoolajiyada CVD si loo sameeyo dhigaalka epitaxial ee substrate-ka. Dhibbanahani waa aMOCVD graphite suceptor(sidoo kale loo yaqaanMOCVD saxaarad garaafeed).

Qaab dhismeedkeeda waxa lagu muujiyay sawirka hoose:

Waa maxay sababta uu graphite susceptor u baahan yahay daahan CVD?

Susceptor graphite waa mid ka mid ah qaybaha xudunta u ah qalabka MOCVD. Waa sidaha iyo walxaha kuleylka substrate-ka. Qiyaasta waxqabadkeeda sida xasilloonida kuleylka iyo isku-duubnaanta kulaylka waxay door muhiim ah ka ciyaaraan tayada kobaca walxaha epitaxial, waxayna si toos ah u go'aamiyaan isku-duubnaanta iyo nadiifnimada qalabka filimka khafiifka ah ee epitaxial. Sidaa darteed, tayadeedu waxay si toos ah u saameyneysaa diyaarinta wafers epitaxial. Isla mar ahaantaana, kororka tirada isticmaalka iyo isbeddelka xaaladaha shaqada, aad bay u fududahay in la xidho oo la jeexjeexo, waa wax la isticmaalo. Heerarka kulaylka ee aadka u fiican iyo xasilloonida garaafka ayaa siinaya faa'iido weyn sida qayb ka mid ah qalabka MOCVD.

Si kastaba ha ahaatee, haddii ay tahay kaliya graphite saafi ah, waxaa jiri doona dhibaatooyin qaar. Habka wax soo saarka, waxaa jiri doona gaasaska daxalka ah ee haraaga ah iyo walxaha organic birta ah, iyo graphite susceptor ayaa daxaloobaya oo dhici doona, taas oo si weyn u yaraynaysa nolosha adeegga graphite susceptor. Isla mar ahaantaana, budada garaafka ee dhacaya waxay sidoo kale sababi doontaa wasakhowga wafer, markaa dhibaatooyinkan waxay u baahan yihiin in lagu xalliyo habka diyaarinta ee saldhigga. Tiknoolajiyada dahaarka waxay bixin kartaa hagaajinta budada dusha sare, kor u qaadida kuleylka kuleylka, iyo dheelitirka qaybinta kulaylka, waxayna noqotay tignoolajiyada ugu weyn ee lagu xalliyo dhibaatadan.

Marka loo eego jawiga codsiga iyo shuruudaha isticmaalka saldhigga graphite, dahaarka dusha sare waa inuu lahaadaa sifooyinka soo socda:

1. Cufnaanta sare iyo dabool buuxa:Saldhigga garaafka ayaa ku jira heerkul sare iyo jawi shaqo oo daxalaysan. Dusha sare waa in si buuxda loo daboolaa, dahaarkana waa inuu lahaadaa cufnaan wanaagsan si uu u ciyaaro door difaac wanaagsan.

2. Dhul siman oo wanaagsan:Maaddaama saldhigga graphite ee loo isticmaalo kobaca kristanta kali ah wuxuu u baahan yahay sagxad aad u sarreeya oo dusha sare ah, dabaqa asalka ah ee saldhigga waa in la ilaaliyaa ka dib marka daahan la diyaariyo, taas oo ah, dusha daboolka waa inuu noqdaa mid isku mid ah.

3. Xoog isku xidhid wanaagsan:Yaraynta farqiga u dhexeeya fidinta fidinta kulaylka ee u dhexeeya saldhigga graphite iyo walxaha daahan waxay si wax ku ool ah u wanaajin kartaa xoogga isku xidhka ee u dhexeeya labada. Ka dib markii aad la kulantay wareegyada kulaylka heerkulka sare iyo hooseeya, dahaarka ma fududa in la dillaaco.

4. Heerarka kulaylka sare:Kobaca jajabka tayada sare leh wuxuu u baahan yahay saldhigga graphite si uu u bixiyo kuleyl degdeg ah oo isku mid ah, sidaas darteed maaddada dahaarka waa inay lahaataa kuleylka kuleylka sare.

5. Bar dhalaalaysa sare, caabbinta oksaydhka heerkulka sare iyo iska caabinta daxalka:Dahaarka waa inuu awood u yeesho inuu si deggan ugu shaqeeyo heerkul sare iyo jawi shaqo oo wasakhaysan.

Deganaanshaha kulaylka, lebiska kulaylka iyo cabbirrada waxqabadka kale eeSiC dahaarka garaafyadadoor muhiim ah ka ciyaara tayada kobaca walxaha epitaxial, markaa waa qaybta ugu muhiimsan ee qalabka MOCVD.

β-SiC (3C-SiC) qaabka crystal ayaa loo doortay sida dahaarka. Marka la barbar dhigo qaababka kale ee crystal, qaabkani wuxuu leeyahay taxane ah sifooyin aad u fiican sida xasiloonida kuleyliyaha wanaagsan, caabbinta oksaydhka iyo iska caabinta daxalka. Isla mar ahaantaana, waxa ay leedahay conductivity kaamerada oo asal ahaan la jaan qaada garaafyada, sidaas darteed siinaya saldhigga garaafyada sifooyin gaar ah. Waxay si wax ku ool ah u xallin kartaa fashilka saldhigga graphite ee ay keento oksaydhka heerkulka sare iyo daxalka iyo luminta budada inta lagu jiro adeegga, oo waxay ka dhigi kartaa dusha sare ee graphite cufan, aan daloolin, heerkulka sare u adkaysta, anti-corrosion, anti-oxidation iyo sifooyin kale, sidaas darteed hagaajinta tayada epitaxial crystal iyo nolosha adeegga ee graphite aasaasiga ah ee saldhigga ah. foornooyinka).

Sidee loo doortaa MOCVD garaafay saxaarad/susceptor u adkaysta heerkulka sare iyo daxalka?

Markaad dooranayso asaxaarad graphite ama susceptor ee MOCVDtaas oo u adkaysata daxalka heerkulka sare, arrimaha soo socda ee muhiimka ah waa in la tixgeliyo:

1. Nadiifadda alaabta:Maaddooyinka garaafka nadiifka ah ee sarreeya waxay si fiican u diidi karaan daxalka iyo oksaydhka heerkulka sare waxayna yareeyaan saameynta wasakhda habka dhigaalka.

2. Cufnaanta iyo porosity:Saxarada graphite ee leh cufnaanta sare iyo porosity hooseeya waxay leeyihiin xoog farsamo oo wanaagsan iyo iska caabin daxalka, waxayna si wax ku ool ah uga hortagi karaan gaaska gaaska iyo nabaad guurka walxaha.

3. Dhaqdhaqaaqa kulaylka:Saxeexa garaafka sare ee kulaylka wuxuu caawiyaa inuu si siman u qaybiyo kulaylka, yareeyo diiqada kulaylka, iyo hagaajinta xasilloonida iyo nolosha adeegga qalabka.

4. Daaweynta dusha sare:Sariiraha graphite ee lagu sameeyay daawaynta dusha gaarka ah, sida dahaarka ama dahaadhida, waxay sii kordhin karaan caabbinta daxalka waxayna xidhaan caabbinta.

5. Cabbirka iyo qaabka:Marka loo eego shuruudaha gaarka ah ee qalabka MOCVD, dooro cabbirka iyo qaabka ku habboon si aad u hubiso in saxaarada ay ku habboon tahay qalabka iyo ku habboonaanta hawlgalka.

6. Sumcada soo saaraha:Dooro soo-saare leh sumcad wanaagsan iyo waayo-aragnimo qani ah si loo hubiyo kalsoonida tayada badeecada iyo adeegga iibka kadib.

7. Qiimaha-wax-ku-oolnimada:Marka la eego shuruudaha buuxinta shuruudaha farsamada, tixgeli kharashka-wax-ku-oolnimada oo dooro badeecado leh waxqabad qiimo sare leh.

VET Energy waa alaab-qeybiye garaaf ah oo nadiif ah oo sarreeya, waxaanu bixinaa noocyo badan oo kala duwan, waxaana loo isticmaali karaa qalabka MOCVD ee noocyo kala duwan, moodallo iyo tilmaamo. TheSiC dahaarka garaafyadaWaxa soo saara VET Energy ma laha meelaha lagala xidhiidho mana laha xidhiidh daciif ah. Xagga nolosha adeegga, waxay buuxin karaan shuruudaha macaamiisha leh baahiyo kala duwan (oo ay ku jiraan isticmaalka jawiga koloriin ku jira), macaamiisha waa lagu soo dhaweynayaa inay la tashadaan oo weydiiyaan.