Kobaca epitaxial-ka ee wafer-ka waxaa lagu gaaraa tiknoolajiyada kaydka uumiga kiimikada ee birta ah (MOCVD), kaas oo gaasaska aadka u saafiga ah lagu duro fal-galka oo si fiican loo cabbiro, si ay isugu daraan heerkul sare si ay u keenaan is-dhexgal kiimiko ah waxaana lagu shubaa wafers-ka semiconductor-ka ee lakabka atomiga aad u khafiifsan si ay u sameeyaan epitaxy-ga walxaha iyo semiconductor-yada isku dhafan.
Qalabka CVD, substrate-ka si toos ah looguma dhejin karo bir ama si fudud saldhig loogu talagalay dhigista epitaxial, sababtoo ah waxaa saameyn doona arrimo badan. Sidaa darteed, waxaa loo baahan yahay suuxdin ama saxaarad si loo qabto substrate-ka, ka dibna loo isticmaalo tiknoolajiyada CVD si loo sameeyo dhigista epitaxial-ka ee substrate-ka. Suuxdintani waaSumeeyaha garaafka MOCVD(sidoo kale loo yaqaanSaxanka garaafka ee MOCVD).
Qaab-dhismeedkeeda waxaa lagu muujiyay sawirka hoose:
Maxay tahay sababta suuska garaafka uu ugu baahan yahay dahaarka CVD?
Susceptor-ka garaafiga waa mid ka mid ah qaybaha ugu muhiimsan ee qalabka MOCVD. Waa qaybta side-ka iyo kululaynta ee substrate-ka. Xuduudaha waxqabadkeeda sida xasilloonida kulaylka iyo isku-midnimada kulaylka ayaa door muhiim ah ka ciyaara tayada koritaanka walxaha epitaxial, waxayna si toos ah u go'aamiyaan isku-midnimada iyo daahirnimada walxaha filimada khafiifka ah ee epitaxial. Sidaa darteed, tayadeedu waxay si toos ah u saamaysaa diyaarinta buskudka epitaxial. Isla mar ahaantaana, iyadoo la kordhinayo tirada isticmaalka iyo isbeddellada xaaladaha shaqada, aad bay u fududahay in la xidho oo la jeexjeexo, waa wax la isticmaalo. Hab-dhaqanka kulaylka ee aadka u fiican iyo xasilloonida graphite waxay siinayaan faa'iido weyn oo ah qayb asaasi ah oo ka mid ah qalabka MOCVD.
Si kastaba ha ahaatee, haddii uu yahay graphite saafi ah oo keliya, waxaa jiri doona dhibaatooyin. Habka wax soo saarka, waxaa jiri doona gaasaska haray ee daxalka ah iyo walxaha biraha dabiiciga ah, susceptor-ka graphite-kana wuu mirqi doonaa oo wuu dhici doonaa, taas oo si weyn u dhimaysa cimriga adeegga susceptor-ka graphite-ka. Isla mar ahaantaana, budada graphite ee dhacaysa ayaa sidoo kale sababi doonta wasakhowga wafer-ka, sidaa darteed dhibaatooyinkan waxaa loo baahan yahay in lagu xalliyo habka diyaarinta saldhigga. Tiknoolajiyadda dahaarka waxay bixin kartaa hagaajinta budada dusha sare, waxay kor u qaadi kartaa socodka kulaylka, waxayna dheellitiri kartaa qaybinta kulaylka, waxayna noqotay tikniyoolajiyadda ugu weyn ee lagu xallinayo dhibaatadan.
Sida waafaqsan jawiga codsiga iyo shuruudaha isticmaalka ee saldhigga graphite, dahaarka dusha sare waa inuu lahaadaa sifooyinka soo socda:
1. Cufnaan sare iyo dabool buuxa:Saldhigga garaafka wuxuu ku jiraa heerkul sare iyo jawi shaqo oo daxal leh. Dusha sare waa in si buuxda loo daboolaa, dahaadhkuna waa inuu lahaadaa cufnaan wanaagsan si uu u ciyaaro door ilaalin wanaagsan.
2. Fidsanaan dusha sare oo wanaagsan:Maadaama saldhigga garaafka ee loo isticmaalo kobaca keli ah ee kiristaalka ah uu u baahan yahay fidsanaan dusha sare oo aad u sarreysa, fidsanaan asalka ah ee saldhigga waa in la ilaaliyaa ka dib marka dahaarka la diyaariyo, taas oo ah, dusha sare ee dahaarka waa inay noqotaa mid isku mid ah.
3. Xoog isku xidhnaan wanaagsan:Yaraynta farqiga u dhexeeya isku-xidhka ballaarinta kulaylka ee u dhexeeya saldhigga garaafka iyo walxaha dahaarka leh waxay si wax ku ool ah u hagaajin kartaa xoogga isku xidhka labada. Ka dib marka la kulmo wareegyada kulaylka heerkulka sare iyo kan hoose, dahaarka ma fududa in la jabiyo.
4. Daawaynta kulaylka oo sareysa:Kobaca jajabka tayo sare leh wuxuu u baahan yahay saldhigga garaafka si uu u bixiyo kulayl degdeg ah oo siman, sidaa darteed walxaha dahaadhka leh waa inay lahaadaan kuleyl sare.
5. Bar dhalaalid sare, iska caabin oksaydh heerkulka sare iyo iska caabinta daxalka:Dahaarka waa inuu awood u yeeshaa inuu si joogto ah ugu shaqeeyo heerkul sare iyo jawi shaqo oo daxal leh.
Xasiloonida kulaylka, midnimada kulaylka iyo xuduudaha kale ee waxqabadka eeSusceptor-ka graphite-ka ee dahaarka leh ee SiCWaxay door muhiim ah ka ciyaaraan tayada koritaanka walxaha epitaxial, sidaa darteed waa qaybta ugu muhiimsan ee qalabka MOCVD.
Qaabka kiristaalka β-SiC (3C-SiC) ayaa loo xushay dahaarka. Marka la barbardhigo qaababka kale ee kiristaalka, qaabka kiristaalkani wuxuu leeyahay taxane sifooyin aad u fiican sida xasilloonida thermodynamic ee wanaagsan, iska caabbinta oksaydhka iyo iska caabbinta daxalka. Isla mar ahaantaana, wuxuu leeyahay hab-socod kuleyl oo asal ahaan la jaanqaadaya kan graphite, sidaas darteed wuxuu siinayaa saldhiga graphite sifooyin gaar ah. Waxay si wax ku ool ah u xallin kartaa fashilka saldhigga graphite ee ay keento oksaydhka heerkulka sare iyo daxalka iyo luminta budada inta lagu jiro adeegga, waxayna ka dhigi kartaa dusha sare ee saldhigga graphite mid cufan, aan dalool lahayn, u adkaysta heerkulka sare, ka hortagga daxalka, ka hortagga oksaydhka iyo astaamo kale, taasoo hagaajinaysa tayada epitaxial kiristaalka iyo cimriga adeegga ee saldhigga graphite (nolosha adeegga ee saldhigga graphite ee dahaarka leh ee SiC waxaa lagu cabbiraa foornooyinka).
Sidee loo doortaa saxaaradda/qalabka MOCVD ee graphite oo u adkaysta heerkulka sare iyo miridhka?
Marka aad dooranaysosaxaarad graphite ama susceptor ee MOCVDtaas oo u adkaysta daxalka heerkulka sare, arrimahan muhiimka ah waa in la tixgeliyaa:
1. Nadiifnimada agabka:Qalabka graphite-ka ee saafiga ah ayaa si fiican uga hortagi kara daxalka iyo oksaydhka heerkulka sare waxayna yareyn karaan saameynta wasakhda ku yeelan karta habka dhigista.
2. Cufnaanta iyo daloolada:Saxannada graphite-ka ee leh cufnaan sare iyo dalool yar waxay leeyihiin xoog farsamo oo wanaagsan iyo iska caabin daxalka, waxayna si wax ku ool ah uga hortagi karaan gelitaanka gaaska iyo nabaad-guurka walxaha.
3. Kobcinta kulaylka:Saxanka graphite-ka ee kulaylka sare leh wuxuu ka caawiyaa inuu si siman u qaybiyo kulaylka, yareeyo walbahaarka kulaylka, iyo inuu hagaajiyo xasilloonida iyo cimriga adeegga qalabka.
4. Daawaynta dusha sare:Baaldiyada graphite ee lagu sameeyay daaweyn gaar ah oo dusha sare ah, sida dahaarka ama dahaadhka, waxay sii xoojin karaan iska caabbinta daxalka iyo iska caabbinta xirashada.
5. Cabbirka iyo qaabka:Sida waafaqsan shuruudaha gaarka ah ee qalabka MOCVD, dooro cabbirka iyo qaabka ku habboon si loo hubiyo in saxaaraddu ay la jaanqaadayso qalabka iyo ku habboonaanta hawlgalka.
6. Sumcadda soo saaraha:Dooro soo-saare leh sumcad wanaagsan iyo waayo-aragnimo qani ah si loo hubiyo isku halaynta tayada badeecada iyo adeegga iibka kadib.
7. Waxtarka kharash-oolnimada:Iyada oo ujeedadu tahay in la buuxiyo shuruudaha farsamada, tixgeli waxtarka kharashka oo dooro alaab leh waxqabad kharash sare leh.
VET Energy waa shirkad bixisa susceptor graphite ah oo saafi ah, waxaanu bixinaa noocyo kala duwan, waxaana loo isticmaali karaa qalabka MOCVD ee noocyada kala duwan, moodooyinka iyo qeexitaannada.Susceptor-ka graphite-ka ee dahaarka leh ee SiCShirkadda VET Energy ma lahan meelo ay ka soo galaan dahaarka iyo xiriirro daciif ah. Marka laga hadlayo cimriga adeegga, waxay dabooli karaan shuruudaha macaamiisha leh baahiyo kala duwan (oo ay ku jiraan isticmaalka jawiga ay ku jirto koloriin), macaamiishana waa la soo dhaweynayaa inay la tashadaan oo ay wax ka weydiiyaan.
Waqtiga boostada: Maarso-01-2025