Mezinbûna epitaksiyal a waferan bi rêya teknolojiya danîna buxara kîmyewî ya organîk a metal (MOCVD) tê bidestxistin, ku tê de gazên pir paqij têne şandin nav reaktorê û bi hûrî têne pîvandin, da ku ew di germahiyên bilind de bibin yek da ku têkiliyên kîmyewî çêbikin û li ser waferên nîvconductoran di tebeqeyên atomî yên pir zirav de werin danîn da ku epitaksiyaliya materyal û nîvconductorên pêkhatî çêbikin.
Di alavên CVD de, substrat nikare rasterast li ser metal an jî bi tenê li ser bingehek ji bo danîna epitaksiyal were danîn, ji ber ku ew ê ji hêla gelek faktoran ve bandor bibe. Ji ber vê yekê, ji bo girtina substratê susceptor an tepsiyek hewce ye, û dûv re teknolojiya CVD bikar bînin da ku danîna epitaksiyal li ser substratê pêk bînin. Ev susceptorSûspêktora grafîtê ya MOCVD(her weha tê gotinTepsiya grafîtê ya MOCVD).
Struktura wê di wêneya jêrîn de tê nîşandan:
Çima pêgirta grafîtê pêdivî bi pêçandina CVD heye?
Girêka grafîtê yek ji pêkhateyên bingehîn ên alavên MOCVD ye. Ew hilgir û hêmana germkirinê ya substratê ye. Parametreyên performansa wê yên wekî aramiya germî û yekrengiya germî di kalîteya mezinbûna materyalê epitaksiyal de rolek diyarker dilîzin, û rasterast yekrengî û paqijiya materyalên fîlma zirav a epitaksiyal diyar dikin. Ji ber vê yekê, kalîteya wê rasterast bandorê li amadekirina waferên epitaksiyal dike. Di heman demê de, bi zêdebûna hejmara karanîn û guhertinên di şert û mercên xebatê de, ew pir hêsan tê lêdan û qetandin, ew tiştek e ku tê bikar anîn. Germahiya berbiçav û aramiya grafîtê wekî pêkhateyek bingehîn a alavên MOCVD avantajek mezin dide wê.
Lêbelê, heke tenê grafît saf be, hin pirsgirêk dê hebin. Di pêvajoya hilberînê de, dê gazên korozîf û madeyên organîk ên metalî yên mayî hebin, û susceptorê grafîtê dê bişewite û bikeve, ku ev yek temenê karûbarê susceptorê grafîtê pir kêm dike. Di heman demê de, toza grafîtê ya dikeve dê bibe sedema qirêjiya waferê jî, ji ber vê yekê divê ev pirsgirêk di pêvajoya amadekirina bingehê de werin çareser kirin. Teknolojiya pêçandinê dikare sabîtkirina toza rûvî, zêdekirina guhêrbariya germî, û hevsengiya belavkirina germê peyda bike, û bûye teknolojiya sereke ji bo çareserkirina vê pirsgirêkê.
Li gorî jîngeha serîlêdanê û hewcedariyên karanînê yên bingeha grafîtê, divê rûbera rûberê xwedî taybetmendiyên jêrîn be:
1. Densiteya bilind û berfirehiya tevahî:Bingeha grafîtê di hawîrdorek xebatê ya germahiya bilind û korozîf de ye. Divê rûber bi tevahî were nixumandin, û divê qapax xwedî dendika baş be da ku roleke parastinê ya baş bilîze.
2. Rûyê rûberê baş:Ji ber ku bingeha grafîtê ya ku ji bo mezinbûna krîstalên yekane tê bikar anîn pêdivî bi rûberek pir bilind heye, divê piştî amadekirina pêçanê jî rûbera bingehîn were parastin, ango divê rûyê pêçanê yekreng be.
3. Hêza girêdana baş:Kêmkirina cudahiya di katsayiya berfirehbûna germî ya di navbera bingeha grafît û materyalê pêçanê de dikare bi bandor hêza girêdanê ya di navbera herduyan de baştir bike. Piştî ceribandina çerxên germî yên germahiyên bilind û nizm, pêçan ne hêsan dişkê.
4. Germahiya bilind a guhêrbar:Mezinbûna çîpên bi kalîte bilind hewce dike ku bingeha grafît germahiyek bilez û yekreng peyda bike, ji ber vê yekê materyalê pêçandinê divê xwedan îhtîmalek bilind a germahiyê be.
5. Xala helandinê ya bilind, berxwedana oksîdasyonê ya germahiya bilind û berxwedana korozyonê:Pêdivî ye ku pêçandin di germahiya bilind û hawîrdora xebatê ya korozîf de bi rengek stabîl bixebite.
Aramiya germî, yekrengiya germî û parametreyên din ên performansê yênSeptorê grafîtê yê bi SiC pêçayîdi kalîteya mezinbûna materyalên epitaksiyal de roleke diyarker dilîzin, ji ber vê yekê ew pêkhateya sereke ya alavên MOCVD ye.
Forma krîstal a β-SiC (3C-SiC) wekî pêçandin tê hilbijartin. Li gorî formên din ên krîstal, ev forma krîstal xwedî rêzek taybetmendiyên hêja ye wekî aramiya termodînamîkî ya baş, berxwedana oksîdasyonê û berxwedana korozyonê. Di heman demê de, xwedan rêjeyek germî ye ku bi bingehîn bi ya grafîtê re lihevhatî ye, bi vî rengî taybetmendiyên taybetî dide bingeha grafîtê. Ew dikare têkçûna bingeha grafîtê ya ji ber oksîdasyona germahiya bilind û korozyon û windabûna tozê di dema xizmetê de bi bandor çareser bike, û rûyê bingeha grafîtê zirav, ne-poroz, berxwedêrê germahiya bilind, dij-korozyon, dij-oksîdasyon û taybetmendiyên din bike, bi vî rengî kalîteya epitaksiyal a krîstal û temenê karûbarê bingeha grafîtê baştir bike (jiyana karûbarê bingeha grafîtê ya bi pêçandina SiC di firinan de tê pîvandin).
Meriv çawa tepsiya grafîtê/susceptorê MOCVD-ê hildibijêre ku li hember germahiya bilind û korozyonê berxwedêr be?
Dema hilbijartinatepsiya grafît an susceptor ji bo MOCVDku li hember korozyona germahiya bilind berxwedêr be, divê faktorên sereke yên jêrîn werin hesibandin:
1. Paqijiya materyalê:Materyalên grafîtê yên paqijiya bilind dikarin di germahiyên bilind de li hember korozyon û oksîdasyonê çêtir li ber xwe bidin û bandora nepakiyan li ser pêvajoya depokirinê kêm bikin.
2. Tîrbûn û porozîtî:Tepsiyên grafîtê yên bi densiteya bilind û porozîteya nizm xwedî hêza mekanîkî û berxwedana korozyonê ya çêtir in, û dikarin bi bandor pêşî li ketina gazê û erozyona materyalê bigirin.
3. Germahiya guhêrbar:Tepsiya grafîtê ya bi îhtîmala bilind a guhêzbariya germê dibe alîkar ku germê bi awayekî wekhev belav bike, stresa germî kêm bike, û aramî û temenê karûbarê alavan baştir bike.
4. Dermankirina rûberê:Paletên grafîtê yên ku dermankirina rûyê wan a taybetî, wek pêçandin an jî plakkirin, derbas bûye, dikarin berxwedana xwe ya li hember korozyon û aşînê bêtir zêde bikin.
5. Mezinahî û şikl:Li gorî pêdiviyên taybetî yên alavên MOCVD, ji bo ku lihevhatina tepsiyê bi alavan re û rehetiya xebitandinê misoger bike, mezinahî û şeklê guncaw hilbijêrin.
6. Navûdengê çêker:Hilberînerek bi navûdengek baş û ezmûnek dewlemend hilbijêrin da ku pêbaweriya kalîteya hilberê û karûbarê piştî firotanê piştrast bikin.
7. Leza lêçûnê:Li ser bingeha bicîhanîna pêdiviyên teknîkî, lêçûn-bandorê li ber çavan bigirin û hilberên bi performansa lêçûnek bilindtir hilbijêrin.
VET Energy dabînkerê sûsceptorên grafîtê yên paqijiya bilind e, em cûrbecûr kategoriyan pêşkêş dikin, û dikarin di alavên MOCVD-ê yên marqe, model û taybetmendiyên cûda de werin bikar anîn.Septorê grafîtê yê bi SiC pêçayîBerhemên ku ji hêla VET Energy ve têne hilberandin, xalên têkiliyê yên pêçandinê û girêdanên qels nînin. Ji hêla temenê xizmetê ve, ew dikarin hewcedariyên xerîdarên bi hewcedariyên cûda (di nav de karanîna atmosferên ku klor tê de hene) bicîh bînin, û xerîdar dikarin ji bo şêwirmendiyê û lêpirsînê bi xêr hatin.
Dema şandinê: Adar-01-2025