Epitaksijalni rast pločica postiže se tehnologijom metalorganskog kemijskog taloženja iz parne faze (MOCVD), u kojoj se ultračisti plinovi ubrizgavaju u reaktor i fino doziraju, tako da se kombiniraju na povišenim temperaturama i uzrokuju kemijske interakcije te se talože na poluvodičke pločice u vrlo tankim atomskim slojevima stvarajući epitaksiju materijala i složenih poluvodiča.
U CVD opremi, podloga se ne može postaviti izravno na metal ili jednostavno na podlogu za epitaksijalno taloženje, jer će na nju utjecati mnogi čimbenici. Stoga je potreban susceptor ili pladanj za držanje podloge, a zatim korištenje CVD tehnologije za izvođenje epitaksijalnog taloženja na podlozi. Ovaj susceptor je...MOCVD grafitni susceptor(također se nazivaMOCVD grafitni pladanj).
Njegova struktura je prikazana na slici ispod:
Zašto je grafitnom susceptoru potreban CVD premaz?
Grafitni susceptor jedna je od ključnih komponenti MOCVD opreme. On je nosač i grijaći element podloge. Njegovi parametri performansi poput toplinske stabilnosti i toplinske ujednačenosti igraju odlučujuću ulogu u kvaliteti rasta epitaksijalnog materijala i izravno određuju ujednačenost i čistoću epitaksijalnih tankoslojnih materijala. Stoga njegova kvaliteta izravno utječe na pripremu epitaksijalnih pločica. Istovremeno, s povećanjem broja upotreba i promjenama radnih uvjeta, vrlo se lako troši, te je potrošni materijal. Izvrsna toplinska vodljivost i stabilnost grafita daju mu veliku prednost kao osnovnoj komponenti MOCVD opreme.
Međutim, ako se radi samo o čistom grafitu, pojavit će se neki problemi. U proizvodnom procesu ostat će zaostali korozivni plinovi i metalne organske tvari, a grafitni susceptor će korodirati i otpadati, što uvelike smanjuje vijek trajanja grafitnog susceptora. Istovremeno, padajući grafitni prah također će uzrokovati onečišćenje pločice, pa se ti problemi moraju riješiti u procesu pripreme baze. Tehnologija premazivanja može osigurati fiksiranje površinskog praha, poboljšati toplinsku vodljivost i uravnotežiti raspodjelu topline te je postala glavna tehnologija za rješavanje ovog problema.
Prema uvjetima primjene i zahtjevima upotrebe grafitne baze, površinski premaz trebao bi imati sljedeće karakteristike:
1. Visoka gustoća i potpuna pokrivenost:Grafitna baza je u radnom okruženju s visokom temperaturom i korozivnim djelovanjem. Površina mora biti potpuno prekrivena, a premaz mora imati dobru gustoću kako bi imao dobru zaštitnu ulogu.
2. Dobra ravnost površine:Budući da grafitna baza koja se koristi za rast monokristala zahtijeva vrlo visoku ravnost površine, nakon pripreme premaza mora se održati izvorna ravnost baze, odnosno površina premaza mora biti ujednačena.
3. Dobra čvrstoća lijepljenja:Smanjenje razlike u koeficijentu toplinskog širenja između grafitne baze i materijala premaza može učinkovito poboljšati čvrstoću veze između njih. Nakon što je izložen toplinskim ciklusima visokih i niskih temperatura, premaz nije lako pucati.
4. Visoka toplinska vodljivost:Za visokokvalitetni rast čipsa potrebna je brza i ujednačena toplina na grafitu, pa bi materijal premaza trebao imati visoku toplinsku vodljivost.
5. Visoka točka taljenja, otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama i otpornost na koroziju:Premaz bi trebao biti sposoban stabilno raditi u uvjetima visoke temperature i korozivnog radnog okruženja.
Toplinska stabilnost, toplinska ujednačenost i drugi parametri performansiGrafitni susceptor obložen SiC-omigraju odlučujuću ulogu u kvaliteti epitaksijalnog rasta materijala, stoga su ključna komponenta MOCVD opreme.
Kao premaz odabran je kristalni oblik β-SiC (3C-SiC). U usporedbi s drugim kristalnim oblicima, ovaj kristalni oblik ima niz izvrsnih svojstava kao što su dobra termodinamička stabilnost, otpornost na oksidaciju i otpornost na koroziju. Istovremeno, ima toplinsku vodljivost koja je u osnovi u skladu s onom grafita, što grafitu daje posebna svojstva. Može učinkovito riješiti kvar grafitne baze uzrokovan oksidacijom i korozijom na visokim temperaturama i gubitkom praha tijekom rada, te učiniti površinu grafitne baze gustom, neporoznom, otpornom na visoke temperature, antikorozivnom, antioksidacijskom i drugim karakteristikama, čime se poboljšava kvaliteta kristalne epitaksijalne strukture i vijek trajanja grafitne baze (vijek trajanja grafitne baze obložene SiC-om mjeri se u pećima).
Kako odabrati MOCVD grafitni pladanj/susceptor otporan na visoke temperature i koroziju?
Prilikom odabiragrafitna ladica ili suceptor za MOCVDkoji je otporan na koroziju na visokim temperaturama, treba uzeti u obzir sljedeće ključne čimbenike:
1. Čistoća materijala:Visokočisti grafitni materijali mogu bolje odoljeti koroziji i oksidaciji na visokim temperaturama te smanjiti utjecaj nečistoća na proces taloženja.
2. Gustoća i poroznost:Grafitne posude visoke gustoće i niske poroznosti imaju bolju mehaničku čvrstoću i otpornost na koroziju te mogu učinkovito spriječiti prodiranje plinova i eroziju materijala.
3. Toplinska vodljivost:Grafitni pladanj visoke toplinske vodljivosti pomaže u ravnomjernoj raspodjeli topline, smanjenju toplinskog naprezanja i poboljšanju stabilnosti i vijeka trajanja opreme.
4. Površinska obrada:Grafitne palete koje su podvrgnute posebnoj površinskoj obradi, poput premazivanja ili galvanizacije, mogu dodatno poboljšati svoju otpornost na koroziju i otpornost na habanje.
5. Veličina i oblik:Prema specifičnim zahtjevima MOCVD opreme, odaberite odgovarajuću veličinu i oblik kako biste osigurali kompatibilnost ladice s opremom i praktičnost rada.
6. Ugled proizvođača:Odaberite proizvođača s dobrim ugledom i bogatim iskustvom kako biste osigurali pouzdanost kvalitete proizvoda i postprodajne usluge.
7. Isplativost:Uzimajući u obzir ispunjavanje tehničkih zahtjeva, razmotrite isplativost i odaberite proizvode s višim omjerom troškova i performansi.
VET Energy je dobavljač visokočistoćnih grafitnih susceptora, nudimo širok raspon kategorija i možemo ih koristiti u MOCVD opremi različitih marki, modela i specifikacija.Grafitni susceptor obložen SiC-omProizvodi tvrtke VET Energy nemaju kontaktne točke premaza i slabe karike. Što se tiče vijeka trajanja, mogu zadovoljiti zahtjeve kupaca s različitim potrebama (uključujući upotrebu atmosfera koje sadrže klor), a kupci su dobrodošli za konzultacije i upite.
Vrijeme objave: 01.03.2025.