একটি MOCVD গ্রাফাইট ট্রে কী?

ধাতব জৈব রাসায়নিক বাষ্প জমা (MOCVD) প্রযুক্তির মাধ্যমে ওয়েফারের এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি অর্জন করা হয়, যেখানে অতি-বিশুদ্ধ গ্যাসগুলিকে চুল্লিতে প্রবেশ করানো হয় এবং সূক্ষ্মভাবে পরিমাপ করা হয়, যাতে তারা উচ্চ তাপমাত্রায় একত্রিত হয়ে রাসায়নিক মিথস্ক্রিয়া ঘটায় এবং খুব পাতলা পারমাণবিক স্তরে সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারে জমা হয় যাতে পদার্থ এবং যৌগিক সেমিকন্ডাক্টরের এপিট্যাক্সি তৈরি হয়।

সিভিডি সরঞ্জামগুলিতে, সাবস্ট্রেটটি সরাসরি ধাতুর উপর বা কেবল এপিট্যাক্সিয়াল জমার জন্য বেসের উপর স্থাপন করা যায় না, কারণ এটি অনেক কারণের দ্বারা প্রভাবিত হবে। অতএব, সাবস্ট্রেটটি ধরে রাখার জন্য একটি সাসসেপ্টর বা ট্রে প্রয়োজন, এবং তারপরে সাবস্ট্রেটের উপর এপিট্যাক্সিয়াল জমা করার জন্য সিভিডি প্রযুক্তি ব্যবহার করা হয়। এই সাসসেপ্টরটি একটিMOCVD গ্রাফাইট সাসপেকটর(এছাড়াও বলা হয়MOCVD গ্রাফাইট ট্রে).

এর গঠন নীচের চিত্রে দেখানো হয়েছে:

গ্রাফাইট সাসসেপ্টরের কেন সিভিডি আবরণ প্রয়োজন?

গ্রাফাইট সাসসেপ্টর হল MOCVD সরঞ্জামের অন্যতম মূল উপাদান। এটি সাবস্ট্রেটের বাহক এবং উত্তাপকারী উপাদান। এর কর্মক্ষমতা পরামিতি যেমন তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং তাপীয় অভিন্নতা এপিট্যাক্সিয়াল উপাদানের বৃদ্ধির গুণমানে একটি নির্ধারক ভূমিকা পালন করে এবং এপিট্যাক্সিয়াল পাতলা ফিল্ম উপকরণের অভিন্নতা এবং বিশুদ্ধতা সরাসরি নির্ধারণ করে। অতএব, এর গুণমান সরাসরি এপিট্যাক্সিয়াল ওয়েফার তৈরির উপর প্রভাব ফেলে। একই সময়ে, ব্যবহারের সংখ্যা বৃদ্ধি এবং কাজের অবস্থার পরিবর্তনের সাথে সাথে, এটি ক্ষয় এবং ছিঁড়ে ফেলা খুব সহজ, এটি একটি উপভোগ্য। গ্রাফাইটের চমৎকার তাপ পরিবাহিতা এবং স্থিতিশীলতা এটিকে MOCVD সরঞ্জামের একটি বেস উপাদান হিসাবে একটি দুর্দান্ত সুবিধা দেয়।

তবে, যদি এটি কেবল বিশুদ্ধ গ্রাফাইট হয়, তবে কিছু সমস্যা হবে। উৎপাদন প্রক্রিয়ায়, অবশিষ্ট ক্ষয়কারী গ্যাস এবং ধাতব জৈব পদার্থ থাকবে এবং গ্রাফাইট সাসপেকটরটি ক্ষয়প্রাপ্ত হবে এবং পড়ে যাবে, যা গ্রাফাইট সাসপেকটরের পরিষেবা জীবনকে অনেকাংশে হ্রাস করবে। একই সময়ে, গ্রাফাইট পাউডার পড়ে যাওয়ার ফলে ওয়েফারে দূষণও হবে, তাই বেসের প্রস্তুতি প্রক্রিয়ায় এই সমস্যাগুলি সমাধান করা প্রয়োজন। আবরণ প্রযুক্তি পৃষ্ঠের পাউডার স্থিরকরণ, তাপ পরিবাহিতা বৃদ্ধি এবং তাপ বিতরণের ভারসাম্য প্রদান করতে পারে এবং এই সমস্যা সমাধানের প্রধান প্রযুক্তি হয়ে উঠেছে।

গ্রাফাইট বেসের প্রয়োগ পরিবেশ এবং ব্যবহারের প্রয়োজনীয়তা অনুসারে, পৃষ্ঠের আবরণের নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য থাকা উচিত:

1. উচ্চ ঘনত্ব এবং পূর্ণ কভারেজ:গ্রাফাইট বেসটি উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কর্ম পরিবেশে থাকে। পৃষ্ঠটি সম্পূর্ণরূপে আবৃত থাকতে হবে এবং একটি ভাল প্রতিরক্ষামূলক ভূমিকা পালন করার জন্য আবরণটির ঘনত্ব ভালো থাকতে হবে।

2. পৃষ্ঠের ভালো সমতলতা:যেহেতু একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য ব্যবহৃত গ্রাফাইট বেসের পৃষ্ঠের সমতলতা খুব বেশি প্রয়োজন, তাই আবরণ প্রস্তুত হওয়ার পরে ভিত্তির মূল সমতলতা বজায় রাখতে হবে, অর্থাৎ আবরণ পৃষ্ঠটি অবশ্যই অভিন্ন হতে হবে।

৩. ভালো বন্ধন শক্তি:গ্রাফাইট বেস এবং আবরণ উপাদানের মধ্যে তাপীয় প্রসারণ সহগের পার্থক্য হ্রাস করলে উভয়ের মধ্যে বন্ধন শক্তি কার্যকরভাবে উন্নত হতে পারে। উচ্চ এবং নিম্ন তাপমাত্রার তাপচক্র অনুভব করার পরে, আবরণটি ফাটল ধরা সহজ হয় না।

৪. উচ্চ তাপ পরিবাহিতা:উচ্চমানের চিপ বৃদ্ধির জন্য গ্রাফাইট বেসের দ্রুত এবং অভিন্ন তাপ সরবরাহ করা প্রয়োজন, তাই আবরণ উপাদানের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা থাকা উচিত।

5. উচ্চ গলনাঙ্ক, উচ্চ তাপমাত্রার জারণ প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা:আবরণটি উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কর্ম পরিবেশে স্থিরভাবে কাজ করতে সক্ষম হওয়া উচিত।

তাপীয় স্থিতিশীলতা, তাপীয় অভিন্নতা এবং অন্যান্য কর্মক্ষমতা পরামিতিSiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসপেক্টরএপিট্যাক্সিয়াল উপাদান বৃদ্ধির গুণমানে একটি নির্ধারক ভূমিকা পালন করে, তাই এটি MOCVD সরঞ্জামের মূল মূল উপাদান।

β-SiC (3C-SiC) স্ফটিক রূপটি আবরণ হিসেবে নির্বাচিত। অন্যান্য স্ফটিক রূপের তুলনায়, এই স্ফটিক রূপটিতে চমৎকার তাপগতিগত স্থিতিশীলতা, জারণ প্রতিরোধ এবং জারা প্রতিরোধের মতো চমৎকার বৈশিষ্ট্য রয়েছে। একই সাথে, এর তাপ পরিবাহিতা মূলত গ্রাফাইটের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, যা গ্রাফাইট বেসকে বিশেষ বৈশিষ্ট্য প্রদান করে। এটি উচ্চ-তাপমাত্রার জারণ এবং জারা এবং পরিষেবার সময় পাউডার ক্ষতির কারণে সৃষ্ট গ্রাফাইট বেসের ব্যর্থতা কার্যকরভাবে সমাধান করতে পারে এবং গ্রাফাইট বেসের পৃষ্ঠকে ঘন, অ-ছিদ্রযুক্ত, উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধী, জারা-বিরোধী, অ্যান্টি-অক্সিডেশন এবং অন্যান্য বৈশিষ্ট্যযুক্ত করে তোলে, যার ফলে স্ফটিকের এপিট্যাক্সিয়াল গুণমান এবং গ্রাফাইট বেসের পরিষেবা জীবন উন্নত হয় (SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট বেসের পরিষেবা জীবন চুল্লিতে পরিমাপ করা হয়)।

উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয় প্রতিরোধী MOCVD গ্রাফাইট ট্রে/সাসসেপ্টর কীভাবে নির্বাচন করবেন?

যখন একটি নির্বাচন করা হয়MOCVD এর জন্য গ্রাফাইট ট্রে বা সাসেপ্টরউচ্চ তাপমাত্রার ক্ষয় প্রতিরোধী, নিম্নলিখিত মূল বিষয়গুলি বিবেচনা করা উচিত:

1. উপাদান বিশুদ্ধতা:উচ্চ-বিশুদ্ধতা সম্পন্ন গ্রাফাইট উপকরণ উচ্চ তাপমাত্রায় ক্ষয় এবং জারণকে আরও ভালোভাবে প্রতিরোধ করতে পারে এবং জমার প্রক্রিয়ার উপর অমেধ্যের প্রভাব কমাতে পারে।

২. ঘনত্ব এবং ছিদ্রতা:উচ্চ ঘনত্ব এবং কম ছিদ্রযুক্ত গ্রাফাইট ট্রেগুলির যান্ত্রিক শক্তি এবং ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা উন্নত, এবং কার্যকরভাবে গ্যাস অনুপ্রবেশ এবং উপাদান ক্ষয় রোধ করতে পারে।

৩. তাপ পরিবাহিতা:উচ্চ তাপ পরিবাহিতা সম্পন্ন গ্রাফাইট ট্রে তাপ সমানভাবে বিতরণ করতে, তাপীয় চাপ কমাতে এবং সরঞ্জামের স্থায়িত্ব এবং পরিষেবা জীবন উন্নত করতে সাহায্য করে।

৪. পৃষ্ঠ চিকিত্সা:গ্রাফাইট প্যালেটগুলি যেগুলি বিশেষ পৃষ্ঠ চিকিত্সার মধ্য দিয়ে গেছে, যেমন আবরণ বা প্রলেপ, তাদের ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং পরিধান প্রতিরোধ ক্ষমতা আরও বাড়িয়ে তুলতে পারে।

৫. আকার এবং আকৃতি:MOCVD সরঞ্জামের নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা অনুসারে, সরঞ্জামের সাথে ট্রের সামঞ্জস্য এবং পরিচালনার সুবিধা নিশ্চিত করার জন্য উপযুক্ত আকার এবং আকৃতি নির্বাচন করুন।

৬. প্রস্তুতকারকের খ্যাতি:পণ্যের গুণমান এবং বিক্রয়োত্তর পরিষেবার নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করতে সুনাম এবং সমৃদ্ধ অভিজ্ঞতা সম্পন্ন একজন প্রস্তুতকারক বেছে নিন।

৭. খরচ-কার্যকারিতা:প্রযুক্তিগত প্রয়োজনীয়তা পূরণের ভিত্তিতে, খরচ-কার্যকারিতা বিবেচনা করুন এবং উচ্চ খরচ কর্মক্ষমতা সম্পন্ন পণ্য নির্বাচন করুন।

VET Energy হল একটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট সাসসেপ্টর সরবরাহকারী, আমরা বিভিন্ন ধরণের বিভাগ অফার করি এবং বিভিন্ন ব্র্যান্ড, মডেল এবং স্পেসিফিকেশনের MOCVD সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহার করা যেতে পারে।SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসপেক্টরVET Energy দ্বারা উৎপাদিত পণ্যগুলির কোনও আবরণ যোগাযোগ বিন্দু নেই এবং কোনও দুর্বল লিঙ্ক নেই। পরিষেবা জীবনের দিক থেকে, তারা বিভিন্ন চাহিদা (ক্লোরিনযুক্ত বায়ুমণ্ডলের ব্যবহার সহ) সহ গ্রাহকদের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে এবং গ্রাহকদের পরামর্শ এবং অনুসন্ধানের জন্য স্বাগত জানানো হয়।