Que é unha bandexa de grafito MOCVD?

O crecemento epitaxial das obleas conséguese mediante a tecnoloxía de deposición química de vapor metalorgánica (MOCVD), na que se inxectan gases ultrapuros no reactor e se dosifican finamente, de xeito que se combinan a temperaturas elevadas para causar interaccións químicas e se depositan sobre obleas de semicondutores en capas atómicas moi finas para formar epitaxia de materiais e semicondutores compostos.

Nos equipos de deposición química en fase CVD, o substrato non se pode colocar directamente sobre o metal ou simplemente sobre unha base para a deposición epitaxial, porque este se verá afectado por moitos factores. Polo tanto, necesítase un susceptor ou unha bandexa para suxeitar o substrato e, a continuación, usar a tecnoloxía CVD para realizar a deposición epitaxial sobre o substrato. Este susceptor é unSusceptor de grafito MOCVD(tamén chamadoBandexa de grafito MOCVD).

A súa estrutura móstrase na seguinte figura:

Por que precisa un revestimento CVD o susceptor de grafito?

O susceptor de grafito é un dos compoñentes principais dos equipos MOCVD. É o elemento portador e calefactor do substrato. Os seus parámetros de rendemento, como a estabilidade térmica e a uniformidade térmica, xogan un papel decisivo na calidade do crecemento do material epitaxial e determinan directamente a uniformidade e a pureza dos materiais de película fina epitaxiais. Polo tanto, a súa calidade afecta directamente á preparación de obleas epitaxiais. Ao mesmo tempo, co aumento do número de usos e os cambios nas condicións de traballo, é moi doado de desgastar e é un consumible. A excelente condutividade térmica e estabilidade do grafito confírenlle unha gran vantaxe como compoñente base dos equipos MOCVD.

Non obstante, se só se trata de grafito puro, haberá algúns problemas. No proceso de produción, haberá gases corrosivos residuais e materia orgánica metálica, e o susceptor de grafito corroerase e caerá, o que reduce considerablemente a súa vida útil. Ao mesmo tempo, o po de grafito que cae tamén contaminará a oblea, polo que estes problemas deben resolverse no proceso de preparación da base. A tecnoloxía de revestimento pode proporcionar fixación do po superficial, mellorar a condutividade térmica e equilibrar a distribución da calor, e converteuse na principal tecnoloxía para resolver este problema.

Segundo o ambiente de aplicación e os requisitos de uso da base de grafito, o revestimento superficial debe ter as seguintes características:

1. Alta densidade e cobertura completa:A base de grafito está nun ambiente de traballo corrosivo e de alta temperatura. A superficie debe estar completamente cuberta e o revestimento debe ter unha boa densidade para desempeñar un bo papel protector.

2. Boa planitude superficial:Dado que a base de grafito empregada para o crecemento de monocristais require unha planitude superficial moi alta, a planitude orixinal da base debe manterse despois de preparar o revestimento, é dicir, a superficie do revestimento debe ser uniforme.

3. Boa forza de unión:Reducir a diferenza no coeficiente de expansión térmica entre a base de grafito e o material de revestimento pode mellorar eficazmente a forza de unión entre ambos. Despois de experimentar ciclos térmicos de alta e baixa temperatura, o revestimento non se racha facilmente.

4. Alta condutividade térmica:O crecemento de lascas de alta calidade require que a base de grafito proporcione calor rápido e uniforme, polo que o material de revestimento debe ter unha alta condutividade térmica.

5. Alto punto de fusión, resistencia á oxidación a altas temperaturas e resistencia á corrosión:O revestimento debe ser capaz de funcionar de forma estable nun ambiente de traballo corrosivo e a altas temperaturas.

A estabilidade térmica, a uniformidade térmica e outros parámetros de rendemento doSusceptor de grafito revestido de SiCdesempeñan un papel decisivo na calidade do crecemento do material epitaxial, polo que son o compoñente clave do equipo MOCVD.

Escolleuse a forma cristalina β-SiC (3C-SiC) como revestimento. En comparación con outras formas cristalinas, esta forma cristalina ten unha serie de excelentes propiedades, como unha boa estabilidade termodinámica, resistencia á oxidación e á corrosión. Ao mesmo tempo, ten unha condutividade térmica que é basicamente consistente coa do grafito, o que lle dá á base de grafito propiedades especiais. Pode resolver eficazmente a falla da base de grafito causada pola oxidación e corrosión a alta temperatura e a perda de po durante o servizo, e facer que a superficie da base de grafito sexa densa, non porosa, resistente a altas temperaturas, anticorrosión, antioxidante e outras características, mellorando así a calidade epitaxial do cristal e a vida útil da base de grafito (a vida útil da base de grafito recuberta de SiC mídese en fornos).

Como elixir unha bandexa/susceptor de grafito MOCVD resistente ás altas temperaturas e á corrosión?

Ao elixir un/unhabandexa de grafito ou susceptor para MOCVDque sexa resistente á corrosión a altas temperaturas, débense ter en conta os seguintes factores clave:

1. Pureza do material:Os materiais de grafito de alta pureza poden resistir mellor a corrosión e a oxidación a altas temperaturas e reducir o impacto das impurezas no proceso de deposición.

2. Densidade e porosidade:As bandexas de grafito con alta densidade e baixa porosidade teñen unha mellor resistencia mecánica e á corrosión, e poden previr eficazmente a penetración de gases e a erosión do material.

3. Condutividade térmica:A bandexa de grafito de alta condutividade térmica axuda a distribuír uniformemente a calor, reducir a tensión térmica e mellorar a estabilidade e a vida útil do equipo.

4. Tratamento superficial:Os palés de grafito que foron sometidos a un tratamento superficial especial, como revestimento ou chapado, poden mellorar aínda máis a súa resistencia á corrosión e ao desgaste.

5. Tamaño e forma:Segundo os requisitos específicos do equipo MOCVD, seleccione o tamaño e a forma axeitados para garantir a compatibilidade da bandexa co equipo e a comodidade de funcionamento.

6. Reputación do fabricante:Escolla un fabricante con boa reputación e ampla experiencia para garantir a fiabilidade da calidade do produto e o servizo posvenda.

7. Relación custo-eficacia:Partindo da premisa de cumprir os requisitos técnicos, teña en conta a rendibilidade e escolla produtos con maior rendemento en termos de custos.

VET Energy é un provedor de susceptores de grafito de alta pureza. Ofrecemos unha ampla gama de categorías e pódense usar en equipos MOCVD de diferentes marcas, modelos e especificacións.Susceptor de grafito revestido de SiCOs produtos producidos por VET Energy non teñen puntos de contacto de revestimento nin elos débiles. En termos de vida útil, poden satisfacer os requisitos dos clientes con diferentes necesidades (incluído o uso de atmosferas que conteñen cloro) e os clientes poden consultar e solicitar información.