Ang pagtubo sa epitaxial sa wafer makab-ot pinaagi sa teknolohiya sa metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), diin ang mga ultra-pure nga gas gi-inject sa reactor ug gisukod og maayo, aron kini maghiusa sa taas nga temperatura aron hinungdan sa mga interaksyon sa kemikal ug ideposito sa mga semiconductor wafer sa nipis kaayo nga mga layer sa atomic aron maporma ang epitaxy sa mga materyales ug compound semiconductors.
Sa mga kagamitan sa CVD, ang substrate dili mahimong ibutang direkta sa metal o sa base lang para sa epitaxial deposition, tungod kay kini maapektuhan sa daghang mga butang. Busa, gikinahanglan ang usa ka susceptor o tray aron kuptan ang substrate, ug dayon gamiton ang teknolohiya sa CVD aron mahimo ang epitaxial deposition sa substrate. Kini nga susceptor usa kaMOCVD graphite susceptor(gitawag usab ngaTray sa grapayt sa MOCVD).
Ang istruktura niini gipakita sa hulagway sa ubos:
Ngano nga ang graphite susceptor kinahanglan og CVD coating?
Ang graphite susceptor usa sa mga kinauyokan nga sangkap sa kagamitan sa MOCVD. Kini ang tigdala ug elemento sa pagpainit sa substrate. Ang mga parameter sa performance niini sama sa thermal stability ug thermal uniformity adunay hinungdanon nga papel sa kalidad sa pagtubo sa epitaxial nga materyal, ug direkta nga nagtino sa uniformity ug purity sa epitaxial thin film nga mga materyales. Busa, ang kalidad niini direktang nakaapekto sa pag-andam sa mga epitaxial wafer. Sa samang higayon, uban sa pagdugang sa gidaghanon sa mga gamit ug mga pagbag-o sa mga kondisyon sa pagtrabaho, kini dali ra kaayo nga madaot ug magamit. Ang maayo kaayo nga thermal conductivity ug stability sa graphite naghatag niini og dakong bentaha isip base component sa kagamitan sa MOCVD.
Apan, kon puro lang kini nga graphite, adunay mga problema nga motumaw. Sa proseso sa produksiyon, adunay mga nahabilin nga corrosive gas ug metal organic matter, ug ang graphite susceptor madunot ug mahulog, nga makapamenos pag-ayo sa kinabuhi sa graphite susceptor. Sa samang higayon, ang mahulog nga graphite powder hinungdan usab sa polusyon sa wafer, busa kini nga mga problema kinahanglan nga sulbaron sa proseso sa pag-andam sa base. Ang teknolohiya sa coating makahatag og surface powder fixation, makapauswag sa thermal conductivity, ug makabalanse sa heat distribution, ug nahimong pangunang teknolohiya aron masulbad kini nga problema.
Sumala sa palibot sa aplikasyon ug mga kinahanglanon sa paggamit sa base sa grapayt, ang taklap sa nawong kinahanglan nga adunay mosunod nga mga kinaiya:
1. Taas nga densidad ug bug-os nga sakup:Ang base sa grapayt anaa sa taas nga temperatura ug makadaot nga palibot sa pagtrabaho. Kinahanglan nga hingpit nga matabonan ang nawong, ug ang coating kinahanglan nga adunay maayong densidad aron makahimo og maayong proteksyon.
2. Maayong pagkapatag sa nawong:Tungod kay ang base sa grapayt nga gigamit alang sa pagtubo sa usa ka kristal nanginahanglan usa ka taas kaayo nga pagkapatag sa nawong, ang orihinal nga pagkapatag sa base kinahanglan nga ipadayon pagkahuman maandam ang coating, nga mao, ang nawong sa coating kinahanglan nga parehas.
3. Maayong kusog sa pagbugkos:Ang pagpakunhod sa kalainan sa thermal expansion coefficient tali sa graphite base ug sa coating material epektibong makapauswag sa bonding strength tali sa duha. Human makasinati og taas ug ubos nga temperatura nga thermal cycles, ang coating dili dali mabuak.
4. Taas nga konduktibidad sa kainit:Ang taas nga kalidad nga pagtubo sa chip nanginahanglan sa graphite base nga makahatag og paspas ug parehas nga kainit, busa ang coating material kinahanglan nga adunay taas nga thermal conductivity.
5. Taas nga punto sa pagkatunaw, taas nga temperatura nga resistensya sa oksihenasyon ug resistensya sa kaagnasan:Ang coating kinahanglan nga molihok nga lig-on sa taas nga temperatura ug makadaot nga palibot sa pagtrabaho.
Ang kalig-on sa kainit, pagkaparehas sa kainit ug uban pang mga parametro sa pasundayag saSusceptor nga grapayt nga giputos sa SiCadunay hinungdanon nga papel sa kalidad sa pagtubo sa epitaxial nga materyal, busa kini ang kinauyokan nga hinungdanon nga sangkap sa kagamitan sa MOCVD.
Ang β-SiC (3C-SiC) nga kristal nga porma ang gipili isip patong. Kon itandi sa ubang mga kristal nga porma, kini nga kristal nga porma adunay serye sa maayo kaayong mga kabtangan sama sa maayong thermodynamic stability, oxidation resistance ug corrosion resistance. Sa samang higayon, kini adunay thermal conductivity nga halos parehas sa graphite, sa ingon naghatag sa graphite base og espesyal nga mga kabtangan. Epektibo niini nga masulbad ang pagkapakyas sa graphite base nga gipahinabo sa high-temperature oxidation ug corrosion ug powder loss atol sa serbisyo, ug mahimo ang nawong sa graphite base nga dasok, dili porous, high-temperature resistant, anti-corrosion, anti-oxidation ug uban pang mga kinaiya, sa ingon nagpauswag sa kalidad sa epitaxial sa kristal ug sa kinabuhi sa serbisyo sa graphite base (ang kinabuhi sa serbisyo sa SiC coated graphite base gisukod sa mga hurno).
Unsaon pagpili sa MOCVD graphite tray/susceptor nga makasugakod sa taas nga temperatura ug kaagnasan?
Sa pagpili oggraphite tray o susceptor para sa MOCVDnga makasugakod sa taas nga temperatura nga kaagnasan, ang mosunod nga mga hinungdan kinahanglan nga tagdon:
1. Kaputli sa materyal:Ang mga materyales nga graphite nga taas og kaputli mas makasugakod sa kaagnasan ug oksihenasyon sa taas nga temperatura ug makapakunhod sa epekto sa mga hugaw sa proseso sa pagdeposito.
2. Densidad ug porosidad:Ang mga graphite tray nga adunay taas nga densidad ug ubos nga porosity adunay mas maayo nga mekanikal nga kusog ug resistensya sa kaagnasan, ug epektibo nga makapugong sa pagsulod sa gas ug pagkaguba sa materyal.
3. Konduktibidad sa kainit:Ang taas nga thermal conductivity graphite tray makatabang sa parehas nga pag-apod-apod sa kainit, pagpakunhod sa thermal stress, ug pagpauswag sa kalig-on ug kinabuhi sa serbisyo sa kagamitan.
4. Pagtambal sa nawong:Ang mga graphite pallet nga gi-eksperyensyahan og espesyal nga surface treatment, sama sa coating o plating, makapausbaw pa sa ilang resistensya sa corrosion ug wear resistance.
5. Gidak-on ug porma:Subay sa espesipikong mga kinahanglanon sa kagamitan sa MOCVD, pilia ang angay nga gidak-on ug porma aron masiguro ang pagkaangay sa tray sa kagamitan ug ang kasayon sa operasyon.
6. Reputasyon sa tiggama:Pagpili og tiggama nga adunay maayong reputasyon ug dato nga kasinatian aron masiguro ang kasaligan sa kalidad sa produkto ug serbisyo pagkahuman sa pagbaligya.
7. Epektibo sa gasto:Tungod sa pagsunod sa mga teknikal nga kinahanglanon, hunahunaa ang pagkaepektibo sa gasto ug pilia ang mga produkto nga adunay mas taas nga performance sa gasto.
Ang VET Energy usa ka supplier sa high-purity graphite susceptor, nagtanyag kami og lain-laing mga kategorya, ug magamit sa mga kagamitan sa MOCVD sa lain-laing mga brand, modelo ug mga espesipikasyon.Susceptor nga grapayt nga giputos sa SiCAng mga produkto nga gihimo sa VET Energy walay mga coating contact point ug walay mga weak link. Kon bahin sa gidugayon sa serbisyo, kini makatubag sa mga kinahanglanon sa mga kustomer nga adunay lain-laing panginahanglan (lakip na ang paggamit sa mga atmospera nga adunay chlorine), ug ang mga kustomer gidapit sa pagkonsulta ug pagpangutana.
Oras sa pag-post: Mar-01-2025