Unsa ang MOCVD graphite tray?

Ang pagtubo sa epitaxial sa wafer makab-ot pinaagi sa teknolohiya nga metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), diin ang mga ultra-pure nga gas gi-inject sa reactor ug pino nga gisukod, aron sila maghiusa sa taas nga temperatura aron mahimong hinungdan sa mga interaksyon sa kemikal ug ibutang sa mga semiconductor wafer sa nipis kaayo nga atomic layer aron maporma ang epitaxy sa mga materyales ug compound semiconductors.

Sa kagamitan sa CVD, ang substrate dili mahimong ibutang direkta sa metal o sa usa ka base alang sa epitaxial deposition, tungod kay kini maapektuhan sa daghang mga hinungdan. Busa, gikinahanglan ang usa ka susceptor o tray nga magkupot sa substrate, ug dayon gamiton ang teknolohiya sa CVD aron mahimo ang epitaxial deposition sa substrate. Kini nga susceptor usa kaMOCVD graphite susceptor(gitawag usabMOCVD graphite tray).

Ang istruktura niini gipakita sa hulagway sa ubos:

Ngano nga ang graphite susceptor kinahanglan CVD coating?

Ang graphite susceptor usa sa mga kinauyokan nga sangkap sa kagamitan sa MOCVD. Kini ang carrier ug elemento sa pagpainit sa substrate. Ang mga parameter sa pasundayag sama sa kalig-on sa thermal ug pagkakapareho sa thermal adunay hinungdanon nga papel sa kalidad sa pagtubo sa materyal nga epitaxial, ug direkta nga gitino ang pagkaparehas ug kaputli sa mga materyal nga manipis nga epitaxial film. Busa, ang kalidad niini direktang makaapekto sa pag-andam sa mga epitaxial wafers. Sa parehas nga oras, uban ang pagdugang sa gidaghanon sa mga gamit ug ang mga pagbag-o sa mga kondisyon sa pagtrabaho, dali kaayo nga isul-ob ug gisi, kini usa ka magamit. Ang maayo kaayo nga thermal conductivity ug kalig-on sa graphite naghatag niini og dakong bentaha isip base nga component sa MOCVD equipment.

Bisan pa, kung kini lunsay nga graphite, adunay pipila ka mga problema. Sa proseso sa produksiyon, adunay nahabilin nga mga corrosive nga gas ug metal nga organikong butang, ug ang graphite susceptor mag-corrode ug mahulog, nga makapakunhod pag-ayo sa serbisyo sa kinabuhi sa graphite susceptor. Sa samang higayon, ang pagkahulog sa graphite powder mahimo usab nga hinungdan sa polusyon sa wafer, mao nga kini nga mga problema kinahanglan nga masulbad sa proseso sa pag-andam sa base. Ang teknolohiya sa coating makahatag sa pag-ayo sa pulbos sa nawong, pagpauswag sa thermal conductivity, ug pagbalanse sa pag-apod-apod sa kainit, ug nahimo nga panguna nga teknolohiya aron masulbad kini nga problema.

Sumala sa palibot sa aplikasyon ug mga kinahanglanon sa paggamit sa base sa graphite, ang sulud sa sulud kinahanglan adunay mga mosunud nga mga kinaiya:

1. Taas nga densidad ug bug-os nga coverage:Ang graphite base naa sa taas nga temperatura ug makadaot nga palibot sa pagtrabaho. Ang nawong kinahanglan nga bug-os nga tabonan, ug ang taklap kinahanglan nga adunay maayo nga densidad aron adunay maayong papel sa pagpanalipod.

2. Maayo nga patag sa nawong:Tungod kay ang graphite base nga gigamit alang sa us aka kristal nga pagtubo nanginahanglan usa ka taas kaayo nga patag sa nawong, ang orihinal nga pagkatag sa base kinahanglan nga mapadayon pagkahuman maandam ang coating, nga mao, ang sulud sa coating kinahanglan nga managsama.

3. Maayong pagbugkos kusog:Ang pagkunhod sa kalainan sa thermal expansion coefficient tali sa graphite base ug sa coating nga materyal epektibo nga makapauswag sa kalig-on sa bonding tali sa duha. Human masinati ang taas ug ubos nga temperatura nga mga thermal cycle, ang coating dili sayon ​​nga mabuak.

4. Taas nga thermal conductivity:Ang taas nga kalidad nga pagtubo sa chip nanginahanglan sa graphite base aron mahatagan ang paspas ug parehas nga kainit, busa ang materyal nga coating kinahanglan adunay taas nga thermal conductivity.

5. Taas nga punto sa pagkatunaw, taas nga temperatura nga pagsukol sa oksihenasyon ug pagsukol sa kaagnasan:Ang coating kinahanglan nga makahimo sa pagtrabaho nga lig-on sa usa ka taas nga temperatura ug makadaot nga palibot sa pagtrabaho.

Ang kalig-on sa kainit, pagkaparehas sa kainit ug uban pang mga parameter sa pasundayag saSiC adunay sapaw nga graphite susceptoradunay usa ka mahukmanon nga papel sa kalidad sa pagtubo sa materyal nga epitaxial, mao nga kini ang kinauyokan nga yawe nga bahin sa kagamitan sa MOCVD.

Ang β-SiC (3C-SiC) nga kristal nga porma gipili ingon nga sapaw. Kung itandi sa ubang mga porma sa kristal, kini nga kristal nga porma adunay usa ka serye sa labing maayo nga mga kabtangan sama sa maayo nga thermodynamic stability, oxidation resistance ug corrosion resistance. Sa samang higayon, kini adunay usa ka thermal conductivity nga batakan nahiuyon sa sa graphite, sa ingon naghatag sa graphite base espesyal nga mga kabtangan. Kini epektibo nga masulbad ang kapakyasan sa graphite base tungod sa taas nga temperatura nga oksihenasyon ug kaagnasan ug pagkawala sa pulbos sa panahon sa serbisyo, ug paghimo sa nawong sa graphite base nga dasok, dili porous, taas nga temperatura nga resistensya, anti-corrosion, anti-oxidation ug uban pang mga kinaiya, sa ingon nagpauswag sa kalidad sa kristal nga epitaxial ug ang kinabuhi sa serbisyo sa base sa serbisyo sa graphite base (ang base sa serbisyo nga gisukod sa SiC) mga hurno).

Giunsa pagpili ang MOCVD graphite tray/susceptor nga makasugakod sa taas nga temperatura ug kaagnasan?

Sa pagpili sa usa kagraphite tray o susceptor para sa MOCVDnga makasugakod sa taas nga temperatura nga kaagnasan, ang mosunod nga mga hinungdan nga hinungdan kinahanglan nga tagdon:

1. Materyal nga kaputli:Ang high-purity graphite nga mga materyales mas makasukol sa corrosion ug oxidation sa taas nga temperatura ug makapakunhod sa epekto sa mga hugaw sa proseso sa pagdeposito.

2. Densidad ug porosity:Ang mga tray sa graphite nga adunay taas nga densidad ug ubos nga porosity adunay mas maayo nga mekanikal nga kusog ug resistensya sa kaagnasan, ug epektibo nga makapugong sa pagsulod sa gas ug pagbanlas sa materyal.

3. Thermal conductivity:Ang taas nga thermal conductivity graphite tray makatabang sa parehas nga pag-apod-apod sa kainit, pagpakunhod sa thermal stress, ug pagpauswag sa kalig-on ug kinabuhi sa serbisyo sa kagamitan.

4. Pagtambal sa nawong:Ang mga graphite pallet nga nakaagi sa espesyal nga pagtambal sa nawong, sama sa coating o plating, mahimo pa nga makapauswag sa ilang resistensya sa kaagnasan ug pagsukol sa pagsul-ob.

5. Gidak-on ug porma:Sumala sa piho nga mga kinahanglanon sa MOCVD nga kagamitan, pilia ang angay nga gidak-on ug porma aron masiguro ang pagkaangay sa tray sa kagamitan ug ang kasayon ​​​​sa operasyon.

6. Reputasyon sa tiggama:Pagpili usa ka tiggama nga adunay maayong reputasyon ug dato nga kasinatian aron masiguro ang pagkakasaligan sa kalidad sa produkto ug serbisyo pagkahuman sa pagbaligya.

7. Pagka-epektibo sa gasto:Sa pasiuna sa pagtagbo sa teknikal nga mga kinahanglanon, hunahunaa ang pagka-epektibo sa gasto ug pagpili sa mga produkto nga adunay mas taas nga performance sa gasto.

Ang VET Energy usa ka high-purity graphite susceptor supplier, nagtanyag kami usa ka halapad nga mga kategorya, ug mahimong magamit sa mga kagamitan sa MOCVD sa lainlaing mga tatak, modelo ug mga detalye. AngSiC adunay sapaw nga graphite susceptornga gihimo sa VET Energy walay coating contact point ug walay huyang nga mga link. Sa termino sa kinabuhi sa pag-alagad, mahimo nilang makab-ot ang mga kinahanglanon sa mga kostumer nga adunay lainlaing mga panginahanglan (lakip ang paggamit sa mga atmospera nga adunay sulud nga klorin), ug ang mga kostumer giabi-abi sa pagkonsulta ug pagpangutana.