MOCVD grafit tepsisi nedir?

Wafer epitaksiyel büyümesi, ultra saf gazların reaktöre enjekte edildiği ve ince bir şekilde ölçüldüğü, böylece yüksek sıcaklıklarda birleşerek kimyasal etkileşimlere neden olduğu ve çok ince atomik katmanlar halinde yarı iletken wafer'lar üzerine biriktirilerek malzemelerin ve bileşik yarı iletkenlerin epitaksisini oluşturduğu metal organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) teknolojisi ile elde edilir.

CVD ekipmanında, substrat doğrudan metalin üzerine veya sadece epitaksiyel biriktirme için bir taban üzerine yerleştirilemez, çünkü birçok faktörden etkilenecektir. Bu nedenle, substratı tutmak için bir suseptör veya tepsiye ihtiyaç vardır ve daha sonra substrat üzerinde epitaksiyel biriktirme gerçekleştirmek için CVD teknolojisi kullanılır. Bu suseptör birMOCVD grafit reseptörü(ayrıca denirMOCVD grafit tepsi).

Yapısı aşağıdaki şekilde gösterilmiştir:

Grafit suseptörün CVD kaplamaya ihtiyacı neden var?

Grafit suseptörü, MOCVD ekipmanının temel bileşenlerinden biridir. Alt tabakanın taşıyıcısı ve ısıtma elemanıdır. Termal kararlılık ve termal homojenlik gibi performans parametreleri, epitaksiyel malzeme büyümesinin kalitesinde belirleyici bir rol oynar ve doğrudan epitaksiyel ince film malzemelerinin homojenliğini ve saflığını belirler. Bu nedenle, kalitesi doğrudan epitaksiyel gofretlerin hazırlanmasını etkiler. Aynı zamanda, kullanım sayısının artması ve çalışma koşullarındaki değişikliklerle, aşınması ve yıpranması çok kolaydır, bir sarf malzemesidir. Grafitin mükemmel termal iletkenliği ve kararlılığı, ona MOCVD ekipmanının temel bileşeni olarak büyük bir avantaj sağlar.

Ancak, yalnızca saf grafit ise, bazı sorunlar olacaktır. Üretim sürecinde, artık aşındırıcı gazlar ve metal organik madde olacak ve grafit susceptor aşınacak ve düşecektir, bu da grafit susceptor'un hizmet ömrünü büyük ölçüde azaltacaktır. Aynı zamanda, düşen grafit tozu da gofrete kirliliğe neden olacaktır, bu nedenle bu sorunların tabanın hazırlama sürecinde çözülmesi gerekir. Kaplama teknolojisi, yüzey tozu sabitlemesi sağlayabilir, termal iletkenliği artırabilir ve ısı dağılımını dengeleyebilir ve bu sorunu çözmek için ana teknoloji haline gelmiştir.

Grafit tabanının uygulama ortamına ve kullanım gereksinimlerine göre yüzey kaplaması aşağıdaki özelliklere sahip olmalıdır:

1. Yüksek yoğunluk ve tam kapsama:Grafit taban yüksek sıcaklık ve aşındırıcı bir çalışma ortamındadır. Yüzey tamamen kaplanmış olmalı ve kaplamanın iyi bir koruyucu rol oynaması için iyi bir yoğunluğa sahip olması gerekir.

2. İyi yüzey düzgünlüğü:Tek kristal büyütmede kullanılan grafit tabanın çok yüksek yüzey düzgünlüğü gerektirmesi nedeniyle, kaplama hazırlandıktan sonra tabanın orijinal düzgünlüğünün korunması, yani kaplama yüzeyinin homojen olması gerekmektedir.

3. İyi bağlanma gücü:Grafit taban ile kaplama malzemesi arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltmak, ikisi arasındaki bağlanma mukavemetini etkili bir şekilde iyileştirebilir. Yüksek ve düşük sıcaklık termal döngüleri deneyimledikten sonra, kaplamanın çatlaması kolay değildir.

4. Yüksek ısı iletkenliği:Yüksek kaliteli talaş büyümesi, grafit tabanının hızlı ve homojen ısı sağlamasını gerektirir, bu nedenle kaplama malzemesinin yüksek ısı iletkenliğine sahip olması gerekir.

5. Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci ve korozyon direnci:Kaplamanın yüksek sıcaklık ve korozif çalışma ortamında stabil çalışabilmesi gerekmektedir.

Termal kararlılık, termal homojenlik ve diğer performans parametreleriSiC kaplamalı grafit suseptörEpitaksiyel malzeme büyümesinin kalitesinde belirleyici bir rol oynar, bu nedenle MOCVD ekipmanının temel anahtar bileşenidir.

Kaplama olarak β-SiC (3C-SiC) kristal formu seçilmiştir. Diğer kristal formlarıyla karşılaştırıldığında, bu kristal formu iyi termodinamik kararlılık, oksidasyon direnci ve korozyon direnci gibi bir dizi mükemmel özelliğe sahiptir. Aynı zamanda, temelde grafitinkiyle tutarlı bir termal iletkenliğe sahiptir, böylece grafit tabanına özel özellikler kazandırır. Yüksek sıcaklıkta oksidasyon ve korozyon ve servis sırasında toz kaybından kaynaklanan grafit tabanının arızasını etkili bir şekilde çözebilir ve grafit tabanının yüzeyini yoğun, gözeneksiz, yüksek sıcaklığa dayanıklı, korozyon önleyici, oksidasyon önleyici ve diğer özellikler haline getirebilir, böylece kristal epitaksiyel kalitesini ve grafit tabanının hizmet ömrünü iyileştirir (SiC kaplı grafit tabanının hizmet ömrü fırınlarda ölçülür).

Yüksek sıcaklığa ve korozyona dayanıklı MOCVD grafit tepsi/süseptör nasıl seçilir?

Birini seçerkenMOCVD için grafit tepsi veya tutucuYüksek sıcaklık korozyonuna dayanıklı olması için aşağıdaki temel faktörler dikkate alınmalıdır:

1. Malzeme saflığı:Yüksek saflıktaki grafit malzemeler, yüksek sıcaklıklarda korozyona ve oksidasyona daha iyi direnç gösterebilir ve birikim sürecindeki kirliliklerin etkisini azaltabilir.

2. Yoğunluk ve gözeneklilik:Yüksek yoğunluklu ve düşük gözenekliliğe sahip grafit tepsiler daha iyi mekanik mukavemete ve korozyon direncine sahiptir ve gaz penetrasyonunu ve malzeme erozyonunu etkili bir şekilde önleyebilir.

3. Isı iletkenliği:Yüksek ısı iletkenliğine sahip grafit tepsi, ısının eşit şekilde dağılmasına, termal stresin azaltılmasına ve ekipmanın stabilitesinin ve kullanım ömrünün artırılmasına yardımcı olur.

4. Yüzey İşlemleri:Kaplama veya kaplama gibi özel yüzey işlemlerinden geçirilen grafit paletler, korozyon ve aşınma dirençlerini daha da artırabilir.

5. Boyut ve şekil:MOCVD ekipmanının özel gereksinimlerine göre, tepsinin ekipmanla uyumluluğunu ve kullanım kolaylığını sağlamak için uygun boyut ve şekli seçin.

6. Üreticinin itibarı:Ürün kalitesinin ve satış sonrası hizmetin güvenilirliğini sağlamak için iyi bir üne ve zengin deneyime sahip bir üretici seçin.

7. Maliyet etkinliği:Teknik gereksinimleri karşılama öncülüğünde maliyet etkinliğini göz önünde bulundurun ve maliyet performansı daha yüksek ürünleri seçin.

VET Energy, yüksek saflıkta grafit reseptör tedarikçisidir, geniş bir kategori yelpazesi sunuyoruz ve farklı marka, model ve özelliklerdeki MOCVD ekipmanlarında kullanılabilir.SiC kaplamalı grafit suseptörVET Energy tarafından üretilen ürünlerde kaplama temas noktaları ve zayıf halkalar yoktur. Hizmet ömrü açısından, farklı ihtiyaçları olan müşterilerin gereksinimlerini karşılayabilirler (klor içeren atmosferlerin kullanımı dahil) ve müşteriler danışmaya ve sorgulamaya davetlidir.