Што е MOCVD графитна лента?

Епитаксијалниот раст на плочките се постигнува преку технологијата на таложење на метални органски хемиски средства со пареа (MOCVD), во која ултрачисти гасови се вбризгуваат во реакторот и фино се мерат, така што тие се комбинираат на покачени температури за да предизвикаат хемиски интеракции и се депонираат на полупроводнички плочки во многу тенки атомски слоеви за да формираат епитаксија на материјали и сложени полупроводници.

Во CVD опремата, подлогата не може да се постави директно на метал или едноставно на основа за епитаксијално депонирање, бидејќи на неа ќе влијаат многу фактори. Затоа, потребен е сусцептор или послужавник за да се држи подлогата, а потоа да се користи CVD технологија за да се изврши епитаксијално депонирање на подлогата. Овој сусцептор еMOCVD графитен сусцептор(исто така нареченоMOCVD графитна лента).

Неговата структура е прикажана на сликата подолу:

Зошто графитниот сусцептор има потреба од CVD облога?

Графитниот сусцептор е една од основните компоненти во опремата MOCVD. Тој е носач и греен елемент на подлогата. Неговите параметри на перформанси, како што се термичката стабилност и термичката униформност, играат одлучувачка улога во квалитетот на растот на епитаксијалниот материјал и директно ја одредуваат униформноста и чистотата на епитаксијалните тенкофилмни материјали. Затоа, неговиот квалитет директно влијае на подготовката на епитаксијалните плочки. Во исто време, со зголемувањето на бројот на употреби и промените во условите за работа, многу е лесен за абење и кинење, тој е потрошен материјал. Одличната топлинска спроводливост и стабилност на графитот му даваат голема предност како основна компонента на опремата MOCVD.

Меѓутоа, ако е само чист графит, ќе има некои проблеми. Во процесот на производство, ќе има преостанати корозивни гасови и органска материја од метал, а графитниот сусцептор ќе кородира и ќе падне, што значително го намалува животниот век на графитниот сусцептор. Во исто време, паѓачкиот графитен прав ќе предизвика и загадување на плочката, па затоа овие проблеми треба да се решат во процесот на подготовка на основата. Технологијата на обложување може да обезбеди фиксација на површинскиот прав, да ја зголеми топлинската спроводливост и да ја балансира распределбата на топлината, и стана главна технологија за решавање на овој проблем.

Според околината на примена и барањата за употреба на графитната основа, површинскиот слој треба да ги има следниве карактеристики:

1. Висока густина и целосна покриеност:Графитната основа е во работна средина со висока температура и корозија. Површината мора да биде целосно покриена, а премазот мора да има добра густина за да игра добра заштитна улога.

2. Добра рамност на површината:Бидејќи графитната основа што се користи за раст на монокристали бара многу висока површинска рамност, оригиналната рамност на основата мора да се одржува откако ќе се подготви премазот, односно површината на премазот мора да биде униформна.

3. Добра цврстина на сврзување:Намалувањето на разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната основа и материјалот за обложување може ефикасно да ја подобри цврстината на поврзување помеѓу двете. По доживување на термички циклуси на висока и ниска температура, облогата не е лесна за пукање.

4. Висока топлинска спроводливост:Висококвалитетниот раст на струготини бара графитната основа да обезбеди брза и униформна топлина, така што материјалот за обложување треба да има висока топлинска спроводливост.

5. Висока точка на топење, отпорност на оксидација на висока температура и отпорност на корозија:Облогата треба да може стабилно да работи во висока температура и корозивна работна средина.

Термичката стабилност, термичката униформност и другите параметри на перформансите наГрафитен сусцептор обложен со SiCИгра одлучувачка улога во квалитетот на растот на епитаксијалниот материјал, па затоа е основна клучна компонента на опремата MOCVD.

Како премаз е избрана кристалната форма β-SiC (3C-SiC). Во споредба со другите кристални форми, оваа кристална форма има низа одлични својства како што се добра термодинамичка стабилност, отпорност на оксидација и отпорност на корозија. Во исто време, има топлинска спроводливост што е во основа конзистентна со онаа на графитот, со што на графитната основа ѝ дава посебни својства. Може ефикасно да го реши дефектот на графитната основа предизвикан од оксидација на висока температура и корозија и губење на прав за време на работата, и да ја направи површината на графитната основа густа, непорозна, отпорна на високи температури, антикорозивна, антиоксидативна и други карактеристики, со што се подобрува квалитетот на кристалот и работниот век на графитната основа (работниот век на графитната основа обложена со SiC се мери во печки).

Како да изберете MOCVD графитен послужавник/сусцептор кој е отпорен на високи температури и корозија?

При избор нафиока за графит или подлога за MOCVDшто е отпорен на корозија на високи температури, треба да се земат предвид следниве клучни фактори:

1. Чистота на материјалот:Графитните материјали со висока чистота можат подобро да се спротивстават на корозија и оксидација на високи температури и да го намалат влијанието на нечистотиите врз процесот на таложење.

2. Густина и порозност:Графитните послужавници со висока густина и ниска порозност имаат подобра механичка цврстина и отпорност на корозија и можат ефикасно да спречат пенетрација на гас и ерозија на материјалот.

3. Топлинска спроводливост:Графитната лента со висока топлинска спроводливост помага за рамномерна распределба на топлината, намалување на термичкиот стрес и подобрување на стабилноста и работниот век на опремата.

4. Површинска обработка:Графитните палети кои претрпеле посебен површински третман, како што се премачкување или позлатување, можат дополнително да ја зголемат нивната отпорност на корозија и отпорност на абење.

5. Големина и облик:Според специфичните барања на опремата MOCVD, изберете ја соодветната големина и облик за да се обезбеди компатибилност на послужавникот со опремата и практичност при работа.

6. Репутација на производителот:Изберете производител со добра репутација и богато искуство за да се обезбеди сигурност на квалитетот на производот и постпродажната услуга.

7. Економичност:Врз основа на исполнување на техничките барања, земете ја предвид економичноста и изберете производи со повисоки трошковни перформанси.

VET Energy е добавувач на графитни сусцептори со висока чистота, нудиме широк спектар на категории и може да се користи во опрема за MOCVD од различни брендови, модели и спецификации.Графитен сусцептор обложен со SiCпроизведени од VET Energy немаат контактни точки за обложување и немаат слаби алки. Во однос на работниот век, тие можат да ги задоволат барањата на клиентите со различни потреби (вклучувајќи ја и употребата на атмосфери што содржат хлор), а клиентите се добредојдени да се консултираат и да побараат информации.