MOCVD گريفائيٽ ٽري ڇا آهي؟

ويفر ايپيٽيڪسيل واڌ ڌاتو نامياتي ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (MOCVD) ٽيڪنالاجي ذريعي حاصل ڪئي ويندي آهي، جنهن ۾ الٽرا پيور گيسن کي ري ايڪٽر ۾ داخل ڪيو ويندو آهي ۽ باریک ميٽر ڪيو ويندو آهي، ته جيئن اهي بلند درجه حرارت تي ڪيميائي رابطي جو سبب بڻجن ۽ تمام پتلي ايٽمي تہن ۾ سيمي ڪنڊڪٽر ويفرز تي جمع ڪيا وڃن ته جيئن مواد ۽ مرڪب سيمي ڪنڊڪٽرز جي ايپيٽيڪسي ٺاهي سگهجي.

سي وي ڊي سامان ۾، سبسٽريٽ کي سڌو سنئون ڌاتو تي يا صرف ايپيٽڪسيل جمع ڪرڻ لاءِ بنياد تي نه ٿو رکي سگهجي، ڇاڪاڻ ته اهو ڪيترن ئي عنصرن کان متاثر ٿيندو. تنهن ڪري، سبسٽريٽ کي رکڻ لاءِ هڪ سسپيٽر يا ٽري جي ضرورت آهي، ۽ پوءِ سبسٽريٽ تي ايپيٽڪسيل جمع ڪرڻ لاءِ سي وي ڊي ٽيڪنالاجي استعمال ڪريو. هي سسپيٽر هڪ آهيMOCVD گريفائيٽ سسپيٽر(پڻ سڏيو ويندو آهيMOCVD گريفائيٽ ٽري).

ان جي بناوت هيٺ ڏنل شڪل ۾ ڏيکاريل آهي:

گريفائٽ سسپيٽر کي سي وي ڊي ڪوٽنگ جي ضرورت ڇو آهي؟

گريفائٽ سسپيٽر MOCVD سامان ۾ بنيادي حصن مان هڪ آهي. اهو سبسٽريٽ جو ڪيريئر ۽ حرارتي عنصر آهي. ان جي ڪارڪردگي جا پيرا ميٽر جهڙوڪ حرارتي استحڪام ۽ حرارتي يڪجهتي ايپيٽڪسيل مواد جي واڌ جي معيار ۾ فيصلو ڪندڙ ڪردار ادا ڪن ٿا، ۽ ايپيٽڪسيل پتلي فلم مواد جي يڪجهتي ۽ پاڪائي کي سڌو سنئون طئي ڪن ٿا. تنهن ڪري، ان جي معيار سڌي طرح ايپيٽڪسيل ويفرز جي تياري تي اثر انداز ٿئي ٿي. ساڳئي وقت، استعمال جي تعداد ۾ واڌ ۽ ڪم ڪندڙ حالتن ۾ تبديلين سان، اهو پائڻ ۽ ڦاٽڻ تمام آسان آهي، اهو هڪ استعمال لائق آهي. گريفائٽ جي بهترين حرارتي چالکائي ۽ استحڪام ان کي MOCVD سامان جي بنيادي جزو جي طور تي هڪ وڏو فائدو ڏئي ٿو.

جڏهن ته، جيڪڏهن اهو صرف خالص گريفائٽ آهي، ته ڪجهه مسئلا هوندا. پيداوار جي عمل ۾، باقي بچيل corrosive گيسون ۽ ڌاتو نامياتي مادو هوندو، ۽ گريفائٽ سسپيٽر خراب ٿي ويندو ۽ گريفائٽ ٿيندو، جيڪو گريفائٽ سسپيٽر جي سروس لائف کي تمام گهڻو گهٽائي ڇڏيندو. ساڳئي وقت، گريفائٽ پائوڊر جو گرڻ به ويفر کي آلودگي جو سبب بڻجندو، تنهن ڪري انهن مسئلن کي بنياد جي تياري جي عمل ۾ حل ڪرڻ جي ضرورت آهي. ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي مٿاڇري جي پائوڊر کي درست ڪرڻ، حرارتي چالکائي کي وڌائڻ، ۽ گرمي جي ورڇ کي متوازن ڪرڻ جي سهولت فراهم ڪري سگهي ٿي، ۽ هن مسئلي کي حل ڪرڻ لاءِ مکيه ٽيڪنالاجي بڻجي چڪي آهي.

گريفائٽ بيس جي ايپليڪيشن ماحول ۽ استعمال جي گهرجن مطابق، مٿاڇري جي ڪوٽنگ ۾ هيٺيان خاصيتون هجڻ گهرجن:

1. وڏي کثافت ۽ مڪمل ڪوريج:گريفائٽ جو بنياد هڪ اعليٰ درجه حرارت ۽ corrosive ڪم ڪندڙ ماحول ۾ آهي. مٿاڇري کي مڪمل طور تي ڍڪڻ گهرجي، ۽ ڪوٽنگ کي سٺو حفاظتي ڪردار ادا ڪرڻ لاءِ سٺي کثافت هجڻ گهرجي.

2. سٺي مٿاڇري جي همواري:جيئن ته سنگل ڪرسٽل جي واڌ لاءِ استعمال ٿيندڙ گريفائيٽ بيس کي تمام گهڻي مٿاڇري جي برابري جي ضرورت آهي، ڪوٽنگ تيار ٿيڻ کان پوءِ بنياد جي اصل برابري برقرار رکڻ گهرجي، يعني ڪوٽنگ جي مٿاڇري هڪجهڙائي هجڻ گهرجي.

3. سٺي بانڊنگ طاقت:گريفائٽ بيس ۽ ڪوٽنگ مواد جي وچ ۾ حرارتي توسيع جي کوٽائي ۾ فرق کي گهٽائڻ سان ٻنهي جي وچ ۾ بانڊنگ جي طاقت کي مؤثر طريقي سان بهتر بڻائي سگهجي ٿو. اعليٰ ۽ گهٽ درجه حرارت جي حرارتي چڪر جو تجربو ڪرڻ کان پوءِ، ڪوٽنگ کي ٽوڙڻ آسان ناهي.

4. اعليٰ حرارتي چالکائي:اعليٰ معيار جي چپ جي واڌ ويجهه لاءِ گريفائيٽ بيس کي تيز ۽ هڪجهڙائي گرمي فراهم ڪرڻ جي ضرورت آهي، تنهن ڪري ڪوٽنگ مواد ۾ اعليٰ حرارتي چالکائي هجڻ گهرجي.

5. اعليٰ پگھلڻ جو نقطو، اعليٰ گرمي پد جي آڪسائيڊشن مزاحمت ۽ سنکنرن جي مزاحمت:ڪوٽنگ کي تيز گرمي پد ۽ corrosive ڪم ڪندڙ ماحول ۾ مستحڪم طور تي ڪم ڪرڻ جي قابل هجڻ گهرجي.

حرارتي استحڪام، حرارتي هڪجهڙائي ۽ ٻيا ڪارڪردگي پيرا ميٽرسي سي ڪوٽيڊ گريفائيٽ سسپيٽرايپيٽيڪسيل مواد جي واڌ جي معيار ۾ فيصلو ڪندڙ ڪردار ادا ڪن ٿا، تنهنڪري اهو MOCVD سامان جو بنيادي اهم جزو آهي.

β-SiC (3C-SiC) ڪرسٽل فارم کي ڪوٽنگ طور چونڊيو ويو آهي. ٻين ڪرسٽل فارمن جي مقابلي ۾، هن ڪرسٽل فارم ۾ بهترين خاصيتن جو هڪ سلسلو آهي جهڙوڪ سٺي ٿرموڊيمڪ استحڪام، آڪسائيڊشن مزاحمت ۽ سنکنرن مزاحمت. ساڳئي وقت، ان ۾ هڪ حرارتي چالکائي آهي جيڪا بنيادي طور تي گريفائٽ سان مطابقت رکي ٿي، اهڙي طرح گريفائٽ بيس کي خاص خاصيتون ڏئي ٿي. اهو گريفائٽ بيس جي ناڪامي کي مؤثر طريقي سان حل ڪري سگهي ٿو جيڪو سروس دوران اعلي درجه حرارت آڪسائيڊشن ۽ سنکنرن ۽ پاؤڊر جي نقصان جي ڪري ٿئي ٿو، ۽ گريفائٽ بيس جي مٿاڇري کي گهاٽو، غير پورس، اعلي درجه حرارت مزاحمتي، اينٽي سنکنرن، اينٽي آڪسائيڊشن ۽ ٻيون خاصيتون بڻائي ٿو، انهي ڪري ڪرسٽل ايپيٽيڪسيل معيار ۽ گريفائٽ بيس جي سروس لائف کي بهتر بڻائي ٿو (SiC ڪوٽيڊ گريفائٽ بيس جي سروس لائف فرنس ۾ ماپي ويندي آهي).

MOCVD گريفائيٽ ٽري/سسپيٽر ڪيئن چونڊيو جيڪو تيز گرمي پد ۽ سنکنرن جي مزاحمت ڪري؟

جڏهن هڪ چونڊيوgraphite ٽري يا MOCVD لاء susceptorجيڪو تيز گرمي پد جي سنکنرن جي مزاحمت ڪري، هيٺيان اهم عنصر غور ۾ رکڻ گهرجن:

1. مادي پاڪائي:اعليٰ پاڪيزگي وارا گريفائيٽ مواد اعليٰ گرمي پد تي سنکنرن ۽ آڪسائيڊشن جي بهتر مزاحمت ڪري سگهن ٿا ۽ جمع ڪرڻ جي عمل تي نجاست جي اثر کي گهٽائي سگهن ٿا.

2. کثافت ۽ سوراخ:گريفائيٽ ٽريون جيڪي وڌيڪ کثافت ۽ گهٽ پورسيٽي سان هونديون آهن، انهن ۾ بهتر ميڪيڪل طاقت ۽ سنکنرن جي مزاحمت هوندي آهي، ۽ اهي گئس جي دخول ۽ مادي جي ڪٽائي کي مؤثر طريقي سان روڪي سگهن ٿيون.

3. حرارتي چالکائي:اعليٰ حرارتي چالکائي واري گريفائيٽ ٽري گرمي کي برابر ورهائڻ، حرارتي دٻاءُ گهٽائڻ، ۽ سامان جي استحڪام ۽ سروس جي زندگي کي بهتر بڻائڻ ۾ مدد ڪري ٿي.

4. مٿاڇري جو علاج:گريفائيٽ پيليٽس جيڪي خاص مٿاڇري جي علاج مان گذريا آهن، جهڙوڪ ڪوٽنگ يا پليٽنگ، انهن جي سنکنرن جي مزاحمت ۽ لباس جي مزاحمت کي وڌيڪ وڌائي سگهن ٿا.

5. سائيز ۽ شڪل:MOCVD سامان جي مخصوص گهرجن مطابق، سامان سان ٽري جي مطابقت ۽ آپريشن جي سهولت کي يقيني بڻائڻ لاءِ مناسب سائيز ۽ شڪل چونڊيو.

6. ٺاهيندڙ جي شهرت:پيداوار جي معيار ۽ بعد ۾ سيلز سروس جي اعتبار کي يقيني بڻائڻ لاءِ سٺي شهرت ۽ ڀرپور تجربي سان هڪ ٺاهيندڙ چونڊيو.

7. قيمت جي اثرائتي:ٽيڪنيڪل گهرجن کي پورو ڪرڻ جي بنياد تي، قيمت جي اثرائتي تي غور ڪريو ۽ وڌيڪ قيمت جي ڪارڪردگي سان مصنوعات چونڊيو.

وي اي ٽي انرجي هڪ اعليٰ پاڪائي وارو گريفائيٽ سسپيٽر فراهم ڪندڙ آهي، اسان مختلف قسمن جون ڪيٽيگريز پيش ڪندا آهيون، ۽ مختلف برانڊن، ماڊلز ۽ وضاحتن جي MOCVD سامان ۾ استعمال ڪري سگهجي ٿو.سي سي ڪوٽيڊ گريفائيٽ سسپيٽروي اي ٽي انرجي پاران تيار ڪيل، ڪو به ڪوٽنگ رابطي جا نقطا نه آهن ۽ نه ئي ڪو ڪمزور ڪڙيون آهن. سروس جي زندگي جي لحاظ کان، اهي مختلف ضرورتن سان گراهڪن جي گهرجن کي پورو ڪري سگهن ٿا (بشمول ڪلورين تي مشتمل ماحول جو استعمال)، ۽ گراهڪن کي صلاح ۽ پڇا ڳاڇا ڪرڻ لاءِ ڀليڪار آهي.