MOCVD ग्रेफाइट ट्रे म्हणजे काय?

वेफर एपिटॅक्सियल वाढ ही मेटल ऑरगॅनिक केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (MOCVD) तंत्रज्ञानाद्वारे साध्य केली जाते, ज्यामध्ये अति-शुद्ध वायू अणुभट्टीमध्ये इंजेक्ट केले जातात आणि बारीक मीटरने मोजले जातात, जेणेकरून ते उच्च तापमानात एकत्रित होऊन रासायनिक परस्परसंवाद घडवून आणतात आणि अतिशय पातळ अणु थरांमध्ये सेमीकंडक्टर वेफर्सवर जमा होतात ज्यामुळे पदार्थ आणि कंपाऊंड सेमीकंडक्टरची एपिटॅक्सि तयार होते.

सीव्हीडी उपकरणांमध्ये, सब्सट्रेट थेट धातूवर किंवा एपिटॅक्सियल डिपॉझिशनसाठी फक्त बेसवर ठेवता येत नाही, कारण त्यावर अनेक घटकांचा परिणाम होईल. म्हणून, सब्सट्रेट ठेवण्यासाठी ससेप्टर किंवा ट्रे आवश्यक आहे, आणि नंतर सब्सट्रेटवर एपिटॅक्सियल डिपॉझिशन करण्यासाठी सीव्हीडी तंत्रज्ञानाचा वापर करा. हे ससेप्टर एक आहेMOCVD ग्रेफाइट ससेप्टर(याला म्हणतातMOCVD ग्रेफाइट ट्रे).

त्याची रचना खालील आकृतीमध्ये दर्शविली आहे:

ग्रेफाइट ससेप्टरला CVD कोटिंगची आवश्यकता का असते?

ग्राफाइट ससेप्टर हा MOCVD उपकरणांमधील मुख्य घटकांपैकी एक आहे. तो सब्सट्रेटचा वाहक आणि गरम घटक आहे. त्याचे कार्यप्रदर्शन मापदंड जसे की थर्मल स्थिरता आणि थर्मल एकरूपता एपिटॅक्सियल मटेरियलच्या वाढीच्या गुणवत्तेत निर्णायक भूमिका बजावतात आणि एपिटॅक्सियल पातळ फिल्म मटेरियलची एकरूपता आणि शुद्धता थेट ठरवतात. म्हणूनच, त्याची गुणवत्ता एपिटॅक्सियल वेफर्सच्या तयारीवर थेट परिणाम करते. त्याच वेळी, वापराच्या संख्येत वाढ आणि कामाच्या परिस्थितीत बदल झाल्यामुळे, ते झीज होणे आणि फाडणे खूप सोपे आहे, ते उपभोग्य आहे. ग्रेफाइटची उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि स्थिरता MOCVD उपकरणांच्या बेस घटक म्हणून त्याला एक मोठा फायदा देते.

तथापि, जर ते फक्त शुद्ध ग्रेफाइट असेल तर काही समस्या असतील. उत्पादन प्रक्रियेत, अवशिष्ट संक्षारक वायू आणि धातूचे सेंद्रिय पदार्थ असतील आणि ग्रेफाइट ससेप्टर गंजून पडेल, ज्यामुळे ग्रेफाइट ससेप्टरचे सेवा आयुष्य खूप कमी होते. त्याच वेळी, पडणाऱ्या ग्रेफाइट पावडरमुळे वेफरमध्ये प्रदूषण देखील होईल, म्हणून बेस तयार करण्याच्या प्रक्रियेत या समस्या सोडवणे आवश्यक आहे. कोटिंग तंत्रज्ञान पृष्ठभाग पावडर निश्चित करू शकते, थर्मल चालकता वाढवू शकते आणि उष्णता वितरण संतुलित करू शकते आणि ही समस्या सोडवण्यासाठी मुख्य तंत्रज्ञान बनले आहे.

ग्रेफाइट बेसच्या वापराच्या वातावरण आणि वापराच्या आवश्यकतांनुसार, पृष्ठभागाच्या कोटिंगमध्ये खालील वैशिष्ट्ये असावीत:

१. उच्च घनता आणि पूर्ण कव्हरेज:ग्रेफाइट बेस उच्च तापमान आणि संक्षारक कार्यरत वातावरणात आहे. पृष्ठभाग पूर्णपणे झाकलेला असणे आवश्यक आहे आणि चांगली संरक्षणात्मक भूमिका बजावण्यासाठी कोटिंगमध्ये चांगली घनता असणे आवश्यक आहे.

२. पृष्ठभागाची चांगली सपाटता:सिंगल क्रिस्टल वाढीसाठी वापरल्या जाणाऱ्या ग्रेफाइट बेसला खूप जास्त पृष्ठभागाची सपाटता आवश्यक असल्याने, कोटिंग तयार झाल्यानंतर बेसची मूळ सपाटता राखली पाहिजे, म्हणजेच कोटिंग पृष्ठभाग एकसमान असावा.

३. चांगली बंधन शक्ती:ग्रेफाइट बेस आणि कोटिंग मटेरियलमधील थर्मल एक्सपेंशन गुणांकातील फरक कमी केल्याने दोघांमधील बाँडिंग स्ट्रेंथ प्रभावीपणे सुधारू शकते. उच्च आणि कमी तापमानाच्या थर्मल सायकलचा अनुभव घेतल्यानंतर, कोटिंग क्रॅक करणे सोपे नसते.

४. उच्च औष्णिक चालकता:उच्च-गुणवत्तेच्या चिप वाढीसाठी ग्रेफाइट बेसला जलद आणि एकसमान उष्णता प्रदान करणे आवश्यक आहे, म्हणून कोटिंग मटेरियलमध्ये उच्च थर्मल चालकता असणे आवश्यक आहे.

५. उच्च वितळण्याचा बिंदू, उच्च तापमानाचा ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि गंज प्रतिकार:उच्च तापमानात आणि संक्षारक काम करणाऱ्या वातावरणात कोटिंग स्थिरपणे काम करू शकेल असे असावे.

ची थर्मल स्थिरता, थर्मल एकरूपता आणि इतर कामगिरी मापदंडSiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरएपिटॅक्सियल मटेरियल वाढीच्या गुणवत्तेत निर्णायक भूमिका बजावते, म्हणून ते MOCVD उपकरणांचा मुख्य घटक आहे.

β-SiC (3C-SiC) क्रिस्टल फॉर्म कोटिंग म्हणून निवडला जातो. इतर क्रिस्टल फॉर्मच्या तुलनेत, या क्रिस्टल फॉर्ममध्ये चांगली थर्मोडायनामिक स्थिरता, ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि गंज प्रतिरोध यासारखे उत्कृष्ट गुणधर्म आहेत. त्याच वेळी, त्यात थर्मल चालकता आहे जी मुळात ग्रेफाइटशी सुसंगत आहे, ज्यामुळे ग्रेफाइट बेसला विशेष गुणधर्म मिळतात. ते उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन आणि गंज आणि सेवेदरम्यान पावडरच्या नुकसानामुळे ग्रेफाइट बेसच्या अपयशाचे प्रभावीपणे निराकरण करू शकते आणि ग्रेफाइट बेसच्या पृष्ठभागाला दाट, छिद्ररहित, उच्च-तापमान प्रतिरोधक, गंजरोधक, अँटी-ऑक्सिडेशन आणि इतर वैशिष्ट्ये बनवू शकते, ज्यामुळे क्रिस्टल एपिटॅक्सियल गुणवत्ता आणि ग्रेफाइट बेसची सेवा जीवन सुधारते (SiC लेपित ग्रेफाइट बेसचे सेवा जीवन भट्टीमध्ये मोजले जाते).

उच्च तापमान आणि गंज प्रतिरोधक MOCVD ग्रेफाइट ट्रे/ससेप्टर कसा निवडायचा?

निवडतानाMOCVD साठी ग्रेफाइट ट्रे किंवा ससेप्टरउच्च तापमानाच्या गंजांना प्रतिरोधक असलेल्या, खालील प्रमुख घटकांचा विचार केला पाहिजे:

१. साहित्याची शुद्धता:उच्च-शुद्धता असलेले ग्रेफाइट पदार्थ उच्च तापमानात गंज आणि ऑक्सिडेशनला चांगले प्रतिकार करू शकतात आणि अशुद्धतेचा जमा होण्याच्या प्रक्रियेवर होणारा परिणाम कमी करू शकतात.

२. घनता आणि सच्छिद्रता:उच्च घनता आणि कमी सच्छिद्रता असलेल्या ग्रेफाइट ट्रेमध्ये चांगले यांत्रिक सामर्थ्य आणि गंज प्रतिरोधक क्षमता असते आणि ते वायू प्रवेश आणि सामग्रीची धूप प्रभावीपणे रोखू शकतात.

३. औष्णिक चालकता:उच्च थर्मल चालकता असलेली ग्रेफाइट ट्रे उष्णता समान रीतीने वितरित करण्यास, थर्मल ताण कमी करण्यास आणि उपकरणांची स्थिरता आणि सेवा आयुष्य सुधारण्यास मदत करते.

४. पृष्ठभाग उपचार:कोटिंग किंवा प्लेटिंग सारख्या विशेष पृष्ठभागावरील उपचार घेतलेले ग्रेफाइट पॅलेट्स त्यांचा गंज प्रतिकार आणि पोशाख प्रतिकार आणखी वाढवू शकतात.

५. आकार आणि आकार:MOCVD उपकरणांच्या विशिष्ट आवश्यकतांनुसार, उपकरणांशी ट्रेची सुसंगतता आणि ऑपरेशनची सोय सुनिश्चित करण्यासाठी योग्य आकार आणि आकार निवडा.

६. उत्पादकाची प्रतिष्ठा:उत्पादनाची गुणवत्ता आणि विक्रीनंतरच्या सेवेची विश्वासार्हता सुनिश्चित करण्यासाठी चांगली प्रतिष्ठा आणि समृद्ध अनुभव असलेला निर्माता निवडा.

७. खर्च-प्रभावीपणा:तांत्रिक आवश्यकता पूर्ण करण्याच्या आधारावर, किफायतशीरपणाचा विचार करा आणि जास्त किमतीची कामगिरी असलेली उत्पादने निवडा.

व्हीईटी एनर्जी ही उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट ससेप्टर पुरवठादार आहे, आम्ही विविध श्रेणी ऑफर करतो आणि वेगवेगळ्या ब्रँड, मॉडेल आणि वैशिष्ट्यांच्या MOCVD उपकरणांमध्ये वापरता येते.SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरव्हीईटी एनर्जीद्वारे उत्पादित केलेल्या उत्पादनांमध्ये कोणतेही कोटिंग संपर्क बिंदू नाहीत आणि कमकुवत दुवे नाहीत. सेवा आयुष्याच्या बाबतीत, ते वेगवेगळ्या गरजा असलेल्या ग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करू शकतात (क्लोरीनयुक्त वातावरणाचा वापर यासह), आणि ग्राहकांचे सल्लामसलत आणि चौकशीसाठी स्वागत आहे.