MOCVD ગ્રેફાઇટ ટ્રે શું છે?

વેફર એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિ મેટલ ઓર્ગેનિક કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (MOCVD) ટેકનોલોજી દ્વારા પ્રાપ્ત થાય છે, જેમાં અતિ-શુદ્ધ વાયુઓને રિએક્ટરમાં ઇન્જેક્ટ કરવામાં આવે છે અને બારીક રીતે માપવામાં આવે છે, જેથી તેઓ ઊંચા તાપમાને ભેગા થઈને રાસાયણિક ક્રિયાપ્રતિક્રિયાઓ કરે છે અને ખૂબ જ પાતળા અણુ સ્તરોમાં સેમિકન્ડક્ટર વેફર પર જમા થાય છે જેથી સામગ્રી અને સંયોજન સેમિકન્ડક્ટર્સની એપિટેક્સિ બને.

CVD સાધનોમાં, સબસ્ટ્રેટને સીધા ધાતુ પર અથવા ફક્ત એપિટેક્સિયલ ડિપોઝિશન માટે બેઝ પર મૂકી શકાતું નથી, કારણ કે તે ઘણા પરિબળોથી પ્રભાવિત થશે. તેથી, સબસ્ટ્રેટને પકડી રાખવા માટે સસેપ્ટર અથવા ટ્રેની જરૂર પડે છે, અને પછી સબસ્ટ્રેટ પર એપિટેક્સિયલ ડિપોઝિશન કરવા માટે CVD ટેકનોલોજીનો ઉપયોગ થાય છે. આ સસેપ્ટર એક છેMOCVD ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટર(જેનેMOCVD ગ્રેફાઇટ ટ્રે).

તેની રચના નીચેની આકૃતિમાં બતાવવામાં આવી છે:

ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટરને CVD કોટિંગની જરૂર કેમ પડે છે?

ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટર એ MOCVD સાધનોમાં મુખ્ય ઘટકોમાંનું એક છે. તે સબસ્ટ્રેટનું વાહક અને ગરમી તત્વ છે. તેના પ્રદર્શન પરિમાણો જેમ કે થર્મલ સ્થિરતા અને થર્મલ એકરૂપતા એપિટેક્સિયલ સામગ્રીના વિકાસની ગુણવત્તામાં નિર્ણાયક ભૂમિકા ભજવે છે, અને એપિટેક્સિયલ પાતળા ફિલ્મ સામગ્રીની એકરૂપતા અને શુદ્ધતા સીધી રીતે નક્કી કરે છે. તેથી, તેની ગુણવત્તા એપિટેક્સિયલ વેફર્સની તૈયારીને સીધી અસર કરે છે. તે જ સમયે, ઉપયોગોની સંખ્યામાં વધારો અને કાર્યકારી પરિસ્થિતિઓમાં ફેરફાર સાથે, તે ઘસાઈ જવું અને ફાડવું ખૂબ જ સરળ છે, તે ઉપભોગ્ય છે. ગ્રેફાઇટની ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા અને સ્થિરતા તેને MOCVD સાધનોના મૂળ ઘટક તરીકે એક મોટો ફાયદો આપે છે.

જોકે, જો તે માત્ર શુદ્ધ ગ્રેફાઇટ હશે, તો કેટલીક સમસ્યાઓ હશે. ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં, શેષ કાટ લાગતા વાયુઓ અને ધાતુ કાર્બનિક પદાર્થો હશે, અને ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટર કાટ લાગશે અને પડી જશે, જે ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટરની સેવા જીવનને મોટા પ્રમાણમાં ઘટાડે છે. તે જ સમયે, પડતો ગ્રેફાઇટ પાવડર વેફરમાં પ્રદૂષણનું કારણ બનશે, તેથી આ સમસ્યાઓને બેઝની તૈયારી પ્રક્રિયામાં ઉકેલવાની જરૂર છે. કોટિંગ ટેકનોલોજી સપાટી પાવડર ફિક્સેશન, થર્મલ વાહકતા વધારવા અને ગરમી વિતરણને સંતુલિત કરી શકે છે, અને આ સમસ્યાને ઉકેલવા માટેની મુખ્ય તકનીક બની ગઈ છે.

ગ્રેફાઇટ બેઝના એપ્લિકેશન વાતાવરણ અને ઉપયોગની જરૂરિયાતો અનુસાર, સપાટીના કોટિંગમાં નીચેની લાક્ષણિકતાઓ હોવી જોઈએ:

1. ઉચ્ચ ઘનતા અને સંપૂર્ણ કવરેજ:ગ્રેફાઇટ બેઝ ઊંચા તાપમાન અને કાટ લાગતા કાર્યકારી વાતાવરણમાં છે. સપાટી સંપૂર્ણપણે ઢંકાયેલી હોવી જોઈએ, અને સારી રક્ષણાત્મક ભૂમિકા ભજવવા માટે કોટિંગમાં સારી ઘનતા હોવી જોઈએ.

2. સારી સપાટી સપાટતા:સિંગલ ક્રિસ્ટલ ગ્રોથ માટે વપરાતા ગ્રેફાઇટ બેઝને ખૂબ જ ઊંચી સપાટીની સપાટતા જરૂરી હોવાથી, કોટિંગ તૈયાર થયા પછી બેઝની મૂળ સપાટતા જાળવી રાખવી જોઈએ, એટલે કે, કોટિંગ સપાટી એકસમાન હોવી જોઈએ.

3. સારી બંધન શક્તિ:ગ્રેફાઇટ બેઝ અને કોટિંગ મટિરિયલ વચ્ચેના થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંકમાં તફાવત ઘટાડવાથી બંને વચ્ચેના બંધન મજબૂતાઈમાં અસરકારક રીતે સુધારો થઈ શકે છે. ઉચ્ચ અને નીચા તાપમાનના થર્મલ ચક્રનો અનુભવ કર્યા પછી, કોટિંગમાં તિરાડ પડવી સરળ નથી.

4. ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા:ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી ચિપ વૃદ્ધિ માટે ગ્રેફાઇટ બેઝને ઝડપી અને સમાન ગરમી પ્રદાન કરવાની જરૂર છે, તેથી કોટિંગ સામગ્રીમાં ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા હોવી જોઈએ.

5. ઉચ્ચ ગલનબિંદુ, ઉચ્ચ તાપમાન ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર અને કાટ પ્રતિકાર:કોટિંગ ઊંચા તાપમાન અને કાટ લાગતા કાર્યકારી વાતાવરણમાં સ્થિર રીતે કામ કરી શકે તેવું હોવું જોઈએ.

થર્મલ સ્થિરતા, થર્મલ એકરૂપતા અને અન્ય કામગીરી પરિમાણોSiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટરએપિટેક્સિયલ મટીરીયલ ગ્રોથની ગુણવત્તામાં નિર્ણાયક ભૂમિકા ભજવે છે, તેથી તે MOCVD સાધનોનો મુખ્ય મુખ્ય ઘટક છે.

β-SiC (3C-SiC) સ્ફટિક સ્વરૂપને કોટિંગ તરીકે પસંદ કરવામાં આવે છે. અન્ય સ્ફટિક સ્વરૂપોની તુલનામાં, આ સ્ફટિક સ્વરૂપ ઉત્તમ ગુણધર્મોની શ્રેણી ધરાવે છે જેમ કે સારી થર્મોડાયનેમિક સ્થિરતા, ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર અને કાટ પ્રતિકાર. તે જ સમયે, તેમાં થર્મલ વાહકતા છે જે મૂળભૂત રીતે ગ્રેફાઇટ સાથે સુસંગત છે, આમ ગ્રેફાઇટ બેઝને ખાસ ગુણધર્મો આપે છે. તે ઉચ્ચ-તાપમાન ઓક્સિડેશન અને સેવા દરમિયાન કાટ અને પાવડરના નુકસાનને કારણે ગ્રેફાઇટ બેઝની નિષ્ફળતાને અસરકારક રીતે હલ કરી શકે છે, અને ગ્રેફાઇટ બેઝની સપાટીને ગાઢ, બિન-છિદ્રાળુ, ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રતિરોધક, કાટ-વિરોધી, એન્ટિ-ઓક્સિડેશન અને અન્ય લાક્ષણિકતાઓ બનાવે છે, જેનાથી ક્રિસ્ટલ એપિટેક્સિયલ ગુણવત્તા અને ગ્રેફાઇટ બેઝની સેવા જીવન (SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ બેઝની સેવા જીવન ભઠ્ઠીઓમાં માપવામાં આવે છે) માં સુધારો થાય છે.

ઉચ્ચ તાપમાન અને કાટ સામે પ્રતિરોધક MOCVD ગ્રેફાઇટ ટ્રે/સસેપ્ટર કેવી રીતે પસંદ કરવું?

પસંદ કરતી વખતેગ્રેફાઇટ ટ્રે અથવા MOCVD માટે સસેપ્ટરજે ઉચ્ચ તાપમાનના કાટ સામે પ્રતિરોધક છે, તેમાં નીચેના મુખ્ય પરિબળો ધ્યાનમાં લેવા જોઈએ:

1. સામગ્રી શુદ્ધતા:ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા ગ્રેફાઇટ પદાર્થો ઊંચા તાપમાને કાટ અને ઓક્સિડેશનનો વધુ સારી રીતે પ્રતિકાર કરી શકે છે અને અશુદ્ધિઓના નિક્ષેપણ પ્રક્રિયા પરના પ્રભાવને ઘટાડી શકે છે.

2. ઘનતા અને છિદ્રાળુતા:ઉચ્ચ ઘનતા અને ઓછી છિદ્રાળુતા ધરાવતી ગ્રેફાઇટ ટ્રેમાં વધુ સારી યાંત્રિક શક્તિ અને કાટ પ્રતિકાર હોય છે, અને તે ગેસના પ્રવેશ અને સામગ્રીના ધોવાણને અસરકારક રીતે અટકાવી શકે છે.

3. થર્મલ વાહકતા:ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા ધરાવતી ગ્રેફાઇટ ટ્રે ગરમીનું સમાનરૂપે વિતરણ કરવામાં, થર્મલ તણાવ ઘટાડવામાં અને સાધનોની સ્થિરતા અને સેવા જીવન સુધારવામાં મદદ કરે છે.

4. સપાટીની સારવાર:ગ્રેફાઇટ પેલેટ્સ કે જે ખાસ સપાટીની સારવારમાંથી પસાર થયા છે, જેમ કે કોટિંગ અથવા પ્લેટિંગ, તેમના કાટ પ્રતિકાર અને ઘસારો પ્રતિકારને વધુ વધારી શકે છે.

૫. કદ અને આકાર:MOCVD સાધનોની ચોક્કસ જરૂરિયાતો અનુસાર, સાધનો સાથે ટ્રેની સુસંગતતા અને સંચાલનની સુવિધા સુનિશ્ચિત કરવા માટે યોગ્ય કદ અને આકાર પસંદ કરો.

6. ઉત્પાદકની પ્રતિષ્ઠા:ઉત્પાદનની ગુણવત્તા અને વેચાણ પછીની સેવાની વિશ્વસનીયતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે સારી પ્રતિષ્ઠા અને સમૃદ્ધ અનુભવ ધરાવતા ઉત્પાદકને પસંદ કરો.

7. ખર્ચ-અસરકારકતા:ટેકનિકલ આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરવાના આધારે, ખર્ચ-અસરકારકતા ધ્યાનમાં લો અને વધુ ખર્ચ પ્રદર્શન ધરાવતા ઉત્પાદનો પસંદ કરો.

VET એનર્જી એક ઉચ્ચ-શુદ્ધતા ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટર સપ્લાયર છે, અમે વિવિધ શ્રેણીઓ પ્રદાન કરીએ છીએ, અને વિવિધ બ્રાન્ડ્સ, મોડેલો અને વિશિષ્ટતાઓના MOCVD સાધનોમાં તેનો ઉપયોગ કરી શકાય છે.SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ સસેપ્ટરVET એનર્જી દ્વારા ઉત્પાદિત, તેમાં કોઈ કોટિંગ સંપર્ક બિંદુઓ નથી અને કોઈ નબળી કડીઓ નથી. સેવા જીવનની દ્રષ્ટિએ, તેઓ વિવિધ જરૂરિયાતો (ક્લોરિન ધરાવતા વાતાવરણના ઉપયોગ સહિત) ધરાવતા ગ્રાહકોની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે, અને ગ્રાહકો સલાહ અને પૂછપરછ માટે આવકાર્ય છે.