Шта је MOCVD графитни послужавник?

Епитаксијални раст плочица постиже се технологијом металоорганског хемијског таложења из паре (MOCVD), у којој се ултрачисти гасови убризгавају у реактор и фино дозирају, тако да се комбинују на повишеним температурама и изазивају хемијске интеракције, а затим се таложе на полупроводничке плочице у веома танким атомским слојевима, формирајући епитаксију материјала и сложених полупроводника.

Код CVD опреме, подлога се не може поставити директно на метал или једноставно на подлогу за епитаксијално наношење, јер ће на њу утицати многи фактори. Стога је потребан сусцептор или послужавник за држање подлоге, а затим се CVD технологија користи за извођење епитаксијалног наношења на подлогу. Овај сусцептор је...MOCVD графитни сусцептор(такође се називаMOCVD графитна посуда).

Његова структура је приказана на слици испод:

Зашто је графитном сусцептору потребан CVD премаз?

Графитни сусцептор је једна од основних компоненти у MOCVD опреми. Он је носач и грејни елемент подлоге. Његови параметри перформанси, као што су термичка стабилност и термичка уједначеност, играју одлучујућу улогу у квалитету раста епитаксијалног материјала и директно одређују уједначеност и чистоћу епитаксијалних танкослојних материјала. Стога, његов квалитет директно утиче на припрему епитаксијалних плочица. Истовремено, са повећањем броја употреба и променама у условима рада, веома се лако хаба и троши, па је потрошни материјал. Одлична топлотна проводљивост и стабилност графита дају му велику предност као основној компоненти MOCVD опреме.

Међутим, ако је у питању само чисти графит, појавиће се неки проблеми. У процесу производње, постојаће резидуални корозивни гасови и металне органске материје, а графитни сусцептор ће кородирати и отпадати, што значајно смањује његов век трајања. Истовремено, падајући графитни прах ће такође изазвати загађење плочице, па се ови проблеми морају решити у процесу припреме основе. Технологија премазивања може обезбедити фиксирање површинског праха, побољшати топлотну проводљивост и уравнотежити расподелу топлоте, и постала је главна технологија за решавање овог проблема.

У складу са условима примене и захтевима употребе графитне основе, површински премаз треба да има следеће карактеристике:

1. Висока густина и потпуна покривеност:Графитна база је у радном окружењу са високом температуром и корозивним утицајем. Површина мора бити потпуно прекривена, а премаз мора имати добру густину како би играо добру заштитну улогу.

2. Добра равност површине:Пошто графитна база која се користи за раст монокристала захтева веома високу равност површине, првобитна равност базе мора се одржати након припреме премаза, односно површина премаза мора бити уједначена.

3. Добра чврстоћа лепљења:Смањење разлике у коефицијенту термичког ширења између графитне основе и материјала премаза може ефикасно побољшати чврстоћу везе између њих. Након циклуса високих и ниских температура, премаз није лако пуцати.

4. Висока топлотна проводљивост:За висококвалитетни раст чипова потребна је графитна база која обезбеђује брзу и равномерну топлоту, тако да материјал за премаз треба да има високу топлотну проводљивост.

5. Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама и отпорност на корозију:Премаз треба да буде у стању да стабилно ради у условима високе температуре и корозивног радног окружења.

Термичка стабилност, термичка уједначеност и други параметри перформансиГрафитни сусцептор обложен SiC-омиграју одлучујућу улогу у квалитету раста епитаксијалног материјала, тако да је то кључна компонента MOCVD опреме.

Као премаз је изабран кристални облик β-SiC (3C-SiC). У поређењу са другим кристалним облицима, овај кристални облик има низ одличних својстава као што су добра термодинамичка стабилност, отпорност на оксидацију и отпорност на корозију. Истовремено, има топлотну проводљивост која је у основи у складу са графитом, што графитној бази даје посебна својства. Може ефикасно решити проблем квара графитне базе узрокованог оксидацијом и корозијом на високим температурама и губитком праха током рада, и учинити површину графитне базе густом, непорозном, отпорном на високе температуре, антикорозивном, антиоксидационом и другим карактеристикама, чиме се побољшава квалитет кристалне епитаксијалности и век трајања графитне базе (век трајања графитне базе обложене SiC-ом мери се у пећима).

Како одабрати MOCVD графитну посуду/сусцептор отпорну на високе температуре и корозију?

Приликом избораграфитна посуда или суцептор за МОЦВДкоји је отпоран на корозију на високим температурама, треба узети у обзир следеће кључне факторе:

1. Чистоћа материјала:Графитни материјали високе чистоће могу боље да се одупру корозији и оксидацији на високим температурама и да смање утицај нечистоћа на процес таложења.

2. Густина и порозност:Графитне посуде са високом густином и ниском порозношћу имају бољу механичку чврстоћу и отпорност на корозију и могу ефикасно спречити продор гаса и ерозију материјала.

3. Топлотна проводљивост:Графитна посуда високе топлотне проводљивости помаже у равномерној расподели топлоте, смањењу термичког напрезања и побољшању стабилности и века трајања опреме.

4. Површинска обрада:Графитне палете које су прошле посебну површинску обраду, као што је премаз или позлаћивање, могу додатно побољшати своју отпорност на корозију и отпорност на хабање.

5. Величина и облик:У складу са специфичним захтевима MOCVD опреме, изаберите одговарајућу величину и облик како бисте осигурали компатибилност послужавника са опремом и погодност рада.

6. Репутација произвођача:Изаберите произвођача са добром репутацијом и богатим искуством како бисте осигурали поузданост квалитета производа и постпродајне услуге.

7. Исплативост:Под претпоставком испуњавања техничких захтева, размотрите исплативост и изаберите производе са вишим односом цена и перформанси.

VET Energy је добављач високочистих графитних сусцептора, нудимо широк спектар категорија и можемо их користити у MOCVD опреми различитих марки, модела и спецификација.Графитни сусцептор обложен SiC-омПроизведено од стране VET Energy немају контактне тачке премаза и немају слабе везе. Што се тиче века трајања, могу да задовоље захтеве купаца са различитим потребама (укључујући употребу атмосфера које садрже хлор), а купци су добродошли да се консултују и упитају.