MOCVD గ్రాఫైట్ ట్రే అంటే ఏమిటి?

మెటల్ ఆర్గానిక్ కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (MOCVD) టెక్నాలజీ ద్వారా వేఫర్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ సాధించబడుతుంది. ఈ టెక్నాలజీలో, అత్యంత స్వచ్ఛమైన వాయువులను రియాక్టర్‌లోకి పంపి, వాటిని సూక్ష్మంగా కొలిచి, అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద అవి కలిసి రసాయన చర్యలను కలిగించేలా చేస్తారు. ఆ తర్వాత ఈ వాయువులు చాలా పలుచని పరమాణు పొరలలో సెమీకండక్టర్ వేఫర్‌లపై నిక్షేపించబడి, పదార్థాలు మరియు కాంపౌండ్ సెమీకండక్టర్ల ఎపిటాక్సీని ఏర్పరుస్తాయి.

CVD పరికరాలలో, ఎపిటాక్సియల్ డిపోజిషన్ కోసం సబ్‌స్ట్రేట్‌ను నేరుగా లోహంపై లేదా కేవలం ఒక బేస్‌పై ఉంచలేము, ఎందుకంటే అది అనేక కారకాలచే ప్రభావితమవుతుంది. అందువల్ల, సబ్‌స్ట్రేట్‌ను పట్టుకోవడానికి ఒక ససెప్టర్ లేదా ట్రే అవసరం, ఆపై సబ్‌స్ట్రేట్‌పై ఎపిటాక్సియల్ డిపోజిషన్ చేయడానికి CVD టెక్నాలజీని ఉపయోగిస్తారు. ఈ ససెప్టర్ అనేదిMOCVD గ్రాఫైట్ ససెప్టర్(అని కూడా పిలుస్తారు)MOCVD గ్రాఫైట్ ట్రే).

దీని నిర్మాణం క్రింది చిత్రంలో చూపబడింది:

గ్రాఫైట్ ససెప్టర్‌కు CVD కోటింగ్ ఎందుకు అవసరం?

గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అనేది MOCVD పరికరాలలో ఒక ప్రధాన భాగం. ఇది సబ్‌స్ట్రేట్‌కు వాహకంగా మరియు తాపన మూలకంగా పనిచేస్తుంది. దీని ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు ఉష్ణ ఏకరూపత వంటి పనితీరు పారామితులు ఎపిటాక్సియల్ పదార్థ వృద్ధి నాణ్యతలో కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి, మరియు ఎపిటాక్సియల్ పలుచని పొర పదార్థాల ఏకరూపతను, స్వచ్ఛతను నేరుగా నిర్ధారిస్తాయి. అందువల్ల, దీని నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ వేఫర్‌ల తయారీని నేరుగా ప్రభావితం చేస్తుంది. అదే సమయంలో, వినియోగాల సంఖ్య పెరగడం మరియు పని పరిస్థితులలో మార్పుల కారణంగా, ఇది చాలా సులభంగా అరిగిపోతుంది, మరియు ఇది ఒక వినియోగ వస్తువు. గ్రాఫైట్ యొక్క అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు స్థిరత్వం, MOCVD పరికరాలలో ఒక ఆధార భాగంగా దీనికి గొప్ప ప్రయోజనాన్ని చేకూరుస్తాయి.

అయితే, అది కేవలం స్వచ్ఛమైన గ్రాఫైట్ అయితే, కొన్ని సమస్యలు ఉంటాయి. ఉత్పత్తి ప్రక్రియలో, అవశేష క్షయకారక వాయువులు మరియు లోహ సేంద్రీయ పదార్థాలు ఉంటాయి, మరియు గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ క్షయం చెంది రాలిపోతుంది, ఇది గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని బాగా తగ్గిస్తుంది. అదే సమయంలో, రాలిపోయే గ్రాఫైట్ పొడి వేఫర్‌కు కూడా కాలుష్యాన్ని కలిగిస్తుంది, కాబట్టి ఈ సమస్యలను బేస్ తయారీ ప్రక్రియలోనే పరిష్కరించాలి. కోటింగ్ టెక్నాలజీ ఉపరితల పొడి స్థిరీకరణను అందించగలదు, ఉష్ణ వాహకతను పెంచగలదు, మరియు ఉష్ణ పంపిణీని సమతుల్యం చేయగలదు, మరియు ఈ సమస్యను పరిష్కరించడానికి ప్రధాన సాంకేతికతగా మారింది.

గ్రాఫైట్ బేస్ యొక్క అప్లికేషన్ వాతావరణం మరియు వినియోగ అవసరాలకు అనుగుణంగా, ఉపరితల పూత కింది లక్షణాలను కలిగి ఉండాలి:

1. అధిక సాంద్రత మరియు పూర్తి కవరేజ్:గ్రాఫైట్ బేస్ అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు క్షయకారక పని వాతావరణంలో ఉంటుంది. మంచి రక్షణ పాత్రను పోషించడానికి ఉపరితలం పూర్తిగా కప్పబడి ఉండాలి మరియు పూత మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉండాలి.

2. మంచి ఉపరితల సమతలం:ఏక స్ఫటిక వృద్ధికి ఉపయోగించే గ్రాఫైట్ ఆధారానికి చాలా అధిక ఉపరితల సమతలం అవసరం కాబట్టి, పూతను సిద్ధం చేసిన తర్వాత ఆధారం యొక్క అసలు సమతలాన్ని కొనసాగించాలి, అంటే పూత ఉపరితలం ఏకరీతిగా ఉండాలి.

3. మంచి బంధన బలం:గ్రాఫైట్ బేస్ మరియు కోటింగ్ మెటీరియల్ మధ్య ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకంలో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించడం ద్వారా, ఆ రెండింటి మధ్య బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరచవచ్చు. అధిక మరియు తక్కువ ఉష్ణోగ్రత ఉష్ణ చక్రాలను ఎదుర్కొన్న తర్వాత కూడా, కోటింగ్ సులభంగా పగుళ్లు ఏర్పడదు.

4. అధిక ఉష్ణ వాహకత:అధిక నాణ్యత గల చిప్ పెరుగుదలకు గ్రాఫైట్ ఆధారం వేగవంతమైన మరియు ఏకరీతి వేడిని అందించడం అవసరం, కాబట్టి పూత పదార్థం అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉండాలి.

5. అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత:పూత అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు క్షయకారక పని వాతావరణంలో స్థిరంగా పనిచేయగలగాలి.

ఉష్ణ స్థిరత్వం, ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు ఇతర పనితీరు పారామితులుSiC పూత పూసిన గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ఎపిటాక్సియల్ పదార్థ వృద్ధి నాణ్యతలో ఇది నిర్ణయాత్మక పాత్ర పోషిస్తుంది, కాబట్టి ఇది MOCVD పరికరాలలో ప్రధాన కీలక భాగం.

β-SiC (3C-SiC) స్ఫటిక రూపాన్ని పూతగా ఎంపిక చేశారు. ఇతర స్ఫటిక రూపాలతో పోలిస్తే, ఈ స్ఫటిక రూపం మంచి ఉష్ణగతిక స్థిరత్వం, ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత వంటి అనేక అద్భుతమైన లక్షణాలను కలిగి ఉంది. అదే సమయంలో, ఇది గ్రాఫైట్ యొక్క ఉష్ణ వాహకతకు ప్రాథమికంగా సమానమైన ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది, తద్వారా గ్రాఫైట్ బేస్‌కు ప్రత్యేక లక్షణాలను అందిస్తుంది. ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ మరియు తుప్పు వలన కలిగే వైఫల్యాన్ని, మరియు వినియోగ సమయంలో పొడి నష్టాన్ని సమర్థవంతంగా పరిష్కరించగలదు. అంతేకాకుండా, ఇది గ్రాఫైట్ బేస్ ఉపరితలాన్ని దట్టంగా, రంధ్రాలు లేకుండా, అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకంగా, తుప్పు నిరోధకంగా, ఆక్సీకరణ నిరోధకంగా మరియు ఇతర లక్షణాలతో తీర్చిదిద్దుతుంది. తద్వారా గ్రాఫైట్ బేస్ యొక్క స్ఫటిక ఎపిటాక్సియల్ నాణ్యతను మరియు సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది (SiC పూత పూసిన గ్రాఫైట్ బేస్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని కొలిమిలలో కొలుస్తారు).

అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పు నిరోధకత కలిగిన MOCVD గ్రాఫైట్ ట్రే/ససెప్టర్‌ను ఎలా ఎంచుకోవాలి?

ఎంచుకునేటప్పుడుMOCVD కోసం గ్రాఫైట్ ట్రే లేదా ససెప్టర్అధిక ఉష్ణోగ్రత తుప్పును తట్టుకునే దాని కోసం, ఈ క్రింది కీలక అంశాలను పరిగణనలోకి తీసుకోవాలి:

1. పదార్థ స్వచ్ఛత:అధిక స్వచ్ఛత గల గ్రాఫైట్ పదార్థాలు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద తుప్పు మరియు ఆక్సీకరణను మెరుగ్గా నిరోధించగలవు మరియు నిక్షేపణ ప్రక్రియపై మలినాల ప్రభావాన్ని తగ్గిస్తాయి.

2. సాంద్రత మరియు సచ్ఛిద్రత:అధిక సాంద్రత మరియు తక్కువ సచ్ఛిద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ ట్రేలు మెరుగైన యాంత్రిక బలం మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, మరియు వాయువు చొరబాటు మరియు పదార్థ కోతను సమర్థవంతంగా నిరోధించగలవు.

3. ఉష్ణ వాహకత:అధిక ఉష్ణ వాహకత గల గ్రాఫైట్ ట్రే ఉష్ణాన్ని సమానంగా పంపిణీ చేయడానికి, ఉష్ణ ఒత్తిడిని తగ్గించడానికి, మరియు పరికరాల స్థిరత్వం మరియు సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరచడానికి సహాయపడుతుంది.

4. ఉపరితల చికిత్స:కోటింగ్ లేదా ప్లేటింగ్ వంటి ప్రత్యేక ఉపరితల చికిత్సకు గురైన గ్రాఫైట్ ప్యాలెట్లు వాటి తుప్పు నిరోధకతను మరియు అరుగుదల నిరోధకతను మరింత మెరుగుపరుస్తాయి.

5. పరిమాణం మరియు ఆకారం:MOCVD పరికరాల నిర్దిష్ట అవసరాలకు అనుగుణంగా, ట్రే పరికరాలతో అనుకూలంగా ఉండేలా మరియు ఆపరేషన్ సౌకర్యవంతంగా ఉండేలా తగిన పరిమాణం మరియు ఆకారాన్ని ఎంచుకోండి.

6. తయారీదారుడి ప్రతిష్ట:ఉత్పత్తి నాణ్యత మరియు అమ్మకం తర్వాత సేవ యొక్క విశ్వసనీయతను నిర్ధారించుకోవడానికి, మంచి పేరు మరియు విస్తారమైన అనుభవం ఉన్న తయారీదారుని ఎంచుకోండి.

7. వ్యయ-సామర్థ్యం:సాంకేతిక అవసరాలు తీరుతున్నాయనే ప్రాతిపదికన, వ్యయ సామర్థ్యాన్ని పరిగణించి, అధిక వ్యయ పనితీరు గల ఉత్పత్తులను ఎంచుకోండి.

VET ఎనర్జీ అధిక స్వచ్ఛత గల గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ సరఫరాదారు, మేము విస్తృత శ్రేణి వర్గాలను అందిస్తాము మరియు వీటిని వివిధ బ్రాండ్లు, మోడల్‌లు మరియు స్పెసిఫికేషన్‌ల MOCVD పరికరాలలో ఉపయోగించవచ్చు.SiC పూత పూసిన గ్రాఫైట్ ససెప్టర్VET ఎనర్జీ ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన వాటికి కోటింగ్ కాంటాక్ట్ పాయింట్లు మరియు బలహీనమైన లింకులు ఉండవు. సేవా జీవితం పరంగా, అవి విభిన్న అవసరాలు గల వినియోగదారుల అవసరాలను (క్లోరిన్ కలిగిన వాతావరణాలలో వాడకంతో సహా) తీర్చగలవు, మరియు వినియోగదారులు సంప్రదించడానికి మరియు విచారించడానికి స్వాగతం.