ଏକ MOCVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେ କ'ଣ?

ଧାତୁ ଜୈବିକ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(MOCVD) ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ମାଧ୍ୟମରେ ୱେଫର ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାସଲ କରାଯାଏ, ଯେଉଁଥିରେ ଅତି-ବିଶୁଦ୍ଧ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକୁ ରିଆକ୍ଟରରେ ପ୍ରବେଶ କରାଯାଏ ଏବଂ ସୂକ୍ଷ୍ମ ଭାବରେ ମିଟର କରାଯାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ସେମାନେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ମିଶି ରାସାୟନିକ କ୍ରିୟା ସୃଷ୍ଟି କରନ୍ତି ଏବଂ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ୱେଫରରେ ଅତ୍ୟନ୍ତ ପତଳା ପରମାଣୁ ସ୍ତରରେ ଜମା ହୋଇ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଯୌଗିକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ମାନଙ୍କର ଏପିଟାକ୍ସୀ ସୃଷ୍ଟି କରନ୍ତି।

CVD ଉପକରଣରେ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍‌କୁ ସିଧାସଳଖ ଧାତୁ ଉପରେ କିମ୍ବା ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଜମା ପାଇଁ କେବଳ ଏକ ଆଧାର ଉପରେ ରଖାଯାଇପାରିବ ନାହିଁ, କାରଣ ଏହା ଅନେକ କାରଣ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରଭାବିତ ହେବ। ତେଣୁ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍‌କୁ ଧରି ରଖିବା ପାଇଁ ଏକ ସସେପ୍ଟର କିମ୍ବା ଟ୍ରେ ଆବଶ୍ୟକ, ଏବଂ ତା’ପରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍‌ରେ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଜମା କରିବା ପାଇଁ CVD ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ। ଏହି ସସେପ୍ଟର ହେଉଛି ଏକMOCVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସସେପ୍ଟର(ଏହାକୁ ମଧ୍ୟ କୁହାଯାଏMOCVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେ).

ଏହାର ଗଠନ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଚିତ୍ରରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି :

ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସସେପ୍ଟରକୁ କାହିଁକି CVD ଆବରଣ ଆବଶ୍ୟକ?

ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସସେପ୍ଟର ହେଉଛି MOCVD ଉପକରଣର ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନ ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ। ଏହା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟରର ବାହକ ଏବଂ ଗରମ ଉପାଦାନ। ଏହାର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାରାମିଟର ଯେପରିକି ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ତାପଜ ସମାନତା ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବୃଦ୍ଧିର ଗୁଣବତ୍ତା ଉପରେ ଏକ ନିର୍ଣ୍ଣାୟକ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ, ଏବଂ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀର ସମାନତା ଏବଂ ବିଶୁଦ୍ଧତା ସିଧାସଳଖ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ। ତେଣୁ, ଏହାର ଗୁଣବତ୍ତା ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱେଫର୍ସ ପ୍ରସ୍ତୁତିକୁ ସିଧାସଳଖ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ସେହି ସମୟରେ, ବ୍ୟବହାର ସଂଖ୍ୟା ବୃଦ୍ଧି ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟ ପରିସ୍ଥିତିରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ସହିତ, ଏହା ପିନ୍ଧିବା ଏବଂ ଛିଣ୍ଡିବା ବହୁତ ସହଜ, ଏହା ଏକ ବ୍ୟବହାରଯୋଗ୍ୟ ଜିନିଷ। ଗ୍ରାଫାଇଟର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ପରିବାହିତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ଏହାକୁ MOCVD ଉପକରଣର ଏକ ମୂଳ ଉପାଦାନ ଭାବରେ ଏକ ବଡ଼ ସୁବିଧା ପ୍ରଦାନ କରେ।

ତଥାପି, ଯଦି ଏହା କେବଳ ଶୁଦ୍ଧ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ହୋଇଥାଏ, ତେବେ କିଛି ସମସ୍ୟା ହେବ। ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଅବଶିଷ୍ଟ କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଧାତୁ ଜୈବ ପଦାର୍ଥ ରହିବ, ଏବଂ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସସେପ୍ଟର କ୍ଷିପ୍ତ ହୋଇ ପଡ଼ିଯିବ, ଯାହା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସସେପ୍ଟରର ସେବା ଜୀବନକୁ ବହୁ ପରିମାଣରେ ହ୍ରାସ କରିବ। ସେହି ସମୟରେ, ପଡ଼ିଯାଉଥିବା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପାଉଡର ମଧ୍ୟ ୱେଫରକୁ ପ୍ରଦୂଷଣ କରିବ, ତେଣୁ ଏହି ସମସ୍ୟାଗୁଡ଼ିକୁ ଆଧାର ପ୍ରସ୍ତୁତି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସମାଧାନ କରିବାକୁ ପଡିବ। ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତି ପୃଷ୍ଠ ପାଉଡର ସ୍ଥିରୀକରଣ, ତାପଜ ପରିବାହିତା ବୃଦ୍ଧି ଏବଂ ସନ୍ତୁଳନ ଉତ୍ତାପ ବଣ୍ଟନ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ, ଏବଂ ଏହି ସମସ୍ୟାର ସମାଧାନ ପାଇଁ ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରଯୁକ୍ତି ପାଲଟିଛି।

ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାରର ପ୍ରୟୋଗ ପରିବେଶ ଏବଂ ବ୍ୟବହାର ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁସାରେ, ପୃଷ୍ଠ ଆବରଣର ନିମ୍ନଲିଖିତ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ରହିବା ଉଚିତ:

1. ଉଚ୍ଚ ଘନତ୍ୱ ଏବଂ ପୂର୍ଣ୍ଣ କଭରେଜ୍:ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାର ଏକ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ କ୍ଷୟକାରୀ କାର୍ଯ୍ୟ ପରିବେଶରେ ଥାଏ। ପୃଷ୍ଠକୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ଆଚ୍ଛାଦିତ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ, ଏବଂ ଏକ ଭଲ ସୁରକ୍ଷା ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିବା ପାଇଁ ଆବରଣର ଭଲ ଘନତ୍ୱ ଥିବା ଆବଶ୍ୟକ।

2. ଭଲ ପୃଷ୍ଠ ସମତଳତା:ଯେହେତୁ ଏକକ ସ୍ଫଟିକ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାର ପାଇଁ ପୃଷ୍ଠର ସମତଳତା ବହୁତ ଉଚ୍ଚ ଆବଶ୍ୟକ, ତେଣୁ ଆବରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତ ହେବା ପରେ ମୂଳ ସମତଳତା ବଜାୟ ରଖିବାକୁ ପଡିବ, ଅର୍ଥାତ୍, ଆବରଣ ପୃଷ୍ଠ ସମାନ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ।

3. ଭଲ ବନ୍ଧନ ଶକ୍ତି:ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାର ଏବଂ ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ ମଧ୍ୟରେ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କର ପାର୍ଥକ୍ୟକୁ ହ୍ରାସ କରିବା ଦ୍ଵାରା ଉଭୟଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ ବନ୍ଧନ ଶକ୍ତିକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଉନ୍ନତ କରାଯାଇପାରିବ। ଉଚ୍ଚ ଏବଂ ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ତାପଜ ଚକ୍ର ଅନୁଭବ କରିବା ପରେ, ଆବରଣ ଫାଟିବା ସହଜ ନୁହେଁ।

୪. ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବାହୀତା:ଉଚ୍ଚମାନର ଚିପ୍ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାରକୁ ଦ୍ରୁତ ଏବଂ ସମାନ ଉତ୍ତାପ ପ୍ରଦାନ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ, ତେଣୁ ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀର ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବାହୀତା ରହିବା ଉଚିତ।

5. ଉଚ୍ଚ ତରଳାଇବା ବିନ୍ଦୁ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଅକ୍ସିଡେସନ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ କ୍ଷରଣ ପ୍ରତିରୋଧ:ଆବରଣଟି ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ କ୍ଷୟକାରୀ କାର୍ଯ୍ୟ ପରିବେଶରେ ସ୍ଥିର ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିବା ଉଚିତ।

ଏହାର ତାପଜ ସ୍ଥିରତା, ତାପଜ ଏକରୂପତା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକSiC ଆବୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସସେପ୍ଟରଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବୃଦ୍ଧିର ଗୁଣବତ୍ତା ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଣ୍ଣାୟକ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ, ତେଣୁ ଏହା MOCVD ଉପକରଣର ମୂଳ ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନ।

β-SiC (3C-SiC) ସ୍ଫଟିକ ରୂପକୁ ଆବରଣ ଭାବରେ ଚୟନ କରାଯାଇଛି। ଅନ୍ୟ ସ୍ଫଟିକ ରୂପ ସହିତ ତୁଳନା କଲେ, ଏହି ସ୍ଫଟିକ ରୂପରେ ଭଲ ଥର୍ମୋଡାଇନାମିକ୍ ସ୍ଥିରତା, ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ଭଳି ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକର ଏକ ଶୃଙ୍ଖଳା ଅଛି। ସେହି ସମୟରେ, ଏହାର ଏକ ତାପଜ ପରିବାହୀତା ଅଛି ଯାହା ମୂଳତଃ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସହିତ ସୁସଙ୍ଗତ, ଯାହା ଫଳରେ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାରକୁ ବିଶେଷ ଗୁଣ ପ୍ରଦାନ କରେ। ଏହା ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ଏବଂ ସେବା ସମୟରେ କ୍ଷୟ ଏବଂ ପାଉଡର କ୍ଷତି ହେତୁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାରର ବିଫଳତାକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ସମାଧାନ କରିପାରିବ, ଏବଂ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାରର ପୃଷ୍ଠକୁ ଘନ, ଅ-ଛିଦ୍ରଯୁକ୍ତ, ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରତିରୋଧୀ, କ୍ଷୟ-ବିରୋଧୀ, ଆଣ୍ଟି-ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗୁଣାତ୍ମକ କରିଥାଏ, ଯାହା ଦ୍ୱାରା ସ୍ଫଟିକ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାରର ସେବା ଜୀବନକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ (SiC ଆବୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଆଧାରର ସେବା ଜୀବନ ଫର୍ଣ୍ଣେସରେ ମାପ କରାଯାଇଥାଏ)।

ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧୀ MOCVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେ/ସସେପ୍ଟର କିପରି ବାଛିବେ?

ବାଛିବା ସମୟରେMOCVD ପାଇଁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେ କିମ୍ବା ସସେପ୍ଟର |ଯାହା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧୀ, ନିମ୍ନଲିଖିତ ମୁଖ୍ୟ କାରଣଗୁଡ଼ିକୁ ବିଚାର କରାଯିବା ଉଚିତ:

1. ଭୌତିକ ଶୁଦ୍ଧତା:ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ କ୍ଷୟ ଏବଂ ଅକ୍ସିଡେସନକୁ ଭଲ ଭାବରେ ପ୍ରତିରୋଧ କରିପାରିବ ଏବଂ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପରେ ଅଶୁଦ୍ଧିର ପ୍ରଭାବକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ।

୨. ଘନତା ଏବଂ ଛିଦ୍ରତା:ଉଚ୍ଚ ଘନତ୍ୱ ଏବଂ କମ୍ ପୋରୋସିଟି ସହିତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେଗୁଡ଼ିକର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି ଏବଂ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ଶକ୍ତି ଉନ୍ନତ, ଏବଂ ଏହା ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବେଶ ଏବଂ ସାମଗ୍ରୀ କ୍ଷୟକୁ ରୋକିପାରେ।

3. ତାପଜ ପରିବାହୀତା:ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବହନକାରୀ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେ ସମାନ ଭାବରେ ତାପ ବଣ୍ଟନ କରିବାରେ, ତାପଜ ଚାପ ହ୍ରାସ କରିବାରେ ଏବଂ ଉପକରଣର ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ସେବା ଜୀବନକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।

୪. ପୃଷ୍ଠ ଚିକିତ୍ସା:ଆବରଣ କିମ୍ବା ପ୍ଲେଟିଂ ଭଳି ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ପୃଷ୍ଠ ଚିକିତ୍ସା କରାଯାଇଥିବା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପ୍ୟାଲେଟ୍‌ଗୁଡ଼ିକ ସେମାନଙ୍କର କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ଆହୁରି ବୃଦ୍ଧି କରିପାରିବେ।

୫. ଆକାର ଏବଂ ଆକୃତି:MOCVD ଉପକରଣର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁସାରେ, ଉପକରଣ ସହିତ ଟ୍ରେର ସୁସଙ୍ଗତତା ଏବଂ ପରିଚାଳନାର ସୁବିଧା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ଆକାର ଏବଂ ଆକୃତି ଚୟନ କରନ୍ତୁ।

୬. ନିର୍ମାତାଙ୍କ ଖ୍ୟାତି:ଉତ୍ପାଦର ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ବିକ୍ରୟ ପରବର୍ତ୍ତୀ ସେବାର ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଭଲ ଖ୍ୟାତି ଏବଂ ସମୃଦ୍ଧ ଅଭିଜ୍ଞତା ଥିବା ଏକ ନିର୍ମାତା ବାଛନ୍ତୁ।

୭. ମୂଲ୍ୟ-କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମତା:ବୈଷୟିକ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ଦୃଷ୍ଟିରୁ, ମୂଲ୍ୟ-ପ୍ରଭାବଶାଳୀତା ବିଚାର କରନ୍ତୁ ଏବଂ ଅଧିକ ମୂଲ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସହିତ ଉତ୍ପାଦ ବାଛନ୍ତୁ।

VET Energy ହେଉଛି ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସସେପ୍ଟର ଯୋଗାଣକାରୀ, ଆମେ ବିଭିନ୍ନ ବର୍ଗ ପ୍ରଦାନ କରୁ, ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ବ୍ରାଣ୍ଡ, ମଡେଲ୍ ଏବଂ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣର MOCVD ଉପକରଣରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ।SiC ଆବୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସସେପ୍ଟରVET Energy ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦିତ କୌଣସି ଆବରଣ ସମ୍ପର୍କ ବିନ୍ଦୁ ନାହିଁ ଏବଂ କୌଣସି ଦୁର୍ବଳ ଲିଙ୍କ ନାହିଁ। ସେବା ଜୀବନ ଦୃଷ୍ଟିରୁ, ସେମାନେ ବିଭିନ୍ନ ଆବଶ୍ୟକତା (କ୍ଲୋରିନ୍ ଯୁକ୍ତ ବାୟୁମଣ୍ଡଳର ବ୍ୟବହାର ସମେତ) ଥିବା ଗ୍ରାହକମାନଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବେ, ଏବଂ ଗ୍ରାହକମାନେ ପରାମର୍ଶ ଏବଂ ଅନୁସନ୍ଧାନ ପାଇଁ ସ୍ୱାଗତ।