Пластинаның эпитаксиаль үсеше металл органик химик пар утырту (MOCVD) технологиясе аша тормышка ашырыла, анда реакторга ультрачиста газлар кертелә һәм нечкә үлчәнә, шуңа күрә алар югары температурада кушылып химик үзара тәэсир итешүләр китереп чыгара һәм бик юка атом катламнарындагы ярымүткәргеч пластиналарга урнаштырыла, материалларның һәм кушылма ярымүткәргечләрнең эпитаксиясен барлыкка китерә.
CVD җиһазларында, нигезне турыдан-туры металлга яки эпитаксиаль утырту өчен нигезгә урнаштырып булмый, чөнки аңа күп факторлар тәэсир итәчәк. Шуңа күрә, нигезне тоту өчен сусцептор яки табак кирәк, аннары CVD технологиясен кулланып, нигезгә эпитаксиаль утырту башкарыла. Бу сусцептор...MOCVD графит сусцепторы(шулай ук аталаMOCVD графит табагы).
Аның структурасы түбәндәге рәсемдә күрсәтелгән:
Ни өчен графит сусцепторына CVD каплавы кирәк?
Графит сусцепторы MOCVD җиһазларының төп компонентларының берсе. Ул субстратның йөртүчесе һәм җылыту элементы. Аның термик тотрыклылыгы һәм термик бердәмлек кебек эш параметрлары эпитаксиаль материал үсеше сыйфатында хәлиткеч роль уйный һәм эпитаксиаль юка пленка материалларының бердәмлеген һәм сафлыгын турыдан-туры билгели. Шуңа күрә аның сыйфаты эпитаксиаль пластиналар әзерләүгә турыдан-туры тәэсир итә. Шул ук вакытта, куллану саны арту һәм эш шартлары үзгәрү белән, ул бик җиңел тузыла һәм кулланылучы материал булып тора. Графитның җылылык үткәрүчәнлеге һәм тотрыклылыгы аңа MOCVD җиһазларының төп компоненты буларак зур өстенлек бирә.
Әмма, әгәр ул бары тик саф графит кына булса, кайбер проблемалар туачак. Җитештерү процессында калдык коррозия газлары һәм металл органик матдәләре калачак, һәм графит сусцепторы коррозиягә дучар булачак һәм төшеп калачак, бу графит сусцепторының хезмәт итү вакытын шактый киметә. Шул ук вакытта, төшкән графит порошогы да пластинаның пычрануына китерәчәк, шуңа күрә бу проблемаларны нигезне әзерләү процессында хәл итәргә кирәк. Каплау технологиясе өслек порошогын фиксацияләүне тәэмин итә, җылылык үткәрүчәнлеген арттыра һәм җылылык бүленешен тигезли ала, һәм бу проблеманы хәл итүнең төп технологиясенә әйләнде.
Графит нигезенең куллану мохите һәм куллану таләпләренә туры китереп, өслек каплавы түбәндәге үзенчәлекләргә ия булырга тиеш:
1. Югары тыгызлык һәм тулы каплау:Графит нигезе югары температуралы һәм коррозияле эш мохитендә. Өслек тулысынча капланган булырга тиеш, һәм яхшы саклау ролен башкару өчен каплау яхшы тыгызлыкка ия булырга тиеш.
2. Яхшы өслек тигезлеге:Монокристалл үстерү өчен кулланыла торган графит нигезе бик югары өслек тигезлеген таләп иткәнлектән, каплау әзерләнгәннән соң нигезнең башлангыч тигезлеге сакланырга тиеш, ягъни каплау өслеге тигез булырга тиеш.
3. Яхшы бәйләнеш көче:Графит нигезе һәм каплау материалы арасындагы җылылык киңәю коэффициенты аермасын киметү икесе арасындагы бәйләнеш ныклыгын нәтиҗәле рәвештә яхшырта ала. Югары һәм түбән температуралы җылылык циклларын кичергәннән соң, каплау җиңел ярылмый.
4. Югары җылылык үткәрүчәнлеге:Югары сыйфатлы кисәк үсеше өчен графит нигезе тиз һәм бердәм җылылык бирүне таләп итә, шуңа күрә каплау материалы югары җылы үткәрүчәнлеккә ия булырга тиеш.
5. Югары эрү температурасы, югары температурада оксидлашуга һәм коррозиягә чыдамлык:Каплау югары температурада һәм коррозиягә дучар булган эш мохитендә тотрыклы эшләргә тиеш.
Термик тотрыклылык, термик бердәмлек һәм башка эшчәнлек параметрларыSiC белән капланган графит сусепторыэпитаксиаль материал үсеше сыйфатында хәлиткеч роль уйныйлар, шуңа күрә ул MOCVD җиһазларының төп компоненты булып тора.
β-SiC (3C-SiC) кристалл формасы каплау буларак сайлана. Башка кристалл формалары белән чагыштырганда, бу кристалл формасы яхшы термодинамик тотрыклылык, оксидлашуга чыдамлык һәм коррозиягә чыдамлык кебек берничә искиткеч үзенчәлеккә ия. Шул ук вакытта, аның җылылык үткәрүчәнлеге, нигездә, графитныкы белән туры килә, шуның белән графит нигезенә махсус үзенчәлекләр бирә. Ул югары температуралы оксидлашу һәм коррозия һәм хезмәт күрсәтү вакытында порошок югалту аркасында графит нигезенең җимерелүен нәтиҗәле рәвештә чишә ала, һәм графит нигезенең өслеген тыгыз, күзәнәксез, югары температурага чыдам, коррозиягә каршы, оксидлашуга каршы һәм башка үзенчәлекләр ясый ала, шуның белән кристалл эпитаксиаль сыйфатын һәм графит нигезенең хезмәт итү вакытын яхшырта (SiC белән капланган графит нигезенең хезмәт итү вакыты мичләрдә үлчәнә).
Югары температурага һәм коррозиягә чыдам MOCVD графит тартмасын/сусцепторын ничек сайларга?
СайлагандаMOCVD өчен графит подшипник яки сусепторюгары температуралы коррозиягә чыдам булган өчен, түбәндәге төп факторларны исәпкә алырга кирәк:
1. Материалның чисталыгы:Югары чисталыклы графит материаллары югары температураларда коррозиягә һәм оксидлашуга яхшырак каршы тора ала һәм пычракның утырма процессына йогынтысын киметә.
2. Тыгызлык һәм мәсамәлелек:Югары тыгызлыктагы һәм түбән мәсамәлелекле графит табаклары механик ныклыкка һәм коррозиягә чыдамлыкка ия, шулай ук газ үтеп керүен һәм материал эрозиясен нәтиҗәле рәвештә булдырмый кала ала.
3. Җылылык үткәрүчәнлеге:Югары җылылык үткәрүчәнлеге булган графит таба җылылыкны тигез бүлеп бирүгә, җылылык киеренкелеген киметүгә һәм җиһазларның тотрыклылыгын һәм хезмәт итү вакытын яхшыртуга ярдәм итә.
4. Өслек эшкәртү:Каплау яки каплау кебек махсус өслек эшкәртүе үткән графит паллетлары коррозиягә һәм тузуга чыдамлыгын тагын да арттыра ала.
5. Зурлыгы һәм формасы:MOCVD җиһазларының махсус таләпләренә туры китереп, тәлинкәнең җиһазлар белән туры килүен һәм эшләү уңайлылыгын тәэмин итү өчен тиешле зурлыкны һәм форманы сайлагыз.
6. Җитештерүченең абруе:Продукция сыйфатының һәм сатудан соңгы хезмәт күрсәтүнең ышанычлылыгын тәэмин итү өчен яхшы абруйга һәм бай тәҗрибәгә ия җитештерүчене сайлагыз.
7. Чыгымнарның нәтиҗәлелеге:Техник таләпләрне үтәү шарты белән, чыгымнарның нәтиҗәлелеген исәпкә алыгыз һәм югарырак чыгымнар күрсәткечләренә ия продуктларны сайлагыз.
VET Energy - югары сыйфатлы графит сусепторлары белән тәэмин итүче, без төрле категорияләр тәкъдим итәбез һәм төрле маркалардагы, модельләрдәге һәм спецификацияләрдәге MOCVD җиһазларында кулланылырга мөмкин.SiC белән капланган графит сусепторыVET Energy тарафыннан җитештерелгән каплау контакт нокталары һәм зәгыйфь бәйләнешләр юк. Хезмәт итү вакыты ягыннан алар төрле ихтыяҗлары булган (шул исәптән хлорлы атмосфера куллану) клиентларның таләпләрен канәгатьләндерә ала, һәм клиентлар консультация һәм сораулар бирергә рәхим итәләр.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 1 марты