Tumuwuhna épitaksial wafer kahontal ngaliwatan téknologi déposisi uap kimia organik logam (MOCVD), dimana gas ultra-murni diinjeksikeun kana réaktor sareng diukur sacara saksama, supados ngahiji dina suhu anu luhur pikeun nyababkeun interaksi kimia sareng diendapkeun kana wafer semikonduktor dina lapisan atom anu ipis pisan pikeun ngabentuk épitaksi bahan sareng semikonduktor sanyawa.
Dina alat CVD, substrat teu tiasa disimpen langsung dina logam atanapi ngan saukur dina dasar pikeun déposisi epitaksial, sabab bakal kapangaruhan ku seueur faktor. Ku alatan éta, susceptor atanapi baki diperyogikeun pikeun nahan substrat, teras nganggo téknologi CVD pikeun ngalakukeun déposisi epitaksial dina substrat. Susceptor ieu mangrupikeunSuseptor grafit MOCVD(disebut ogéBaki grafit MOCVD).
Strukturna dipidangkeun dina gambar di handap ieu:
Naha susceptor grafit peryogi palapis CVD?
Susceptor grafit mangrupikeun salah sahiji komponén inti dina alat MOCVD. Éta mangrupikeun unsur pamawa sareng pemanasan substrat. Parameter kinerjana sapertos stabilitas termal sareng keseragaman termal maénkeun peran anu penting dina kualitas kamekaran bahan epitaksial, sareng langsung nangtukeun keseragaman sareng kamurnian bahan pilem ipis epitaksial. Ku alatan éta, kualitasna langsung mangaruhan persiapan wafer epitaksial. Dina waktos anu sami, kalayan ningkatna jumlah panggunaan sareng parobihan dina kaayaan kerja, éta gampang pisan ruksak, éta mangrupikeun barang konsumsi. Konduktivitas termal sareng stabilitas grafit anu saé masihan kaunggulan anu ageung salaku komponén dasar alat MOCVD.
Nanging, upami ngan ukur grafit murni, bakal aya sababaraha masalah. Dina prosés produksi, bakal aya sésa gas korosif sareng bahan organik logam, sareng susceptor grafit bakal korosi sareng murag, anu ngirangan pisan umur jasa susceptor grafit. Dina waktos anu sami, bubuk grafit anu murag ogé bakal nyababkeun polusi kana wafer, janten masalah ieu kedah direngsekeun dina prosés persiapan dasar. Téhnologi palapis tiasa nyayogikeun fiksasi bubuk permukaan, ningkatkeun konduktivitas termal, sareng ngimbangan distribusi panas, sareng parantos janten téknologi utama pikeun ngarengsekeun masalah ieu.
Numutkeun lingkungan aplikasi sareng sarat panggunaan dasar grafit, palapis permukaan kedah ngagaduhan ciri-ciri ieu:
1. Kapadetan anu luhur sareng panutupan anu lengkep:Dasar grafit aya dina lingkungan kerja anu suhu luhur sareng korosif. Permukaanana kedah katutupan sapinuhna, sareng palapisna kedah gaduh kapadetan anu saé pikeun maénkeun peran pelindung anu saé.
2. Karataan permukaan anu saé:Kusabab dasar grafit anu dianggo pikeun kamekaran kristal tunggal meryogikeun kerataan permukaan anu luhur pisan, kerataan dasar aslina kedah dijaga saatos palapis disiapkeun, nyaéta, permukaan palapis kedah seragam.
3. Kakuatan beungkeutan anu saé:Ngurangan bédana koefisien ékspansi termal antara dasar grafit sareng bahan palapis tiasa sacara efektif ningkatkeun kakuatan beungkeutan antara duanana. Saatos ngalaman siklus termal suhu luhur sareng handap, palapis henteu gampang retak.
4. Konduktivitas termal anu luhur:Tumuwuhna chip anu kualitasna luhur meryogikeun dasar grafit pikeun nyadiakeun panas anu gancang sareng seragam, janten bahan palapis kedah gaduh konduktivitas termal anu luhur.
5. Titik lebur anu luhur, résistansi oksidasi suhu luhur sareng résistansi korosi:Palapisna kedah tiasa dianggo sacara stabil dina suhu anu luhur sareng lingkungan kerja anu korosif.
Stabilitas termal, keseragaman termal sareng parameter kinerja sanésna tinaSusceptor grafit dilapis SiCmaénkeun peran anu penting dina kualitas kamekaran bahan epitaksial, janten éta mangrupikeun komponén konci inti tina peralatan MOCVD.
Wangun kristal β-SiC (3C-SiC) dipilih salaku palapis. Dibandingkeun sareng wangun kristal anu sanés, wangun kristal ieu ngagaduhan sarangkaian sipat anu saé sapertos stabilitas termodinamika anu saé, résistansi oksidasi sareng résistansi korosi. Dina waktos anu sami, éta ngagaduhan konduktivitas termal anu dasarna saluyu sareng grafit, sahingga masihan sipat khusus kana dasar grafit. Éta tiasa sacara efektif ngarengsekeun kagagalan dasar grafit anu disababkeun ku oksidasi suhu luhur sareng korosi sareng leungitna bubuk salami dianggo, sareng ngajantenkeun permukaan dasar grafit padet, henteu keropos, tahan suhu luhur, anti korosi, anti oksidasi sareng ciri-ciri sanésna, sahingga ningkatkeun kualitas epitaksial kristal sareng umur jasa dasar grafit (umur jasa dasar grafit anu dilapis SiC diukur dina tungku).
Kumaha milih baki/susceptor grafit MOCVD anu tahan kana suhu luhur sareng korosi?
Nalika milih hijibaki grafit atanapi susceptor pikeun MOCVDanu tahan kana korosi suhu luhur, faktor konci ieu kedah dipertimbangkeun:
1. Kamurnian bahan:Bahan grafit anu mibanda kamurnian luhur tiasa langkung tahan kana korosi sareng oksidasi dina suhu anu luhur sareng ngirangan dampak pangotor kana prosés déposisi.
2. Kapadetan sareng porositas:Baki grafit kalayan kapadetan anu luhur sareng porositas anu handap gaduh kakuatan mékanis sareng résistansi korosi anu langkung saé, sareng sacara efektif tiasa nyegah penetrasi gas sareng erosi bahan.
3. Konduktivitas termal:Baki grafit konduktivitas termal anu luhur ngabantosan nyebarkeun panas sacara rata, ngirangan setrés termal, sareng ningkatkeun stabilitas sareng umur pakai peralatan.
4. Perawatan permukaan:Palet grafit anu parantos ngalaman perlakuan permukaan khusus, sapertos palapis atanapi plating, tiasa ningkatkeun daya tahan korosi sareng daya tahan kana gesekan.
5. Ukuran sareng bentukna:Numutkeun sarat khusus alat MOCVD, pilih ukuran sareng bentuk anu pas pikeun mastikeun kasaluyuan baki sareng alat sareng genah operasina.
6. Réputasi produsén:Pilih produsén anu gaduh reputasi anu saé sareng pangalaman anu beunghar pikeun mastikeun reliabilitas kualitas produk sareng layanan purna jual.
7. Éféktivitas biaya:Kalayan tujuan pikeun minuhan sarat téknis, pertimbangkeun efektivitas biaya sareng pilih produk anu gaduh kinerja biaya anu langkung luhur.
VET Energy nyaéta supplier susceptor grafit kemurnian tinggi, kami nawiskeun rupa-rupa kategori, sareng tiasa dianggo dina peralatan MOCVD tina rupa-rupa mérek, modél sareng spésifikasi.Susceptor grafit dilapis SiCdiproduksi ku VET Energy teu gaduh titik kontak palapis sareng teu aya tautan anu lemah. Dina hal umur jasa, éta tiasa nyumponan sarat konsumén kalayan kabutuhan anu béda-béda (kalebet panggunaan atmosfir anu ngandung klorin), sareng konsumén wilujeng sumping pikeun konsultasi sareng naroskeun.
Waktos posting: Mar-01-2025