Pertumbuhan epitaxial wafer dihontal ngaliwatan téknologi déposisi uap kimia organik logam (MOCVD), dimana gas ultra-murni disuntikkeun kana réaktor sareng diukur sacara halus, supados ngahiji dina suhu anu luhur pikeun nyababkeun interaksi kimia sareng disimpen kana wafer semikonduktor dina lapisan atom anu ipis pisan pikeun ngabentuk epitaksi bahan sareng semikonduktor sanyawa.
Dina alat CVD, substrat teu bisa disimpen langsung dina logam atawa ngan dina dasar pikeun déposisi epitaxial, sabab bakal kapangaruhan ku sababaraha faktor. Ku alatan éta, susceptor atawa baki diperlukeun pikeun nahan substrat, lajeng nganggo téhnologi CVD pikeun ngalakukeun déposisi epitaxial on substrat. Susceptor ieu mangrupasusceptor grafit MOCVD(disebut ogebaki grafit MOCVD).
Strukturna dipidangkeun dina gambar di handap ieu:
Naha susceptor grafit peryogi palapis CVD?
Susceptor grafit mangrupikeun salah sahiji komponén inti dina alat MOCVD. Éta mangrupikeun pamawa sareng unsur pemanasan substrat. Parameter kinerja na kayaning stabilitas termal jeung uniformity termal maénkeun peran decisive dina kualitas tumuwuhna bahan epitaxial, sarta langsung nangtukeun uniformity na purity bahan pilem ipis epitaxial. Ku alatan éta, kualitas na langsung mangaruhan persiapan wafers epitaxial. Dina waktos anu sami, kalayan paningkatan jumlah panggunaan sareng parobihan dina kaayaan kerja, éta gampang pisan ngagem sareng cimata, éta tiasa dianggo. Konduktivitas termal anu saé sareng stabilitas grafit masihan kauntungan anu saé salaku komponén dasar alat MOCVD.
Nanging, upami éta ngan ukur grafit murni, bakal aya sababaraha masalah. Dina prosés produksi, bakal aya residual gas corrosive jeung zat organik logam, sarta susceptor grafit bakal corrode sarta layu atawa gugur, nu greatly ngurangan umur jasa tina susceptor grafit. Dina waktos anu sami, bubuk grafit anu ragrag ogé bakal nyababkeun polusi kana wafer, janten masalah ieu kedah direngsekeun dina prosés persiapan dasarna. Téknologi palapis tiasa nyayogikeun fiksasi bubuk permukaan, ningkatkeun konduktivitas termal, sareng nyaimbangkeun distribusi panas, sareng parantos janten téknologi utama pikeun ngabéréskeun masalah ieu.
Numutkeun lingkungan aplikasi sareng syarat panggunaan dasar grafit, palapis permukaan kedah ngagaduhan ciri-ciri ieu:
1. Kapadetan luhur sareng sinyalna pinuh:Dasar grafit aya dina suhu anu luhur sareng lingkungan kerja anu korosif. Beungeutna kedah katutupan pinuh, sareng palapis kedah gaduh dénsitas anu saé pikeun maénkeun peran pelindung anu saé.
2. Alus permukaan flatness:Kusabab basa grafit dipaké pikeun tumuwuh kristal tunggal merlukeun flatness permukaan pisan tinggi, flatness aslina tina dasarna kudu dijaga sanggeus palapis nu disiapkeun, nyaeta, beungeut palapis kudu seragam.
3. kakuatan beungkeutan alus:Ngurangan bédana dina koefisien ékspansi termal antara basa grafit jeung bahan palapis bisa éféktif ngaronjatkeun kakuatan beungkeutan antara dua. Saatos ngalaman siklus termal suhu luhur sareng handap, palapis henteu gampang rengat.
4. konduktivitas termal tinggi:Tumuwuh chip kualitas luhur merlukeun basa grafit nyadiakeun panas gancang sarta seragam, jadi bahan palapis kudu boga konduktivitas termal tinggi.
5. Titik lebur tinggi, résistansi oksidasi suhu luhur sareng résistansi korosi:Lapisan kedah tiasa dianggo sacara stabil dina suhu anu luhur sareng lingkungan kerja anu korosif.
The stabilitas termal, uniformity termal jeung parameter kinerja séjén tinaSiC coated grafit susceptormuterkeun hiji peran decisive dina kualitas tumuwuhna bahan epitaxial, jadi éta komponén konci inti alat MOCVD.
Bentuk kristal β-SiC (3C-SiC) dipilih salaku palapis. Dibandingkeun sareng bentuk kristal anu sanés, bentuk kristal ieu ngagaduhan séri sipat anu saé sapertos stabilitas termodinamika anu saé, résistansi oksidasi sareng résistansi korosi. Dina waktos anu sami, éta gaduh konduktivitas termal anu dasarna konsisten sareng grafit, sahingga masihan sipat khusus pikeun dasar grafit. Éta sacara efektif tiasa ngabéréskeun kagagalan dasar grafit anu disababkeun ku oksidasi suhu luhur sareng korosi sareng leungitna bubuk salami jasa, sareng ngajantenkeun permukaan dasar grafit padet, non-porous, tahan suhu luhur, anti korosi, anti oksidasi sareng ciri-ciri sanésna, ku kituna ningkatkeun kualitas epitaxial kristal sareng umur jasa tina dasar grafit grafit anu diukur dina dasar SiC. tungku).
Kumaha carana milih baki grafit MOCVD / susceptor anu tahan ka suhu luhur sareng korosi?
Nalika milih abaki grafit atanapi susceptor pikeun MOCVDnu tahan ka korosi suhu luhur, faktor konci handap kudu dianggap:
1. Kemurnian bahan:bahan grafit-purity luhur bisa hadé nolak korosi jeung oksidasi dina suhu luhur sarta ngurangan dampak pangotor dina prosés déposisi.
2. Kapadetan jeung porosity:Baki grafit kalayan kapadetan luhur sareng porositas rendah gaduh kakuatan mékanis anu langkung saé sareng résistansi korosi, sareng sacara efektif tiasa nyegah penetrasi gas sareng erosi bahan.
3. konduktivitas termal:Baki grafit konduktivitas termal anu luhur ngabantosan merata ngadistribusikaeun panas, ngirangan setrés termal, sareng ningkatkeun stabilitas sareng umur jasa alat.
4. Perlakuan permukaan:Pallets grafit anu geus undergone perlakuan permukaan husus, kayaning palapis atawa plating, bisa salajengna ningkatkeun daya tahan korosi maranéhanana sarta ngagem lalawanan.
5. Ukuran jeung bentuk:Numutkeun sarat husus tina parabot MOCVD, pilih ukuran luyu jeung bentuk pikeun mastikeun kasaluyuan baki jeung alat jeung genah operasi.
6. Reputasi Produsén:Pilih produsén anu gaduh reputasi anu saé sareng pangalaman anu beunghar pikeun mastikeun kabébasan kualitas produk sareng jasa saatos penjualan.
7. Éféktivitas ongkos:Dina premis nyumponan sarat téknis, pertimbangkeun éféktivitas biaya sareng pilih produk kalayan kinerja biaya anu langkung luhur.
VET Energy mangrupakeun supplier susceptor grafit-purity tinggi, kami nawarkeun rupa-rupa kategori, sarta bisa dipaké dina parabot MOCVD tina merek béda, model jeung spésifikasi. TheSiC coated grafit susceptordihasilkeun ku VET Energy euweuh titik kontak palapis tur euweuh tumbu lemah. Dina hal kahirupan jasa, aranjeunna tiasa nyumponan sarat para nasabah kalayan kabutuhan anu béda (kalebet panggunaan atmosfir anu ngandung klorin), sareng para nasabah wilujeng sumping konsultasi sareng naroskeun.
waktos pos: Mar-01-2025