Hoʻokō ʻia ka ulu ʻana o ka wafer epitaxial ma o ka ʻenehana metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), kahi e hoʻokomo ʻia ai nā kinoea ultra-pure i loko o ka reactor a ana ʻia me ke akahele, i hui pū ai lākou ma nā mahana kiʻekiʻe e hana i nā pilina kemika a waiho ʻia ma luna o nā wafers semiconductor i loko o nā papa atomika lahilahi loa e hana i ka epitaxy o nā mea a me nā semiconductors hui.
I loko o nā lako CVD, ʻaʻole hiki ke kau pololei ʻia ke substrate ma luna o ka metala a i ʻole ma luna o kahi kumu no ka waiho ʻana o ka epitaxial, no ka mea e hoʻopilikia ʻia e nā kumu he nui. No laila, pono kahi susceptor a i ʻole ka pā e paʻa ai i ka substrate, a laila e hoʻohana i ka ʻenehana CVD e hana i ka waiho ʻana o ka epitaxial ma luna o ka substrate. ʻO kēia susceptor heMea hoʻopaʻa graphite MOCVD(i kapa ʻia hoʻiPā grafiti MOCVD).
Ua hōʻike ʻia kona ʻano ma ke kiʻi ma lalo nei:
No ke aha e pono ai ka uhi CVD i ka mea hoʻopili graphite?
ʻO ka mea hoʻopili graphite kekahi o nā ʻāpana koʻikoʻi i nā lako MOCVD. ʻO ia ka mea lawe a me ka mea hoʻomehana o ka substrate. ʻO kāna mau palena hana e like me ke kūpaʻa wela a me ke ʻano like o ka wela e pāʻani i kahi kuleana koʻikoʻi i ka maikaʻi o ka ulu ʻana o nā mea epitaxial, a hoʻoholo pololei i ke ʻano like a me ka maʻemaʻe o nā mea ʻili lahilahi epitaxial. No laila, pili pololei kona maikaʻi i ka hoʻomākaukau ʻana o nā wafers epitaxial. I ka manawa like, me ka hoʻonui ʻia o ka nui o nā hoʻohana a me nā loli i nā kūlana hana, he maʻalahi loa ke komo a haehae, he mea hoʻopau ia. ʻO ka conductivity thermal maikaʻi loa a me ke kūpaʻa o ka graphite e hāʻawi iā ia i kahi pono nui ma ke ʻano he ʻāpana kumu o nā lako MOCVD.
Eia nō naʻe, inā he graphite maʻemaʻe wale nō, e loaʻa ana kekahi mau pilikia. I ke kaʻina hana, e loaʻa nā kinoea corrosive koena a me nā mea organik metala, a e pala a hāʻule ka susceptor graphite, kahi e hōʻemi nui ai i ke ola lawelawe o ka susceptor graphite. I ka manawa like, ʻo ka pauka graphite hāʻule e hoʻoulu pū i ka haumia i ka wafer, no laila pono e hoʻoponopono ʻia kēia mau pilikia i ke kaʻina hana hoʻomākaukau o ke kumu. Hiki i ka ʻenehana uhi ke hāʻawi i ka hoʻopaʻa ʻana o ka pauka ʻili, hoʻonui i ka conductivity thermal, a kaulike i ka hoʻolaha wela, a ua lilo ia i ʻenehana nui e hoʻoponopono ai i kēia pilikia.
Wahi a ke kaiapuni noi a me nā koi hoʻohana o ke kumu graphite, pono i ka uhi ʻili ke loaʻa nā ʻano penei:
1. Ka nui o ka mānoanoa a me ka uhi piha:Aia ke kumu graphite i kahi mahana kiʻekiʻe a me kahi ʻano hana ʻino. Pono e uhi piha ʻia ka ʻili, a pono e mānoanoa maikaʻi ka uhi ʻana e pāʻani i kahi hana pale maikaʻi.
2. ʻO ka pālahalaha maikaʻi o ka ʻili:ʻOiai ʻo ke kumu graphite i hoʻohana ʻia no ka ulu ʻana o ka kristal hoʻokahi e koi ana i kahi pālahalaha ʻili kiʻekiʻe loa, pono e mālama ʻia ka pālahalaha mua o ke kumu ma hope o ka hoʻomākaukau ʻana o ka uhi ʻana, ʻo ia hoʻi, pono e like ka ʻili o ka uhi.
3. Ikaika hoʻopaʻa maikaʻi:ʻO ka hōʻemi ʻana i ka ʻokoʻa o ke koina hoʻonui wela ma waena o ke kumu graphite a me ka mea uhi hiki ke hoʻomaikaʻi maikaʻi i ka ikaika hoʻopaʻa ma waena o nā mea ʻelua. Ma hope o ka ʻike ʻana i nā pōʻaiapuni wela wela kiʻekiʻe a me ka haʻahaʻa, ʻaʻole maʻalahi ka haki ʻana o ka uhi.
4. Ke alakaʻi wela kiʻekiʻe:Pono ke kumu graphite e hāʻawi i ka wela wikiwiki a like no ka ulu ʻana o nā ʻāpana kiʻekiʻe, no laila e loaʻa i ka mea uhi ka conductivity thermal kiʻekiʻe.
5. Kiʻekiʻe ke kiko heheʻe, ke kūpaʻa ʻana o ka oxidation wela kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa ʻana i ka pala:Pono e hiki i ka uhi ke hana paʻa i ka mahana kiʻekiʻe a me ka hana hana ʻino.
ʻO ke kūpaʻa wela, ke kūlike wela a me nā ʻano hana ʻē aʻe o kaʻO ka mea hoʻopaʻa graphite i uhi ʻia me SiChe kuleana koʻikoʻi i ka maikaʻi o ka ulu ʻana o ka mea epitaxial, no laila ʻo ia ke kumu nui o nā lako MOCVD.
Ua koho ʻia ke ʻano kristal β-SiC (3C-SiC) ma ke ʻano he uhi. Ke hoʻohālikelike ʻia me nā ʻano kristal ʻē aʻe, loaʻa i kēia ʻano kristal kahi moʻo o nā waiwai maikaʻi loa e like me ke kūpaʻa thermodynamic maikaʻi, ke kūʻē ʻana i ka oxidation a me ke kūʻē ʻana i ka corrosion. I ka manawa like, loaʻa iā ia kahi conductivity thermal e kūlike me ko ka graphite, no laila e hāʻawi ana i ke kumu graphite i nā waiwai kūikawā. Hiki iā ia ke hoʻoponopono pono i ka hāʻule ʻana o ke kumu graphite i hoʻokumu ʻia e ka oxidation wela kiʻekiʻe a me ka pohō a me ka pauka i ka wā lawelawe, a hana i ka ʻili o ke kumu graphite i mānoanoa, ʻaʻole porous, kūʻē i ka wela kiʻekiʻe, anti-corrosion, anti-oxidation a me nā ʻano ʻē aʻe, no laila e hoʻomaikaʻi ana i ka maikaʻi epitaxial kristal a me ke ola lawelawe o ke kumu graphite (ua ana ʻia ke ola lawelawe o ke kumu graphite i uhi ʻia me SiC i loko o nā umu).
Pehea e koho ai i ka pā/susceptor graphite MOCVD i kūpaʻa i ka mahana kiʻekiʻe a me ka pala?
I ke koho ʻana i kahigraphite pā a i ʻole susceptor no MOCVDi kūpaʻa i ka pala wela kiʻekiʻe, pono e noʻonoʻo ʻia nā kumu koʻikoʻi aʻe:
1. Maʻemaʻe o ka mea:Hiki i nā mea graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe ke pale aku i ka pala a me ka oxidation i nā mahana kiʻekiʻe a hōʻemi i ka hopena o nā mea haumia ma ke kaʻina hana waiho ʻana.
2. Ka nui a me ka porosity:ʻOi aku ka ikaika o ka mechanical a me ke kūpaʻa i ka corrosion ma nā pā graphite me ke kiʻekiʻe o ka density a me ka porosity haʻahaʻa, a hiki ke pale pono i ke komo ʻana o ke kinoea a me ka ʻino ʻana o nā mea.
3. Ka hoʻokele wela:ʻO ke pā graphite conductivity thermal kiʻekiʻe e kōkua i ka hoʻolaha like ʻana i ka wela, hoʻemi i ke kaumaha thermal, a hoʻomaikaʻi i ke kūpaʻa a me ke ola lawelawe o nā lako.
4. Ka mālama ʻana i ka ʻili:ʻO nā pallets graphite i hana ʻia i ka mālama ʻili kūikawā, e like me ka uhi ʻana a i ʻole ke kāpili ʻana, hiki ke hoʻonui hou i ko lākou kūpaʻa i ka pala a me ke kūpaʻa ʻana i ka ʻaʻahu.
5. Ka nui a me ke ʻano:E like me nā koi kikoʻī o nā lako MOCVD, koho i ka nui a me ke ʻano kūpono e hōʻoia i ka kūlike o ka pā me nā lako a me ka maʻalahi o ka hana.
6. Ka inoa o ka mea hana:E koho i kahi mea hana me ka inoa maikaʻi a me ka ʻike waiwai e hōʻoia i ka hilinaʻi o ka maikaʻi o ka huahana a me ka lawelawe ma hope o ke kūʻai aku.
7. Ka pono o ke kumukūʻai:Ma ke kumu o ka hoʻokō ʻana i nā koi loea, e noʻonoʻo i ka pono o ke kumukūʻai a koho i nā huahana me ka hana kumukūʻai kiʻekiʻe.
He mea hoʻolako susceptor graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe ʻo VET Energy, hāʻawi mākou i kahi ākea o nā ʻano, a hiki ke hoʻohana ʻia i nā lako MOCVD o nā lama like ʻole, nā hiʻohiʻona a me nā kikoʻī.ʻO ka mea hoʻopaʻa graphite i uhi ʻia me SiCʻAʻohe wahi pili uhi i hana ʻia e VET Energy a ʻaʻohe loulou nāwaliwali. Ma ke ʻano o ke ola lawelawe, hiki iā lākou ke hoʻokō i nā koi o nā mea kūʻai aku me nā pono like ʻole (me ka hoʻohana ʻana i nā lewa e loaʻa ana ka chlorine), a ua hoʻokipa ʻia nā mea kūʻai aku e kūkākūkā a nīnau.
Ka manawa hoʻouna: Malaki-01-2025