O le a le fata kalafi MOCVD?

O le tuputupu aʻe o le epitaxial wafer e maua e ala i le uʻamea faʻamaʻi vailaʻau vailaʻau (MOCVD) tekinolosi, lea e tui ai kasa ultra-mama i totonu o le reactor ma faʻamaeʻaina mita, ina ia latou tuʻufaʻatasia i le maualuga o le vevela e mafua ai fegalegaleaiga vailaʻau ma teuina i luga o semiconductor wafers i mea manifinifi atomic layers e fausia ai le epitaxy o meafaitino ma semiconductor.

I masini CVD, e le mafai ona tuʻu saʻo le substrate i luga o uʻamea pe naʻo luga o se faʻavae mo le faʻapipiʻiina o le epitaxial, aua o le a aʻafia i le tele o mea. O le mea lea, e manaʻomia se susceptor poʻo se fata e taofi ai le mea faʻapipiʻi, ona faʻaaoga lea o le CVD tekinolosi e faʻatino ai le faʻaogaina o le epitaxial i luga o le meaʻai. O lenei susceptor o le aMOCVD graphite susceptor(e taʻua foʻifata kalafi MOCVD).

O lona fausaga o loʻo faʻaalia i le ata o loʻo i lalo:

Aisea e mana'omia ai e le graphite susceptor le ufiufi CVD?

O le graphite susceptor o se tasi o vaega autu i masini MOCVD. O le ave ma le fa'avevela elemene o le mea'ai. O ona fa'atinoga fa'atinoga e pei o le fa'amausaliina o le vevela ma le tutusa o le vevela e faia se sao taua i le lelei o le tuputupu a'e o mea epitaxial, ma fa'atatau tonu le tutusa ma le mama o mea epitaxial manifinifi ata. O le mea lea, o lona uiga lelei e aʻafia ai le sauniuniga o wafers epitaxial. I le taimi lava e tasi, faʻatasi ai ma le faʻateleina o le numera o faʻaoga ma suiga i tulaga faigaluega, e matua faigofie lava ona ofuina ma loimata, o se faʻaaogaina. O le lelei tele o le vevela ma le mautu o le kalafi e maua ai se avanoa sili e avea o se vaega autu o masini MOCVD.

Ae peitai, afai e na o le graphite mama, o le ai ai ni faafitauli. I le faagasologa o le gaosiga, o le ai ai kasa corrosive totoe ma mea uʻamea uʻamea, ma o le graphite susceptor o le a corrode ma paʻu ese, lea e matua faaitiitia ai le ola auaunaga o le susceptor graphite. I le taimi lava e tasi, o le pa'ū pa'ū graphite o le a mafua ai foi le filogia i le wafer, o lea e manaʻomia ai ona foia nei faafitauli i le sauniuniga o le faʻavae. O tekonolosi faʻapipiʻi e mafai ona tuʻuina atu le faʻapipiʻiina o le paʻu, faʻaleleia le vevela, ma paleni le tufatufaina o le vevela, ma ua avea ma tekonolosi autu e foia ai lenei faafitauli.

E tusa ai ma le faʻaogaina o le siosiomaga ma le faʻaogaina o manaʻoga o le graphite base, o le faʻapipiʻi luga e tatau ona i ai uiga nei:

1. Maualuluga maualuga ma fa'asalalau atoa:O le faavae o le graphite o loʻo i totonu o le maualuga o le vevela ma le siosiomaga galue. E tatau ona ufiufi atoa le pito i luga, ma o le ufiufi e tatau ona lelei le mamafa e fai ai se puipuiga lelei.

2. Mafolafola lelei luga:Talu ai ona o le faavae o le graphite e faʻaaogaina mo le tuputupu aʻe tioata tasi e manaʻomia ai le maualuga tele o luga o le eleele, e tatau ona faʻatumauina le faʻamaualuga muamua o le faʻavae pe a uma ona saunia le ufiufi, o lona uiga, e tatau ona tutusa le ufiufi.

3. Malosi fa'atasi lelei:Faʻaitiitia le eseesega i le faʻalauteleina o le vevela i le va o le graphite base ma le mea faʻapipiʻi e mafai ona faʻaleleia lelei le malosi faʻapipiʻi i le va o le lua. A maeʻa ona oʻo i le maualuga ma le maualalo o le vevela o le vevela, e le faigofie ona taʻe le ufiufi.

4. maualuga conductivity vevela:O le tuputupu aʻe o le vaʻa maualuga e manaʻomia ai le faʻavae o le kalafi e tuʻuina atu ai le vevela vave ma le tutusa, o lea e tatau ai i le mea faʻapipiʻi ona maualuga le faʻafefe.

5. maualuga le liusuavai, maualuga vevela oxidation tetee ma corrosion tetee:O le ufiufi e tatau ona mafai ona galue mausali i se vevela maualuga ma le siosiomaga galue corrosive.

Le mautu vevela, tutusa vevela ma isi taʻiala faʻatinoga o leSiC fa'apipi'i graphite susceptorfaia se sao taua i le tulaga lelei o le tuputupu ae o mea epitaxial, o lea o le vaega autu autu o meafaigaluega MOCVD.

β-SiC (3C-SiC) foliga tioata ua filifilia e fai ma faʻapipiʻi. Pe a faatusatusa i isi foliga tioata, o lenei foliga tioata o loʻo i ai se faasologa o mea sili ona lelei e pei o le mautu lelei o le thermodynamic, faʻamaʻi faʻamaʻi ma le faʻamaʻi. I le taimi lava e tasi, o loʻo i ai se faʻauluina vevela e faʻatatau i le graphite, ma faʻapea ona tuʻuina atu ai le graphite faʻavae mea faʻapitoa. E mafai ona foia lelei le toilalo o le faavae o le graphite e mafua mai i le maualuga o le vevela ma le pala ma le paʻu o le paʻu i le taimi o le tautua, ma faʻapipiʻi le pito i luga o le graphite, e le porous, maualuga le vevela, anti-corrosion, anti-oxidation ma isi uiga, ma faʻaleleia atili ai le tulaga maualuga o le epitaxial tioata ma le ola tautua o le graphite o le SiC. ogaumu).

E fa'afefea ona filifili MOCVD graphite tray/susceptor e fa'asa'o i le maualuga o le vevela ma le pala?

Pe a filifilia afata kalafi po'o le susceptor mo MOCVDe tetee i le vevela maualuga, o mea taua nei e tatau ona mafaufauina:

1. Mama o meafaitino:O mea graphite maualuga mama e mafai ona sili atu ona tetee atu i le pala ma le faʻamaʻiina i le maualuga o le vevela ma faʻaitiitia ai le aʻafiaga o mea le mama i luga o le faʻagasologa o mea.

2. Malosi ma porosity:O fata graphite e maualuga le mamafa ma maualalo le porosity e sili atu le malosi faʻainisinia ma le faʻafefeteina, ma e mafai ona puipuia lelei le faʻaogaina o le kesi ma le tafia o mea.

3. Fa'avevela vevela:O le fata graphite conductivity maualuga e fesoasoani i le tufatufaina tutusa o le vevela, faʻaitiitia le mamafa o le vevela, ma faʻaleleia le mautu ma le ola tautua o meafaigaluega.

4. Togafitiga luga:Pallets graphite na faia togafitiga faʻapitoa i luga, e pei o le faʻapipiʻiina poʻo le faʻapipiʻiina, e mafai ona faʻaleleia atili ai lo latou teteʻe ma le ofuina.

5. Tele ma foliga:E tusa ai ma manaoga faʻapitoa o masini MOCVD, filifili le tele talafeagai ma foliga e faʻamautinoa ai le fetaui lelei o le fata ma meafaigaluega ma le faʻaogaina o le gaioiga.

6. Ta'uleleia o le gaosiga:Filifili se tagata gaosi oloa e iai se igoa lelei ma le poto masani e faʻamautinoa ai le faʻamaoni o le tulaga lelei o oloa ma le auaunaga pe a uma ona faʻatau.

7. Tau-lelei:I luga o le tulaga o le ausia o manaʻoga faʻapitoa, mafaufau i le tau-lelei ma filifili oloa e maualuga atu le tau.

O le VET Energy o se faʻatau oloa susceptor graphite maualuga, matou te ofoina atu le tele o vaega, ma e mafai ona faʻaaogaina i masini MOCVD o ituaiga eseese, faʻataʻitaʻiga ma faʻamatalaga. O leSiC fa'apipi'i graphite susceptorgaosia e le VET Energy e leai ni mea e fa'afeso'ota'i ai le ufiufi ma leai ni so'oga vaivai. I tulaga o le soifua tautua, e mafai ona latou ausia manaʻoga o tagata faʻatau ma manaʻoga eseese (e aofia ai le faʻaogaina o le chlorine-contains atmospheres), ma e faʻafeiloaʻi tagata faʻatau e faʻatalanoa ma suʻesuʻe.