E ausia le tuputupu aʻe o le wafer epitaxial e ala i le tekinolosi o le metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), lea e tuiina ai kasa mama tele i totonu o le reactor ma fuaina lelei, ina ia latou tuʻufaʻatasia i le vevela maualuga e mafua ai fegalegaleaiga faʻakemikolo ma faʻaputuina i luga o wafers semiconductor i ni vaega manifinifi e fausia ai le epitaxy o meafaitino ma semiconductors tuʻufaʻatasi.
I masini CVD, e le mafai ona tu'u sa'o le substrate i luga o le u'amea pe na'o luga o se fa'avae mo le epitaxial deposition, aua o le a a'afia i le tele o mea. O le mea lea, e mana'omia se susceptor po'o se tray e taofi ai le substrate, ona fa'aaoga lea o le tekinolosi CVD e fa'atino ai le epitaxial deposition i luga o le substrate. O lenei susceptor o seMea e taofia ai le kalafi MOCVD(e ta'ua fo'i oFata kalafi MOCVD).
O lona fausaga o loʻo faʻaalia i le ata o loʻo i lalo:
Aiseā e manaʻomia ai e le graphite susceptor le ufiufi CVD?
O le graphite susceptor o se tasi o vaega autū o masini MOCVD. O le mea e feaveaʻi ma faʻavevela ai le substrate. O ona faʻatulagaga faʻatino e pei o le mautu o le vevela ma le tutusa o le vevela e iai sona sao taua i le lelei o le tuputupu aʻe o mea epitaxial, ma e fuafua tonu ai le tutusa ma le mama o mea epitaxial thin film. O le mea lea, o lona lelei e aʻafia tonu ai le sauniuniga o epitaxial wafers. I le taimi lava e tasi, faʻatasi ai ma le faʻateleina o le aofaʻi o faʻaoga ma suiga i tulaga faigaluega, e faigofie lava ona ofuina ma masae, ma o se mea e mafai ona faʻaaogaina. O le lelei o le conductivity vevela ma le mautu o le graphite e maua ai se avanoa tele o se vaega autu o masini MOCVD.
Peitaʻi, afai e naʻo le graphite mama, o le a iai ni faʻafitauli. I le faagasologa o le gaosiga, o le a iai ni kasa ele ma mea olaola uʻamea, ma o le a pala ma paʻuʻū ese le susceptor graphite, lea e matua faʻaitiitia ai le umi o le tautua o le susceptor graphite. I le taimi lava e tasi, o le paʻuʻū o le pauta graphite o le a mafua ai foʻi le faʻaleagaina o le wafer, o lea e manaʻomia ai ona foia nei faʻafitauli i le faagasologa o le sauniuniga o le faʻavae. E mafai e le tekinolosi ufiufi ona maua ai le faʻamautuina o le pauta i luga, faʻaleleia atili le faʻavevela, ma paleni le tufatufaina o le vevela, ma ua avea ma tekinolosi autu e foia ai lenei faʻafitauli.
E tusa ai ma le siosiomaga faʻaoga ma manaʻoga faʻaoga o le faʻavae graphite, e tatau ona i ai uiga nei o le ufiufi o luga:
1. Maualuga le mafiafia ma le ufiufi atoa:O le fa'avae o le karapite e iai i se siosiomaga faigaluega e maualuga le vevela ma e 'ele'elea. E tatau ona ufiufi atoa le fogā'ele'ele, ma e tatau ona mafiafia lelei le ufiufi ina ia mafai ai ona faia se puipuiga lelei.
2. Lelei le lamolemole o le fogāeleele:Talu ai o le faʻavae karapite e faʻaaogaina mo le tuputupu aʻe o le tioata e tasi e manaʻomia ai se maualuga tele o le lamolemole o le fogaeleele, e tatau ona tausia le lamolemole muamua o le faavae pe a uma ona saunia le ufiufi, o lona uiga, e tatau ona tutusa le laualuga o le ufiufi.
3. Malosiaga lelei o le fusifusia:O le faʻaitiitia o le eseesega i le fua faʻatatau o le faʻalauteleina o le vevela i le va o le faʻavae graphite ma le mea ufiufi e mafai ona faʻaleleia atili ai le malosi o le pipii i le va o mea e lua. A maeʻa ona oʻo i le maualuga ma le maualalo o le vevela o le vevela, e le faigofie ona malepe le ufiufi.
4. Fa'avevela maualuga:O le tuputupu aʻe lelei o le fasi pepa e manaʻomia ai le faʻavae o le karapite e vave ma tutusa le vevela, o lea e tatau ai i le mea e ufiufi ona maualuga le faʻavevela.
5. Maualuga le tulaga e liusuavai ai, tete'e atu i le fa'ama'iina i le vevela maualuga ma tete'e atu i le 'ele:E tatau ona mafai e le ufiufi ona galue mautu i se vevela maualuga ma se siosiomaga faigaluega e 'a'ai.
O le mautu o le vevela, tutusa o le vevela ma isi fa'asologa o le fa'atinoga o leFa'asusu karapite ua ufiufiina i le SiCe iai se sao taua i le lelei o le tuputupu aʻe o meafaitino epitaxial, o lea la o le vaega autū lea o meafaigaluega MOCVD.
O le ituaiga tioata β-SiC (3C-SiC) ua filifilia e fai ma ufiufi. Pe a faatusatusa i isi ituaiga tioata, o lenei ituaiga tioata e iai ni ona uiga lelei e pei o le mautu lelei o le thermodynamic, tete'e atu i le oxidation ma le tete'e atu i le ele. I le taimi lava e tasi, e iai lona conductivity vevela e tutusa ma le graphite, ma maua ai e le faavae graphite ni uiga faapitoa. E mafai ona foia lelei le faaletonu o le faavae graphite e mafua mai i le oxidation maualuga ma le ele ma le leiloa o le pauta i le taimi o le tautua, ma faia ai le fogaeleele o le faavae graphite ia mafiafia, e le pu, tete'e atu i le vevela maualuga, tete'e atu i le ele, tete'e atu i le oxidation ma isi uiga, ma faaleleia atili ai le tulaga lelei o le epitaxial tioata ma le umi o le tautua o le faavae graphite (o le umi o le tautua o le faavae graphite ua ufiufi i le SiC e fuaina i ogaumu).
E fa'apefea ona filifili le fata/susceptor karapite a le MOCVD e tete'e atu i le vevela maualuga ma le 'ele?
A filifilia sefata kalafi po'o le susceptor mo MOCVDe tete'e atu i le 'ele i le vevela maualuga, e tatau ona mafaufau i mea taua nei:
1. Mamā o meafaitino:E mafai e mea kalaite e maualuga le mama ona tete'e atu i le 'ele ma le fa'ama'a'aina i le vevela maualuga ma fa'aitiitia ai le a'afiaga o mea le mama i le fa'agasologa o le fa'aputuina.
2. Mafiafia ma le porosity:O fata graphite e maualuga le mafiafia ae maualalo le porosity e sili atu le malosi fa'ainisinia ma le tete'e atu i le 'ele, ma e mafai ona puipuia lelei le sosolo o le kesi ma le soloia o meafaitino.
3. Fa'avevela o le eletise:O le fata karapite e maualuga le fa'avevela e fesoasoani e tufatufa tutusa ai le vevela, fa'aitiitia ai le fa'alavelave fa'avevela, ma fa'aleleia atili ai le mautu ma le umi e fa'aaoga ai le masini.
4. Togafitiga o luga:O paleti graphite ua uma ona faia i ai ni togafitiga faapitoa i luga, e pei o le ufiufi po'o le fa'apala, e mafai ona fa'aleleia atili ai lo latou tete'e atu i le 'ele ma le ofuina.
5. Tele ma foliga:E tusa ai ma manaʻoga patino o meafaigaluega MOCVD, filifili le tele ma le foliga talafeagai e faʻamautinoa ai le fetaui o le fata ma le meafaigaluega ma le faigofie o le faʻagaoioiga.
6. Ta'uleleia o le Kamupani Gaosi:Filifili se kamupani gaosi oloa e iai le talaaga lelei ma le poto masani tele e faʻamautinoa ai le faʻatuatuaina o le lelei o oloa ma le auaunaga pe a maeʻa le faʻatau atu.
7. Tau aogā:I le fa'avaeina o le fa'amalieina o mana'oga fa'apitoa, mafaufau i le taugofie ma filifili oloa e sili atu le tau fa'atino.
O le VET Energy o se kamupani tu'uina atu o masini e fa'apipi'i ai le graphite e maualuga le mama, matou te ofoina atu le tele o vaega eseese, ma e mafai ona fa'aaogaina i masini MOCVD o ituaiga eseese, fa'ata'ita'iga ma fa'amatalaga.Fa'asusu karapite ua ufiufiina i le SiCO mea e gaosia e le VET Energy e leai ni vaega e fesoʻotaʻi ai ma ufiufi ma e leai ni vaivaiga. I le umi e faʻaaogaina ai, e mafai ona faʻafetaui manaʻoga o tagata faʻatau e iai manaʻoga eseese (e aofia ai le faʻaaogaina o le ea e iai le chlorine), ma e talia ma le fiafia tagata faʻatau e feutagai ma fesili.
Taimi na lafoina ai: Mati-01-2025