میٹل آرگینک کیمیکل ویپر ڈیپوزیشن (MOCVD) ٹیکنالوجی کے ذریعے ویفر اپیٹیکسیل نمو حاصل کی جاتی ہے، جس میں انتہائی خالص گیسوں کو ری ایکٹر میں داخل کیا جاتا ہے اور باریک میٹر کیا جاتا ہے، تاکہ وہ بلند درجہ حرارت پر اکٹھے ہو کر کیمیائی تعامل کا باعث بنیں اور سیمی کنڈکٹر ویفرز پر جمع ہو کر بہت پتلی اور پتلی مواد کی شکل میں جمع ہو جائیں۔ سیمی کنڈکٹرز
CVD آلات میں، سبسٹریٹ کو براہ راست دھات پر یا محض اپیٹیکسیل جمع کرنے کی بنیاد پر نہیں رکھا جاسکتا، کیونکہ یہ بہت سے عوامل سے متاثر ہوگا۔ لہذا، سبسٹریٹ کو پکڑنے کے لیے ایک سسپٹر یا ٹرے کی ضرورت ہوتی ہے، اور پھر سبسٹریٹ پر ایپیٹیکسیل جمع کرنے کے لیے CVD ٹیکنالوجی کا استعمال کریں۔ یہ susceptor aMOCVD گریفائٹ سسیپٹر(بھی کہا جاتا ہے۔MOCVD گریفائٹ ٹرے).
اس کی ساخت نیچے دی گئی تصویر میں دکھائی گئی ہے۔
گریفائٹ سسپٹر کو سی وی ڈی کوٹنگ کی ضرورت کیوں ہے؟
گریفائٹ سسپٹر MOCVD آلات میں بنیادی اجزاء میں سے ایک ہے۔ یہ سبسٹریٹ کا کیریئر اور حرارتی عنصر ہے۔ اس کی کارکردگی کے پیرامیٹرز جیسے تھرمل استحکام اور تھرمل یکسانیت ایپیٹیکسیل مواد کی نشوونما کے معیار میں فیصلہ کن کردار ادا کرتے ہیں، اور براہ راست ایپیٹیکسیل پتلی فلمی مواد کی یکسانیت اور پاکیزگی کا تعین کرتے ہیں۔ لہذا، اس کا معیار براہ راست epitaxial wafers کی تیاری پر اثر انداز ہوتا ہے. ایک ہی وقت میں، استعمال کی تعداد میں اضافے اور کام کے حالات میں تبدیلی کے ساتھ، یہ پہننا اور پھاڑنا بہت آسان ہے، یہ قابل استعمال ہے۔ گریفائٹ کی بہترین تھرمل چالکتا اور استحکام اسے MOCVD آلات کے بنیادی جزو کے طور پر بہت اچھا فائدہ دیتا ہے۔
تاہم، اگر یہ صرف خالص گریفائٹ ہے، تو کچھ مسائل ہوں گے. پیداوار کے عمل میں، بقایا سنکنرن گیسیں اور دھاتی نامیاتی مادے ہوں گے، اور گریفائٹ سسیپٹر زنگ آلود ہو کر گر جائے گا، جس سے گریفائٹ سسیپٹر کی سروس لائف بہت کم ہو جاتی ہے۔ ایک ہی وقت میں، گرنے والا گریفائٹ پاؤڈر بھی ویفر میں آلودگی کا سبب بنے گا، لہذا ان مسائل کو بیس کی تیاری کے عمل میں حل کرنے کی ضرورت ہے۔ کوٹنگ ٹیکنالوجی سطح پاؤڈر فکسشن فراہم کر سکتی ہے، تھرمل چالکتا کو بڑھا سکتی ہے، اور گرمی کی تقسیم کو متوازن کر سکتی ہے، اور اس مسئلے کو حل کرنے کے لیے اہم ٹیکنالوجی بن گئی ہے۔
گریفائٹ بیس کی درخواست کے ماحول اور استعمال کی ضروریات کے مطابق، سطح کی کوٹنگ میں درج ذیل خصوصیات ہونی چاہئیں:
1. اعلی کثافت اور مکمل کوریج:گریفائٹ بیس اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن کام کرنے والے ماحول میں ہے۔ سطح کو مکمل طور پر ڈھانپنا چاہیے، اور اچھی حفاظتی کردار ادا کرنے کے لیے کوٹنگ میں اچھی کثافت ہونی چاہیے۔
2. اچھی سطح ہمواری:چونکہ سنگل کرسٹل کی نشوونما کے لیے استعمال ہونے والے گریفائٹ بیس کو بہت زیادہ سطح کی ہمواری کی ضرورت ہوتی ہے، اس لیے کوٹنگ تیار ہونے کے بعد بیس کی اصل ہمواری کو برقرار رکھا جانا چاہیے، یعنی کوٹنگ کی سطح یکساں ہونی چاہیے۔
3. اچھی بانڈنگ طاقت:گریفائٹ بیس اور کوٹنگ میٹریل کے درمیان تھرمل ایکسپینشن گتانک میں فرق کو کم کرنے سے دونوں کے درمیان تعلقات کی مضبوطی کو مؤثر طریقے سے بہتر بنایا جا سکتا ہے۔ اعلی اور کم درجہ حرارت کے تھرمل سائیکلوں کا سامنا کرنے کے بعد، کوٹنگ کو ٹوٹنا آسان نہیں ہے۔
4. اعلی تھرمل چالکتا:اعلی معیار کی چپ کی نشوونما کے لیے تیز رفتار اور یکساں حرارت فراہم کرنے کے لیے گریفائٹ بیس کی ضرورت ہوتی ہے، اس لیے کوٹنگ کے مواد میں تھرمل چالکتا زیادہ ہونی چاہیے۔
5. ہائی پگھلنے کا نقطہ، اعلی درجہ حرارت آکسیکرن مزاحمت اور سنکنرن مزاحمت:کوٹنگ کو اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن کام کرنے والے ماحول میں مستحکم طور پر کام کرنے کے قابل ہونا چاہئے۔
تھرمل استحکام، تھرمل یکسانیت اور کارکردگی کے دیگر پیرامیٹرزSiC لیپت گریفائٹ سسیپٹرepitaxial مواد کی ترقی کے معیار میں فیصلہ کن کردار ادا کرتا ہے، لہذا یہ MOCVD آلات کا بنیادی کلیدی جزو ہے۔
β-SiC (3C-SiC) کرسٹل فارم کوٹنگ کے طور پر منتخب کیا گیا ہے۔ دیگر کرسٹل شکلوں کے مقابلے میں، اس کرسٹل فارم میں بہترین خصوصیات کا ایک سلسلہ ہے جیسے اچھی تھرموڈینامک استحکام، آکسیکرن مزاحمت اور سنکنرن مزاحمت۔ ایک ہی وقت میں، اس میں تھرمل چالکتا ہے جو بنیادی طور پر گریفائٹ سے مطابقت رکھتی ہے، اس طرح گریفائٹ بیس کو خاص خصوصیات ملتی ہیں۔ یہ سروس کے دوران اعلی درجہ حرارت کے آکسیکرن اور سنکنرن اور پاؤڈر کے نقصان کی وجہ سے گریفائٹ بیس کی ناکامی کو مؤثر طریقے سے حل کر سکتا ہے، اور گریفائٹ بیس کی سطح کو گھنے، غیر غیر محفوظ، اعلی درجہ حرارت کے خلاف مزاحم، اینٹی سنکنرن، اینٹی آکسیڈیشن اور دیگر خصوصیات بنا سکتا ہے، اس طرح کرسٹل اپیٹیکسیل سروس کے معیار کو بہتر بناتا ہے۔ گریفائٹ بیس کو بھٹیوں میں ماپا جاتا ہے)۔
اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن کے خلاف مزاحم MOCVD گریفائٹ ٹرے/سوسیپٹر کا انتخاب کیسے کریں؟
انتخاب کرتے وقت aMOCVD کے لیے گریفائٹ ٹرے یا سسپٹرجو کہ اعلی درجہ حرارت کے سنکنرن کے خلاف مزاحم ہے، درج ذیل اہم عوامل پر غور کیا جانا چاہیے:
1. مواد کی پاکیزگی:اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ مواد اعلی درجہ حرارت پر سنکنرن اور آکسیکرن کے خلاف بہتر مزاحمت کرسکتے ہیں اور جمع کرنے کے عمل پر نجاست کے اثرات کو کم کرسکتے ہیں۔
2. کثافت اور پوروسیٹی:اعلی کثافت اور کم پوروسیٹی والی گریفائٹ ٹرے بہتر مکینیکل طاقت اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت رکھتی ہیں، اور مؤثر طریقے سے گیس کے دخول اور مادی کٹاؤ کو روک سکتی ہیں۔
3. تھرمل چالکتا:اعلی تھرمل چالکتا گریفائٹ ٹرے گرمی کو یکساں طور پر تقسیم کرنے، تھرمل تناؤ کو کم کرنے اور سامان کے استحکام اور سروس کی زندگی کو بہتر بنانے میں مدد کرتی ہے۔
4. سطحی علاج:گریفائٹ پیلیٹس جن کی سطح کا خصوصی علاج ہوا ہے، جیسے کوٹنگ یا چڑھانا، اپنی سنکنرن مزاحمت اور پہننے کی مزاحمت کو مزید بڑھا سکتے ہیں۔
5. سائز اور شکل:MOCVD آلات کی مخصوص ضروریات کے مطابق، سامان کے ساتھ ٹرے کی مطابقت اور آپریشن کی سہولت کو یقینی بنانے کے لیے مناسب سائز اور شکل کا انتخاب کریں۔
6. صنعت کار کی ساکھ:پروڈکٹ کے معیار اور بعد از فروخت سروس کی وشوسنییتا کو یقینی بنانے کے لیے اچھی شہرت اور بھرپور تجربہ رکھنے والے صنعت کار کا انتخاب کریں۔
7. لاگت کی تاثیر:تکنیکی ضروریات کو پورا کرنے کی بنیاد پر، لاگت کی تاثیر پر غور کریں اور زیادہ لاگت کی کارکردگی کے ساتھ مصنوعات کا انتخاب کریں۔
VET Energy ایک اعلیٰ پیوریٹی گریفائٹ سسپٹر فراہم کنندہ ہے، ہم زمروں کی ایک وسیع رینج پیش کرتے ہیں، اور مختلف برانڈز، ماڈلز اور تصریحات کے MOCVD آلات میں استعمال کیا جا سکتا ہے۔ دیSiC لیپت گریفائٹ سسیپٹروی ای ٹی انرجی کے ذریعہ تیار کردہ کوٹنگ کے رابطہ پوائنٹس اور کمزور لنکس نہیں ہیں۔ سروس کی زندگی کے لحاظ سے، وہ مختلف ضروریات کے ساتھ گاہکوں کی ضروریات کو پورا کر سکتے ہیں (بشمول کلورین پر مشتمل ماحول کا استعمال)، اور گاہکوں سے مشورہ اور انکوائری کا خیرمقدم کیا جاتا ہے.
پوسٹ ٹائم: مارچ 01-2025