X'inhu trej tal-grafita MOCVD?

It-tkabbir epitassjali tal-wejfer jinkiseb permezz tat-teknoloġija tad-depożizzjoni tal-fwar kimiku organiku tal-metall (MOCVD), fejn gassijiet ultra-puri jiġu injettati fir-reattur u mkejla fin, sabiex jingħaqdu f'temperaturi elevati biex jikkawżaw interazzjonijiet kimiċi u jiġu depożitati fuq wejfers tas-semikondutturi f'saffi atomiċi rqaq ħafna biex jiffurmaw epitassija ta' materjali u semikondutturi komposti.

Fit-tagħmir tas-CVD, is-sottostrat ma jistax jitqiegħed direttament fuq il-metall jew sempliċement fuq bażi għal depożizzjoni epitassjali, għaliex se jkun affettwat minn ħafna fatturi. Għalhekk, huwa meħtieġ susċettur jew trej biex iżomm is-sottostrat, u mbagħad tintuża t-teknoloġija tas-CVD biex titwettaq depożizzjoni epitassjali fuq is-sottostrat. Dan is-susċettur huwaSuxxettore tal-grafita MOCVD(imsejjaħ ukollTrej tal-grafita MOCVD).

L-istruttura tagħha hija murija fil-figura t'hawn taħt:

Għaliex is-susċettur tal-grafita jeħtieġ kisi CVD?

Is-susċettur tal-grafita huwa wieħed mill-komponenti ewlenin fit-tagħmir MOCVD. Huwa l-element trasportatur u tat-tisħin tas-sottostrat. Il-parametri tal-prestazzjoni tiegħu bħall-istabbiltà termali u l-uniformità termali għandhom rwol deċiżiv fil-kwalità tat-tkabbir tal-materjal epitassjali, u jiddeterminaw direttament l-uniformità u l-purità tal-materjali tal-film irqiq epitassjali. Għalhekk, il-kwalità tiegħu taffettwa direttament il-preparazzjoni tal-wejfers epitassjali. Fl-istess ħin, biż-żieda fin-numru ta' użi u l-bidliet fil-kundizzjonijiet tax-xogħol, huwa faċli ħafna li jintlibes u jitqatta', huwa konsumabbli. Il-konduttività termali eċċellenti u l-istabbiltà tal-grafita jagħtuha vantaġġ kbir bħala komponent bażi tat-tagħmir MOCVD.

Madankollu, jekk ikun biss grafit pur, ikun hemm xi problemi. Fil-proċess tal-produzzjoni, ikun hemm gassijiet korrużivi residwi u materja organika tal-metall, u s-susċettur tal-grafita jissaddad u jaqa', u dan inaqqas ħafna l-ħajja tas-servizz tas-susċettur tal-grafita. Fl-istess ħin, it-trab tal-grafita li jaqa' jikkawża wkoll tniġġis fil-wejfer, għalhekk dawn il-problemi jeħtieġ li jiġu solvuti fil-proċess ta' preparazzjoni tal-bażi. It-teknoloġija tal-kisi tista' tipprovdi fissazzjoni tat-trab tal-wiċċ, ittejjeb il-konduttività termali, u tibbilanċja d-distribuzzjoni tas-sħana, u saret it-teknoloġija ewlenija biex issolvi din il-problema.

Skont l-ambjent tal-applikazzjoni u r-rekwiżiti tal-użu tal-bażi tal-grafita, il-kisi tal-wiċċ għandu jkollu l-karatteristiċi li ġejjin:

1. Densità għolja u kopertura sħiħa:Il-bażi tal-grafita tinsab f'ambjent tax-xogħol b'temperatura għolja u korrużiv. Il-wiċċ għandu jkun mgħotti għalkollox, u l-kisi għandu jkollu densità tajba biex ikollu rwol protettiv tajjeb.

2. Ċatt tajjeb tal-wiċċ:Peress li l-bażi tal-grafita użata għat-tkabbir ta' kristall wieħed teħtieġ ċattità tal-wiċċ għolja ħafna, il-ċattità oriġinali tal-bażi għandha tinżamm wara li l-kisi jkun ippreparat, jiġifieri, il-wiċċ tal-kisi għandu jkun uniformi.

3. Saħħa tajba ta' twaħħil:It-tnaqqis tad-differenza fil-koeffiċjent tal-espansjoni termali bejn il-bażi tal-grafita u l-materjal tal-kisi jista' jtejjeb b'mod effettiv is-saħħa tal-irbit bejn it-tnejn. Wara li jesperjenza ċikli termali ta' temperatura għolja u baxxa, il-kisi mhux faċli li jinqasam.

4. Konduttività termali għolja:It-tkabbir taċ-ċippa ta' kwalità għolja jeħtieġ li l-bażi tal-grafita tipprovdi sħana veloċi u uniformi, għalhekk il-materjal tal-kisi għandu jkollu konduttività termali għolja.

5. Punt ta' tidwib għoli, reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja u reżistenza għall-korrużjoni:Il-kisi għandu jkun jista' jaħdem b'mod stabbli f'ambjent tax-xogħol b'temperatura għolja u korrużiv.

L-istabbiltà termali, l-uniformità termali u parametri oħra tal-prestazzjoni tal-Suxxettore tal-grafita miksija bis-SiCgħandhom rwol deċiżiv fil-kwalità tat-tkabbir tal-materjal epitassjali, għalhekk huwa l-komponent ewlieni tat-tagħmir MOCVD.

Il-forma tal-kristall β-SiC (3C-SiC) hija magħżula bħala l-kisi. Meta mqabbla ma' forom oħra tal-kristall, din il-forma tal-kristall għandha serje ta' proprjetajiet eċċellenti bħal stabbiltà termodinamika tajba, reżistenza għall-ossidazzjoni u reżistenza għall-korrużjoni. Fl-istess ħin, għandha konduttività termali li hija bażikament konsistenti ma' dik tal-grafita, u b'hekk tagħti lill-bażi tal-grafita proprjetajiet speċjali. Tista' ssolvi b'mod effettiv il-ħsara tal-bażi tal-grafita kkawżata minn ossidazzjoni u korrużjoni f'temperatura għolja u telf ta' trab waqt is-servizz, u tagħmel il-wiċċ tal-bażi tal-grafita dens, mhux poruż, reżistenti għal temperatura għolja, kontra l-korrużjoni, kontra l-ossidazzjoni u karatteristiċi oħra, u b'hekk ittejjeb il-kwalità epitassjali tal-kristall u l-ħajja tas-servizz tal-bażi tal-grafita (il-ħajja tas-servizz tal-bażi tal-grafita miksija bis-SiC titkejjel fil-fran).

Kif tagħżel trej/susċettur tal-grafita MOCVD li huwa reżistenti għal temperatura għolja u korrużjoni?

Meta tagħżeltrej tal-grafita jew susceptor għal MOCVDli huwa reżistenti għall-korrużjoni f'temperatura għolja, għandhom jiġu kkunsidrati l-fatturi ewlenin li ġejjin:

1. Purità tal-materjal:Materjali tal-grafita ta' purità għolja jistgħu jirreżistu aħjar il-korrużjoni u l-ossidazzjoni f'temperaturi għoljin u jnaqqsu l-impatt tal-impuritajiet fuq il-proċess ta' depożizzjoni.

2. Densità u porożità:Trejs tal-grafita b'densità għolja u porożità baxxa għandhom saħħa mekkanika u reżistenza għall-korrużjoni aħjar, u jistgħu jipprevjenu b'mod effettiv il-penetrazzjoni tal-gass u l-erożjoni tal-materjal.

3. Konduttività termali:It-trej tal-grafita b'konduttività termali għolja jgħin biex iqassam is-sħana b'mod uniformi, inaqqas l-istress termali, u jtejjeb l-istabbiltà u l-ħajja tas-servizz tat-tagħmir.

4. Trattament tal-wiċċ:Paletti tal-grafita li għaddew minn trattament speċjali tal-wiċċ, bħal kisi jew plating, jistgħu jtejbu aktar ir-reżistenza tagħhom għall-korrużjoni u r-reżistenza għall-użu.

5. Daqs u forma:Skont ir-rekwiżiti speċifiċi tat-tagħmir MOCVD, agħżel id-daqs u l-għamla xierqa biex tiżgura l-kompatibilità tat-trej mat-tagħmir u l-konvenjenza tal-operazzjoni.

6. Ir-reputazzjoni tal-manifattur:Agħżel manifattur b'reputazzjoni tajba u esperjenza rikka biex tiżgura l-affidabbiltà tal-kwalità tal-prodott u s-servizz ta' wara l-bejgħ.

7. Effettività fl-ispejjeż:Fuq il-premessa li tissodisfa r-rekwiżiti tekniċi, ikkunsidra l-effettività tal-ispejjeż u agħżel prodotti bi prestazzjoni ogħla fl-ispejjeż.

VET Energy huwa fornitur ta' susċetturi tal-grafita ta' purità għolja, noffru firxa wiesgħa ta' kategoriji, u jistgħu jintużaw f'tagħmir MOCVD ta' marki, mudelli u speċifikazzjonijiet differenti. Il-Suxxettore tal-grafita miksija bis-SiCProdotti minn VET Energy m'għandhom l-ebda punti ta' kuntatt tal-kisi u l-ebda konnessjonijiet dgħajfa. F'termini ta' ħajja ta' servizz, jistgħu jissodisfaw ir-rekwiżiti tal-klijenti bi bżonnijiet differenti (inkluż l-użu ta' atmosferi li fihom il-kloru), u l-klijenti huma mistiedna jikkonsultaw u jistaqsu.