MOCVD qrafit qabı nədir?

Plitənin epitaksial böyüməsi, ultra təmiz qazların reaktora yeridilməsi və incə ölçülməsi ilə metal üzvi kimyəvi buxar çökdürmə (MOCVD) texnologiyası vasitəsilə əldə edilir. Belə ki, onlar yüksək temperaturda birləşərək kimyəvi qarşılıqlı təsirlərə səbəb olur və materialların və mürəkkəb yarımkeçiricilərin epitaksisini yaratmaq üçün çox nazik atom təbəqələrində yarımkeçirici plastinlərə çökdürülür.

Ürək-damar xəstəlikləri avadanlıqlarında substrat birbaşa metalın üzərinə və ya sadəcə epitaksial çöküntü üçün əsasa yerləşdirilə bilməz, çünki ona bir çox amillər təsir edəcək. Buna görə də, substratı saxlamaq üçün bir susseptor və ya qab lazımdır və sonra substrat üzərində epitaksial çöküntü aparmaq üçün Ürək-damar xəstəlikləri texnologiyasından istifadə olunur. Bu susseptor birdirMOCVD qrafit susceptoru(həmçinin adlanırMOCVD qrafit qabı).

Onun quruluşu aşağıdakı şəkildə göstərilib:

Qrafit susseptorunun niyə CVD örtüyünə ehtiyacı var?

Qrafit susseptoru MOCVD avadanlığının əsas komponentlərindən biridir. Substratın daşıyıcısı və qızdırıcı elementidir. İstilik sabitliyi və istilik vahidliyi kimi performans parametrləri epitaksial materialın böyüməsinin keyfiyyətində həlledici rol oynayır və epitaksial nazik təbəqə materiallarının vahidliyini və təmizliyini birbaşa müəyyən edir. Buna görə də, onun keyfiyyəti epitaksial lövhələrin hazırlanmasına birbaşa təsir göstərir. Eyni zamanda, istifadə sayının artması və iş şəraitinin dəyişməsi ilə aşınması və cırılması çox asandır, istehlak materialıdır. Qrafitin əla istilik keçiriciliyi və sabitliyi ona MOCVD avadanlığının əsas komponenti kimi böyük üstünlük verir.

Lakin, əgər bu, yalnız təmiz qrafitdirsə, bəzi problemlər yaranacaq. İstehsal prosesində qalıq korroziyalı qazlar və metal üzvi maddələr olacaq və qrafit susceptoru korroziyaya uğrayacaq və düşəcək ki, bu da qrafit susceptorunun xidmət müddətini xeyli azaldır. Eyni zamanda, düşən qrafit tozu da lövhənin çirklənməsinə səbəb olacaq, buna görə də bu problemlər əsasın hazırlanması prosesində həll edilməlidir. Örtük texnologiyası səth tozunun fiksasiyasını təmin edə, istilik keçiriciliyini artıra və istilik paylanmasını tarazlaşdıra bilər və bu problemi həll etmək üçün əsas texnologiyaya çevrilib.

Tətbiq mühitinə və qrafit əsasının istifadə tələblərinə uyğun olaraq, səth örtüyü aşağıdakı xüsusiyyətlərə malik olmalıdır:

1. Yüksək sıxlıq və tam örtük:Qrafit bazası yüksək temperatur və korroziyaya davamlı iş mühitindədir. Səth tam örtülmüş olmalı və yaxşı qoruyucu rol oynamaq üçün örtük yaxşı sıxlığa malik olmalıdır.

2. Yaxşı səth düzlüyü:Tək kristal böyüməsi üçün istifadə olunan qrafit əsas çox yüksək səth düzlüyü tələb etdiyindən, örtük hazırlandıqdan sonra əsasın orijinal düzlüyü qorunmalıdır, yəni örtük səthi vahid olmalıdır.

3. Yaxşı bağlanma gücü:Qrafit bazası ilə örtük materialı arasındakı istilik genişlənmə əmsalındakı fərqi azaltmaq, ikisi arasındakı bağ gücünü effektiv şəkildə artıra bilər. Yüksək və aşağı temperaturlu istilik dövrlərini yaşadıqdan sonra örtüyün çatlaması asan deyil.

4. Yüksək istilik keçiriciliyi:Yüksək keyfiyyətli yonqar böyüməsi sürətli və vahid istilik təmin etmək üçün qrafit əsasını tələb edir, buna görə də örtük materialı yüksək istilik keçiriciliyinə malik olmalıdır.

5. Yüksək ərimə nöqtəsi, yüksək temperatur oksidləşmə müqaviməti və korroziyaya davamlılıq:Kaplama yüksək temperaturda və korroziyaya uğrayan iş mühitində sabit işləyə bilməlidir.

İstilik sabitliyi, istilik vahidliyi və digər performans parametrləriSiC örtüklü qrafit susceptoruepitaksial material böyüməsinin keyfiyyətində həlledici rol oynayır, buna görə də MOCVD avadanlığının əsas əsas komponentidir.

β-SiC (3C-SiC) kristal forması örtük kimi seçilir. Digər kristal formaları ilə müqayisədə bu kristal forması yaxşı termodinamik stabillik, oksidləşmə müqaviməti və korroziyaya davamlılıq kimi bir sıra əla xüsusiyyətlərə malikdir. Eyni zamanda, əsasən qrafitin istilik keçiriciliyi ilə uyğun olan istilik keçiriciliyinə malikdir və beləliklə, qrafit əsasına xüsusi xüsusiyyətlər verir. Yüksək temperaturlu oksidləşmə və korroziya və xidmət zamanı toz itkisi nəticəsində yaranan qrafit əsasının sıradan çıxmasını effektiv şəkildə həll edə bilər və qrafit əsasının səthini sıx, məsaməli olmayan, yüksək temperatura davamlı, korroziyaya qarşı, oksidləşməyə qarşı və digər xüsusiyyətlərə çevirə bilər, bununla da kristal epitaksial keyfiyyətini və qrafit əsasının xidmət müddətini yaxşılaşdırır (SiC örtüklü qrafit əsasının xidmət müddəti sobalarda ölçülür).

Yüksək temperatura və korroziyaya davamlı MOCVD qrafit qabı/susseptoru necə seçilir?

SeçərkənMOCVD üçün qrafit nimçəsi və ya suseptorYüksək temperaturda korroziyaya davamlı olan məhsullar üçün aşağıdakı əsas amillər nəzərə alınmalıdır:

1. Materialın təmizliyi:Yüksək təmizlikli qrafit materialları yüksək temperaturda korroziyaya və oksidləşməyə daha yaxşı müqavimət göstərə və çirklərin çökmə prosesinə təsirini azalda bilər.

2. Sıxlıq və məsaməlilik:Yüksək sıxlıqlı və aşağı məsaməliliyə malik qrafit qabları daha yaxşı mexaniki möhkəmliyə və korroziyaya davamlılığa malikdir və qazın nüfuz etməsini və materialın aşınmasını effektiv şəkildə qarşısını ala bilər.

3. İstilik keçiriciliyi:Yüksək istilik keçiriciliyi qrafit qabı istiliyin bərabər paylanmasına, istilik gərginliyinin azaldılmasına və avadanlığın sabitliyini və xidmət müddətini yaxşılaşdırmağa kömək edir.

4. Səthi emal:Xüsusi səth işlənməsindən, məsələn, örtük və ya örtükdən keçmiş qrafit paletlər korroziyaya və aşınmaya davamlılığını daha da artıra bilər.

5. Ölçü və forma:MOCVD avadanlığının xüsusi tələblərinə uyğun olaraq, qabın avadanlıqla uyğunluğunu və işləmə rahatlığını təmin etmək üçün müvafiq ölçü və forma seçin.

6. İstehsalçının nüfuzu:Məhsul keyfiyyətinin və satış sonrası xidmətin etibarlılığını təmin etmək üçün yaxşı nüfuza və zəngin təcrübəyə malik istehsalçı seçin.

7. Xərc-səmərəlilik:Texniki tələblərə cavab vermək şərtilə, xərc səmərəliliyini nəzərə alın və daha yüksək xərc göstəricilərinə malik məhsullar seçin.

VET Energy yüksək təmizlikli qrafit susseptor təchizatçısıdır, geniş çeşiddə kateqoriyalar təklif edirik və müxtəlif marka, model və spesifikasiyalı MOCVD avadanlıqlarında istifadə edilə bilər.SiC örtüklü qrafit susceptoruVET Energy tərəfindən istehsal olunan örtük təmas nöqtələri və zəif əlaqələr yoxdur. Xidmət müddəti baxımından, onlar müxtəlif ehtiyacları olan müştərilərin tələblərini (xlor tərkibli atmosferlərin istifadəsi daxil olmaqla) ödəyə bilər və müştərilər məsləhətləşməyə və sorğu göndərməyə dəvətlidirlər.