MOCVD qrafit qabı nədir?

Vafli epitaksial artım metal üzvi kimyəvi buxar çökmə (MOCVD) texnologiyası vasitəsilə əldə edilir, burada ultra təmiz qazlar reaktora vurulur və incə ölçülür, beləliklə, onlar yüksək temperaturda birləşərək kimyəvi qarşılıqlı təsirlərə səbəb olur və materialların və mürəkkəb yarımkeçiricilərin epitaksisini yaratmaq üçün çox nazik atom təbəqələrində yarımkeçirici vaflilərə yerləşdirilir.

CVD avadanlıqlarında substrat birbaşa metalın üzərinə və ya sadəcə epitaksial çökmə üçün bazaya yerləşdirilə bilməz, çünki ona bir çox amillər təsir edəcəkdir. Buna görə də, substratı saxlamaq üçün bir susseptor və ya qab lazımdır və sonra substratda epitaksial çökmə həyata keçirmək üçün CVD texnologiyasından istifadə edin. Bu həssas aMOCVD qrafit qəbuledicisi(həmçinin deyilirMOCVD qrafit qabı).

Onun strukturu aşağıdakı şəkildə göstərilmişdir:

Niyə qrafit həssaslığına CVD örtüyü lazımdır?

Qrafit qəbuledicisi MOCVD avadanlığının əsas komponentlərindən biridir. Substratın daşıyıcısı və qızdırıcı elementidir. Onun istilik sabitliyi və istilik vahidliyi kimi performans parametrləri epitaksial materialın böyüməsinin keyfiyyətində həlledici rol oynayır və epitaksial nazik təbəqə materiallarının vahidliyini və saflığını birbaşa müəyyənləşdirir. Buna görə də onun keyfiyyəti epitaksial vaflilərin hazırlanmasına birbaşa təsir göstərir. Eyni zamanda, istifadə sayının artması və iş şəraitinin dəyişməsi ilə geymək və yırtmaq çox asandır, istehlak materialıdır. Qrafitin əla istilik keçiriciliyi və sabitliyi ona MOCVD avadanlığının əsas komponenti kimi böyük üstünlük verir.

Ancaq yalnız təmiz qrafitdirsə, bəzi problemlər yaranacaq. İstehsal prosesində qalıq aşındırıcı qazlar və metal üzvi maddələr qalacaq və qrafit qəbuledicisi korroziyaya uğrayacaq və yıxılacaq ki, bu da qrafit qəbuledicisinin xidmət müddətini xeyli azaldır. Eyni zamanda, düşən qrafit tozu da vaflinin çirklənməsinə səbəb olacaq, buna görə də bazanın hazırlanması prosesində bu problemləri həll etmək lazımdır. Kaplama texnologiyası səth tozunun fiksasiyasını təmin edə, istilik keçiriciliyini artıra və istilik paylanması balansını təmin edə bilər və bu problemi həll etmək üçün əsas texnologiyaya çevrilmişdir.

Tətbiq mühitinə və qrafit əsasının istifadə tələblərinə uyğun olaraq, səth örtüyü aşağıdakı xüsusiyyətlərə malik olmalıdır:

1. Yüksək sıxlıq və tam əhatə:Qrafit bazası yüksək temperatur və aşındırıcı iş mühitindədir. Səth tamamilə örtülməlidir və örtük yaxşı qoruyucu rol oynamaq üçün yaxşı sıxlığa malik olmalıdır.

2. Yaxşı səth hamarlığı:Monkristal böyüməsi üçün istifadə edilən qrafit əsası çox yüksək səth düzlüyünü tələb etdiyindən, örtük hazırlandıqdan sonra əsasın orijinal hamarlığı qorunmalıdır, yəni örtük səthi vahid olmalıdır.

3. Yaxşı yapışma gücü:Qrafit bazası və örtük materialı arasındakı istilik genişlənmə əmsalındakı fərqin azaldılması ikisi arasında bağlanma gücünü effektiv şəkildə yaxşılaşdıra bilər. Yüksək və aşağı temperaturlu termal dövrləri yaşadıqdan sonra, örtüyü çatlamaq asan deyil.

4. Yüksək istilik keçiriciliyi:Yüksək keyfiyyətli çip böyüməsi sürətli və vahid istilik təmin etmək üçün qrafit bazasını tələb edir, buna görə örtük materialı yüksək istilik keçiriciliyinə malik olmalıdır.

5. Yüksək ərimə nöqtəsi, yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti və korroziyaya davamlılıq:Kaplama yüksək temperaturda və aşındırıcı iş mühitində sabit işləyə bilməlidir.

İstilik sabitliyi, istilik vahidliyi və digər performans parametrləriSiC ilə örtülmüş qrafit qəbuledicisiepitaksial materialın böyüməsinin keyfiyyətində həlledici rol oynayır, buna görə də MOCVD avadanlıqlarının əsas əsas komponentidir.

Kaplama olaraq β-SiC (3C-SiC) kristal forması seçilir. Digər kristal formaları ilə müqayisədə, bu kristal forma yaxşı termodinamik sabitlik, oksidləşmə müqaviməti və korroziyaya davamlılıq kimi bir sıra əla xüsusiyyətlərə malikdir. Eyni zamanda, o, əsasən qrafitlə uyğun gələn istilik keçiriciliyinə malikdir və beləliklə, qrafit bazasına xüsusi xüsusiyyətlər verir. Xidmət zamanı yüksək temperaturda oksidləşmə və korroziya və toz itkisi nəticəsində yaranan qrafit əsasının nasazlığını effektiv şəkildə həll edə bilər və qrafit əsasının səthini sıx, məsaməli olmayan, yüksək temperatura davamlı, korroziyaya qarşı, oksidləşməyə qarşı və digər xüsusiyyətləri düzəldə bilər, bununla da kristal epitaksial keyfiyyətini və xidmət müddətini yaxşılaşdıra bilər. sobalar).

Yüksək temperatura və korroziyaya davamlı MOCVD qrafit qabını/susseptorunu necə seçmək olar?

Seçərkən aMOCVD üçün qrafit nimçəsi və ya suseptoryüksək temperaturlu korroziyaya davamlıdır, aşağıdakı əsas amillər nəzərə alınmalıdır:

1. Materialın təmizliyi:Yüksək təmizlikli qrafit materialları yüksək temperaturda korroziyaya və oksidləşməyə daha yaxşı müqavimət göstərə bilər və çirklərin çökmə prosesinə təsirini azalda bilər.

2. Sıxlıq və məsaməlilik:Yüksək sıxlığa və aşağı məsaməliyə malik qrafit qablar daha yaxşı mexaniki gücə və korroziyaya davamlılığa malikdir və qazın nüfuz etməsinin və materialın aşınmasının qarşısını effektiv şəkildə ala bilir.

3. İstilik keçiriciliyi:Yüksək istilik keçiriciliyi olan qrafit qabı istiliyi bərabər paylamağa, istilik gərginliyini azaltmağa və avadanlığın dayanıqlığını və xidmət müddətini yaxşılaşdırmağa kömək edir.

4. Səthi müalicə:Örtmə və ya örtük kimi xüsusi səth müalicəsindən keçmiş qrafit altlıqlar korroziyaya davamlılığını və aşınma müqavimətini daha da artıra bilər.

5. Ölçü və forma:MOCVD avadanlığının xüsusi tələblərinə uyğun olaraq, tepsinin avadanlıqla uyğunluğunu və istismarın rahatlığını təmin etmək üçün müvafiq ölçü və formanı seçin.

6. İstehsalçının reputasiyası:Məhsulun keyfiyyətinin və satışdan sonrakı xidmətin etibarlılığını təmin etmək üçün yaxşı reputasiyaya və zəngin təcrübəyə malik istehsalçı seçin.

7. Xərc-effektivlik:Texniki tələblərə cavab vermək şərti ilə iqtisadi səmərəliliyi nəzərə alın və daha yüksək qiymət göstəricilərinə malik məhsullar seçin.

VET Energy yüksək təmizlikli qrafit həssas tədarükçüsüdür, biz geniş kateqoriyalar təklif edirik və müxtəlif markaların, modellərin və spesifikasiyaların MOCVD avadanlıqlarında istifadə edilə bilər. TheSiC ilə örtülmüş qrafit qəbuledicisiVET Energy tərəfindən istehsal olunan örtüklərin təmas nöqtələri və zəif əlaqələri yoxdur. Xidmət müddəti baxımından, onlar müxtəlif ehtiyacları olan müştərilərin tələblərinə cavab verə bilər (o cümlədən, xlor tərkibli atmosferlərdən istifadə) və müştərilərə məsləhətləşmələr və sorğular verilir.