He aha te paepae kauwhata MOCVD?

Ka puta te tipu o te wafer epitaxial na roto i te hangarau whakarewa matū kohu matū (MOCVD) hangarau, ka werohia nga hau tino parakore ki roto i te reactor me te mita pai, kia whakakotahi ki te teitei o te pāmahana kia puta ai te taunekeneke matū ka tukuna ki runga i nga angiangi semiconductor i roto i nga papa ngota angiangi rawa hei hanga epitaxy o nga rawa me nga semiconductors.

I roto i nga taputapu CVD, kaore e taea te whakanoho tika i te taputapu i runga i te whakarewa, i runga noa ranei i te turanga mo te whakahekenga epitaxial, na te mea ka pangia e te maha o nga mea. No reira, ka hiahiatia he kaitapa, he paepae ranei hei pupuri i te taputapu, katahi ka whakamahi i te hangarau CVD hei mahi i te waipara epitaxial ki runga i te taputapu. Ko tenei kaitautoko he aMOCVD graphite susceptor(ka karanga hokiPaepae kauwhata MOCVD).

Ko tona hanganga e whakaatuhia ana i te ahua i raro nei:

He aha te take me whakakikoruatia e te kaitapahi graphite te paninga CVD?

Ko te susceptor graphite tetahi o nga waahanga matua o nga taputapu MOCVD. Koia te kaikawe me te huānga whakawera o te tïpako. Ko ona tawhā mahi penei i te pumau o te waiariki me te taurite o te waiariki ka whai waahi nui ki te kounga o te tipu o nga rawa epitaxial, me te whakatau tika i te rite me te ma o nga rauemi kiriata angiangi epitaxial. Na reira, ko tona kounga ka pa tika ki te whakarite i nga angiangi epitaxial. I te wa ano, me te piki haere o te maha o nga whakamahinga me nga huringa o nga tikanga mahi, he tino ngawari ki te kakahu me te haehae, he mea pau. Ko te pai o te waiariki me te pumau o te kauwhata he painga nui hei waahanga turanga mo nga taputapu MOCVD.

Heoi, ki te mea he kauwhata parakore anake, ka puta etahi raru. I roto i te tukanga whakaputa, ka waiho nga hau hau kino me nga mea pararopi whakarewa, a ka pirau te graphite susceptor ka taka atu, ka tino whakaiti i te oranga o te graphite susceptor. I te wa ano, ko te paura kauwhata e hinga ana ka paopao ki te angiangi, no reira me whakatika enei raruraru i roto i te whakaritenga o te turanga. Ka taea e te hangarau whakakikorua te whakarite i te paura o te mata, te whakarei ake i te kawe werawera, me te toenga o te tohatoha wera, a kua noho hei hangarau matua hei whakaoti i tenei raru.

E ai ki te taiao tono me te whakamahi i nga whakaritenga o te turanga kauwhata, me whai i nga ahuatanga e whai ake nei te paninga mata:

1. Kiato teitei me te kapi katoa:Ko te turanga kauwhata kei roto i te pāmahana teitei me te taiao mahi kino. Me tino hipoki te mata, me te paninga kia pai te kiato kia pai ai te mahi tiaki.

2. Papatahi mata pai:I te mea ko te turanga graphite e whakamahia ana mo te tipu o te karaihe kotahi e hiahia ana kia tino teitei te papa o te mata, me mau tonu te papatahi taketake o te turanga i muri i te whakarite o te paninga, ara, me rite te mata o te paninga.

3. Te kaha hononga pai:Ko te whakaheke i te rereketanga o te whakareatanga whakareatanga wera i waenga i te turanga kauwhata me te papanga paninga ka taea te whakapai ake i te kaha hononga i waenga i nga mea e rua. Whai muri i te wheako i nga huringa waiariki teitei me te iti, kaore i te ngawari te pakaru o te paninga.

4. Te kawe werawera teitei:Ko te tipu maramara-kounga teitei e hiahia ana te turanga kauwhata ki te whakarato i te wera tere me te riterite, no reira me nui te kawe wera o te papanga paninga.

5. Ira whakarewa teitei, teitei te wera o te waikura me te waikura:Ko te paninga kia kaha ki te mahi i roto i te pāmahana teitei me te taiao mahi kino.

Ko te pumau o te waiariki, te riterite o te waiariki me etahi atu tawhā mahi o teSiC paninga graphite susceptorka whai waahi nui ki te kounga o te tipu o nga rawa epitaxial, na reira ko te waahanga matua o nga taputapu MOCVD.

Ko te ahua tioata β-SiC (3C-SiC) ka tohua hei paninga. Ka whakatauritea ki etahi atu momo karaihe, he raupapa o nga ahuatanga pai o tenei ahua tioata penei i te pai o te whakamaaramatanga o te werawera, te aukati waikura me te aukati waikura. I te wa ano, he whakamaarama waiariki e tino rite ana ki tera o te kauwhata, na reira ka whai waahi motuhake te turanga kauwhata. Ka taea e ia te whakaoti i te koretake o te turanga kauwhata i puta mai i te waikura teitei me te pirau me te paura paura i te wa e mahi ana, me te hanga i te mata o te turanga kauwhata kia matotoru, kore-porous, teitei-te wera, anti-corrosion, anti-oxidation me etahi atu ahuatanga, na reira ka pai ake te kounga o te epitaxial karaihe me te oranga ratonga o te turanga graphite ine i te SiC oumu).

Me pehea te kowhiri i te paepae graphite MOCVD/susceptor e atete ana ki te pāmahana teitei me te waikura?

I te wa e whiriwhiri ana apaepae graphite ranei susceptor mo MOCVDhe ātete ki te waikura wera nui, me whai whakaaro nga mea matua e whai ake nei:

1. Pure rawa:Ka taea e nga rauemi kauwhata parakore teitei ake te aukati i te waikura me te waikura i te teitei o te pāmahana me te whakaiti i te paanga o nga poke i runga i te tukunga.

2. Kiato me te porosity:He pai ake te kaha o te miihini me te parenga waikura o nga papa kawhata he nui te kiato me te porosity iti, ka taea te aukati i te kuhu hau me te horo rawa.

3. Waahanga kawe:Ko te paepae kauwhata waiariki teitei e awhina ana ki te tohatoha i te wera, te whakaheke i te ahotea waiariki, me te whakapai ake i te pumau me te oranga o nga taputapu.

4. Te maimoatanga mata:Ka taea e nga palleti graphite kua whai maimoatanga mata motuhake, penei i te whakakikorua, i te whakakikorua ranei, ka taea te whakanui ake i o raatau parenga waikura me te mau kakahu.

5. Rahi me te hanga:E ai ki nga whakaritenga motuhake o nga taputapu MOCVD, tohua te rahi me te ahua e tika ana hei whakarite i te hototahi o te paepae me nga taputapu me te waatea o te mahi.

6. Te ingoa o te Kaihanga:Kōwhiria he kaihanga whai ingoa pai me te whai wheako nui hei whakarite i te pono o te kounga o te hua me te ratonga muri-hoko.

7. Utu-whai hua:I runga i te kaupapa o te whakatutuki i nga whakaritenga hangarau, whakaarohia te whai huatanga o te utu me te whiriwhiri i nga hua he nui ake te utu.

Ko te VET Energy he kaiwhakarato graphite susceptor teitei, he maha nga waahanga ka tukuna e matou, ka taea te whakamahi i nga taputapu MOCVD o nga momo momo, tauira me nga whakaritenga. Ko teSiC paninga graphite susceptori hangaia e te VET Energy karekau he waahi whakapiri whakakikorua me te kore hononga ngoikore. Mo te oranga o te ratonga, ka taea e raatau te whakatutuki i nga whakaritenga a nga kaihoko me nga hiahia rereke (tae atu ki te whakamahi i nga hau e mau ana ki te maota), ka pai nga kaihoko ki te korero me te uiui.