वेफर एपिटैक्सियल वृद्धि मेटल ऑर्गेनिक केमिकल वेपर डिपोजिशन (एमओसीवीडी) तकनीक के माध्यम से प्राप्त की जाती है, जिसमें अति-शुद्ध गैसों को रिएक्टर में इंजेक्ट किया जाता है और बारीक रूप से मापा जाता है, ताकि वे उच्च तापमान पर मिलकर रासायनिक प्रतिक्रियाएं उत्पन्न करें और अर्धचालक वेफर्स पर बहुत पतली परमाणु परतों में जमा होकर सामग्रियों और यौगिक अर्धचालकों का एपिटैक्सी बनाएं।
सीवीडी उपकरण में, सब्सट्रेट को सीधे धातु पर या केवल एपिटैक्सियल डिपोजिशन के लिए किसी आधार पर नहीं रखा जा सकता है, क्योंकि यह कई कारकों से प्रभावित होगा। इसलिए, सब्सट्रेट को पकड़ने के लिए एक ससेप्टर या ट्रे की आवश्यकता होती है, और फिर सब्सट्रेट पर एपिटैक्सियल डिपोजिशन करने के लिए सीवीडी तकनीक का उपयोग किया जाता है। यह ससेप्टर एकएमओसीवीडी ग्रेफाइट ससेप्टर(जिसे भी कहा जाता है)एमओसीवीडी ग्रेफाइट ट्रे).
इसकी संरचना नीचे दिए गए चित्र में दिखाई गई है:
ग्रेफाइट ससेप्टर को सीवीडी कोटिंग की आवश्यकता क्यों होती है?
ग्रेफाइट ससेप्टर, MOCVD उपकरण का एक प्रमुख घटक है। यह सबस्ट्रेट का वाहक और ताप तत्व है। इसकी तापीय स्थिरता और तापीय एकरूपता जैसे प्रदर्शन पैरामीटर, एपिटैक्सियल सामग्री के विकास की गुणवत्ता में निर्णायक भूमिका निभाते हैं और एपिटैक्सियल पतली फिल्म सामग्री की एकरूपता और शुद्धता को सीधे निर्धारित करते हैं। इसलिए, इसकी गुणवत्ता एपिटैक्सियल वेफर्स के निर्माण को सीधे प्रभावित करती है। साथ ही, उपयोग की संख्या में वृद्धि और कार्य परिस्थितियों में बदलाव के कारण, यह आसानी से घिस जाता है और टूट जाता है, यह एक उपभोज्य पदार्थ है। ग्रेफाइट की उत्कृष्ट तापीय चालकता और स्थिरता इसे MOCVD उपकरण के आधार घटक के रूप में एक बड़ा लाभ प्रदान करती है।
हालांकि, अगर यह केवल शुद्ध ग्रेफाइट है, तो कुछ समस्याएं होंगी। उत्पादन प्रक्रिया में, अवशिष्ट संक्षारक गैसें और धातु कार्बनिक पदार्थ मौजूद होंगे, और ग्रेफाइट की परत में जंग लगकर वह झड़ जाएगी, जिससे ग्रेफाइट की परत का जीवनकाल काफी कम हो जाएगा। साथ ही, झड़ता हुआ ग्रेफाइट पाउडर वेफर को भी प्रदूषित करेगा, इसलिए आधार तैयार करने की प्रक्रिया में इन समस्याओं का समाधान करना आवश्यक है। कोटिंग तकनीक सतह पर पाउडर को स्थिर कर सकती है, तापीय चालकता बढ़ा सकती है और ऊष्मा वितरण को संतुलित कर सकती है, और इस समस्या के समाधान के लिए यह एक प्रमुख तकनीक बन गई है।
ग्रेफाइट बेस के अनुप्रयोग वातावरण और उपयोग आवश्यकताओं के अनुसार, सतह कोटिंग में निम्नलिखित विशेषताएं होनी चाहिए:
1. उच्च घनत्व और पूर्ण कवरेज:ग्रेफाइट बेस उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में काम करता है। सतह को पूरी तरह से ढका होना चाहिए, और सुरक्षात्मक भूमिका निभाने के लिए कोटिंग का घनत्व अच्छा होना चाहिए।
2. सतह की अच्छी समतलता:क्योंकि एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले ग्रेफाइट आधार के लिए बहुत उच्च सतह समतलता की आवश्यकता होती है, इसलिए कोटिंग तैयार होने के बाद आधार की मूल समतलता को बनाए रखना आवश्यक है, यानी कोटिंग की सतह एकसमान होनी चाहिए।
3. अच्छी बंधन क्षमता:ग्रेफाइट बेस और कोटिंग सामग्री के बीच तापीय विस्तार गुणांक के अंतर को कम करने से दोनों के बीच बंधन शक्ति में प्रभावी रूप से सुधार हो सकता है। उच्च और निम्न तापमान तापीय चक्रों से गुजरने के बाद भी, कोटिंग में दरार पड़ने की संभावना कम होती है।
4. उच्च तापीय चालकता:उच्च गुणवत्ता वाले चिप के विकास के लिए ग्रेफाइट बेस को तीव्र और एकसमान ऊष्मा प्रदान करने की आवश्यकता होती है, इसलिए कोटिंग सामग्री में उच्च तापीय चालकता होनी चाहिए।
5. उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध:यह कोटिंग उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में स्थिर रूप से काम करने में सक्षम होनी चाहिए।
तापीय स्थिरता, तापीय एकरूपता और अन्य प्रदर्शन मापदंडों कीSiC लेपित ग्रेफाइट संवेदकएपिटैक्सियल सामग्री के विकास की गुणवत्ता में यह निर्णायक भूमिका निभाता है, इसलिए यह एमओसीवीडी उपकरण का मुख्य घटक है।
कोटिंग के लिए β-SiC (3C-SiC) क्रिस्टल रूप का चयन किया गया है। अन्य क्रिस्टल रूपों की तुलना में, इस क्रिस्टल रूप में उत्कृष्ट गुण हैं जैसे कि अच्छी ऊष्मीय स्थिरता, ऑक्सीकरण प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध। साथ ही, इसकी ऊष्मीय चालकता ग्रेफाइट के लगभग समान है, जिससे ग्रेफाइट बेस को विशेष गुण प्राप्त होते हैं। यह उच्च तापमान ऑक्सीकरण और संक्षारण तथा उपयोग के दौरान पाउडर के नुकसान के कारण ग्रेफाइट बेस की खराबी को प्रभावी ढंग से दूर करता है, और ग्रेफाइट बेस की सतह को सघन, गैर-छिद्रपूर्ण, उच्च तापमान प्रतिरोधी, संक्षारण-रोधी और ऑक्सीकरण-रोधी बनाता है, जिससे क्रिस्टलीय गुणवत्ता और ग्रेफाइट बेस का सेवा जीवन बेहतर होता है (SiC लेपित ग्रेफाइट बेस का सेवा जीवन भट्टियों में मापा जाता है)।
उच्च तापमान और संक्षारण प्रतिरोधी एमओसीवीडी ग्रेफाइट ट्रे/ससेप्टर का चयन कैसे करें?
जब आप किसी चीज़ का चयन कर रहे होंMOCVD के लिए ग्रेफाइट ट्रे या ससेप्टरउच्च तापमान संक्षारण के प्रति प्रतिरोधी होने के लिए, निम्नलिखित प्रमुख कारकों पर विचार किया जाना चाहिए:
1. सामग्री की शुद्धता:उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट पदार्थ उच्च तापमान पर संक्षारण और ऑक्सीकरण का बेहतर प्रतिरोध कर सकते हैं और निक्षेपण प्रक्रिया पर अशुद्धियों के प्रभाव को कम कर सकते हैं।
2. घनत्व और सरंध्रता:उच्च घनत्व और कम छिद्रता वाली ग्रेफाइट ट्रे में बेहतर यांत्रिक शक्ति और संक्षारण प्रतिरोध होता है, और यह गैस के प्रवेश और सामग्री के क्षरण को प्रभावी ढंग से रोक सकती है।
3. ऊष्मीय चालकता:उच्च तापीय चालकता वाली ग्रेफाइट ट्रे गर्मी को समान रूप से वितरित करने, तापीय तनाव को कम करने और उपकरण की स्थिरता और सेवा जीवन को बेहतर बनाने में मदद करती है।
4. सतह उपचार:कोटिंग या प्लेटिंग जैसे विशेष सतह उपचार से गुजरे ग्रेफाइट पैलेट, उनकी जंग प्रतिरोधक क्षमता और घिसाव प्रतिरोधक क्षमता को और बढ़ा सकते हैं।
5. आकार और आकृति:एमओसीवीडी उपकरण की विशिष्ट आवश्यकताओं के अनुसार, ट्रे की उपकरण के साथ अनुकूलता और संचालन की सुविधा सुनिश्चित करने के लिए उपयुक्त आकार और आकृति का चयन करें।
6. निर्माता की प्रतिष्ठा:उत्पाद की गुणवत्ता और बिक्री के बाद की सेवा की विश्वसनीयता सुनिश्चित करने के लिए अच्छी प्रतिष्ठा और समृद्ध अनुभव वाले निर्माता का चयन करें।
7. लागत-प्रभावशीलता:तकनीकी आवश्यकताओं को पूरा करने के आधार पर, लागत-प्रभावशीलता पर विचार करें और उच्च लागत-प्रदर्शन वाले उत्पादों का चयन करें।
VET Energy उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट ससेप्टर का आपूर्तिकर्ता है। हम श्रेणियों की एक विस्तृत श्रृंखला प्रदान करते हैं, जिनका उपयोग विभिन्न ब्रांडों, मॉडलों और विशिष्टताओं के MOCVD उपकरणों में किया जा सकता है।SiC लेपित ग्रेफाइट संवेदकVET Energy द्वारा निर्मित उत्पादों में कोटिंग के कोई संपर्क बिंदु नहीं होते और कोई कमजोर कड़ी नहीं होती। सेवा जीवन के मामले में, ये विभिन्न आवश्यकताओं वाले ग्राहकों (क्लोरीन युक्त वातावरण में उपयोग सहित) की आवश्यकताओं को पूरा कर सकते हैं, और ग्राहक परामर्श और पूछताछ के लिए संपर्क कर सकते हैं।
पोस्ट करने का समय: 01 मार्च 2025