Ի՞նչ է MOCVD գրաֆիտային սկուտեղը։

Վաֆլերի էպիտաքսիալ աճը իրականացվում է մետաղական օրգանական քիմիական գոլորշիների նստեցման (MOCVD) տեխնոլոգիայի միջոցով, որի դեպքում գերմաքուր գազերը ներարկվում են ռեակտորի մեջ և մանր չափաբաժիններով չափվում, որպեսզի դրանք բարձր ջերմաստիճաններում միանան՝ առաջացնելով քիմիական փոխազդեցություններ և շատ բարակ ատոմային շերտերով նստեցվեն կիսահաղորդչային վաֆլերի վրա՝ առաջացնելով նյութերի և բարդ կիսահաղորդիչների էպիտաքսիալ շերտավորում։

CVD սարքավորումներում հիմքը չի կարող տեղադրվել անմիջապես մետաղի կամ պարզապես հիմքի վրա՝ էպիտաքսիալ նստեցման համար, քանի որ այն կախված կլինի բազմաթիվ գործոններից: Հետևաբար, հիմքը պահելու համար անհրաժեշտ է սուսեպտոր կամ սկուտեղ, ապա CVD տեխնոլոգիան օգտագործվում է հիմքի վրա էպիտաքսիալ նստեցում կատարելու համար: Այս սուսեպտորը...MOCVD գրաֆիտային ընկալիչ(նաև կոչվում էMOCVD գրաֆիտային սկուտեղ).

Դրա կառուցվածքը ներկայացված է ստորև բերված նկարում.

Ինչո՞ւ է գրաֆիտային ընկալիչը կարիք ունենում CVD ծածկույթի։

Գրաֆիտային սուսեպտորը MOCVD սարքավորումների հիմնական բաղադրիչներից մեկն է: Այն հիմքի կրողն ու տաքացնող տարրն է: Դրա աշխատանքային պարամետրերը, ինչպիսիք են ջերմային կայունությունը և ջերմային միատարրությունը, որոշիչ դեր են խաղում էպիտաքսիալ նյութի աճի որակի մեջ և ուղղակիորեն որոշում են էպիտաքսիալ բարակ թաղանթային նյութերի միատարրությունն ու մաքրությունը: Հետևաբար, դրա որակը անմիջականորեն ազդում է էպիտաքսիալ վաֆլիների պատրաստման վրա: Միևնույն ժամանակ, օգտագործման թվի աճի և աշխատանքային պայմանների փոփոխությունների հետ մեկտեղ, այն շատ հեշտ է մաշվում և պատռվում, այն սպառվող նյութ է: Գրաֆիտի գերազանց ջերմահաղորդականությունը և կայունությունը նրան մեծ առավելություն են տալիս որպես MOCVD սարքավորումների հիմնական բաղադրիչ:

Սակայն, եթե դա միայն մաքուր գրաֆիտ է, կլինեն որոշ խնդիրներ: Արտադրության գործընթացում կմնան մնացորդային կոռոզիոն գազեր և մետաղական օրգանական նյութեր, և գրաֆիտային ընկալիչը կկոռոզացվի և կընկնի, ինչը զգալիորեն կնվազեցնի գրաֆիտային ընկալիչի ծառայության ժամկետը: Միևնույն ժամանակ, ընկնող գրաֆիտային փոշին նաև կաղտոտի վաֆլին, ուստի այս խնդիրները պետք է լուծվեն հիմքի պատրաստման գործընթացում: Ծածկույթի տեխնոլոգիան կարող է ապահովել մակերեսային փոշու ամրացում, բարձրացնել ջերմահաղորդականությունը և հավասարակշռել ջերմության բաշխումը, և դարձել է այս խնդիրը լուծելու հիմնական տեխնոլոգիան:

Գրաֆիտային հիմքի կիրառման միջավայրի և օգտագործման պահանջների համաձայն, մակերեսային ծածկույթը պետք է ունենա հետևյալ բնութագրերը.

1. Բարձր խտություն և լիարժեք ծածկույթ։Գրաֆիտային հիմքը գտնվում է բարձր ջերմաստիճանի և քայքայիչ աշխատանքային միջավայրում: Մակերեսը պետք է ամբողջությամբ ծածկված լինի, և ծածկույթը պետք է ունենա լավ խտություն՝ լավ պաշտպանիչ դեր խաղալու համար:

2. Լավ մակերեսային հարթություն։Քանի որ միաբյուրեղի աճեցման համար օգտագործվող գրաֆիտային հիմքը պահանջում է շատ բարձր մակերեսային հարթություն, հիմքի սկզբնական հարթությունը պետք է պահպանվի ծածկույթի պատրաստումից հետո, այսինքն՝ ծածկույթի մակերեսը պետք է լինի միատարր։

3. Լավ կապակցման ամրություն.Գրաֆիտային հիմքի և ծածկույթի նյութի միջև ջերմային ընդարձակման գործակցի տարբերության նվազեցումը կարող է արդյունավետորեն բարելավել երկուսի միջև կապման ամրությունը: Բարձր և ցածր ջերմաստիճանների ջերմային ցիկլերի ենթարկվելուց հետո ծածկույթը հեշտությամբ չի ճաքում:

4. Բարձր ջերմահաղորդականություն։Բարձրորակ չիպի աճը պահանջում է գրաֆիտային հիմք՝ արագ և միատարր ջերմություն ապահովելու համար, ուստի ծածկույթի նյութը պետք է ունենա բարձր ջերմահաղորդականություն։

5. Բարձր հալման կետ, բարձր ջերմաստիճանի օքսիդացման դիմադրություն և կոռոզիոն դիմադրություն.Ծածկույթը պետք է կարողանա կայուն աշխատել բարձր ջերմաստիճանի և քայքայիչ աշխատանքային միջավայրում:

Ջերմային կայունությունը, ջերմային միատարրությունը և այլ աշխատանքային պարամետրերըSiC պատված գրաֆիտային ընկալիչորոշիչ դեր է խաղում էպիտաքսիալ նյութի աճի որակի մեջ, ուստի այն MOCVD սարքավորումների հիմնական բաղադրիչն է։

Որպես ծածկույթ ընտրվում է β-SiC (3C-SiC) բյուրեղային ձևը: Այլ բյուրեղային ձևերի համեմատ, այս բյուրեղային ձևն ունի մի շարք գերազանց հատկություններ, ինչպիսիք են լավ թերմոդինամիկ կայունությունը, օքսիդացման դիմադրությունը և կոռոզիայի դիմադրությունը: Միևնույն ժամանակ, այն ունի ջերմահաղորդականություն, որը հիմնականում համապատասխանում է գրաֆիտին, այդպիսով գրաֆիտային հիմքին հաղորդելով հատուկ հատկություններ: Այն կարող է արդյունավետորեն լուծել բարձր ջերմաստիճանային օքսիդացման և կոռոզիայի, ինչպես նաև փոշու կորստի հետևանքով գրաֆիտային հիմքի խափանումը շահագործման ընթացքում, և գրաֆիտային հիմքի մակերեսը դարձնել խիտ, ոչ ծակոտկեն, բարձր ջերմաստիճանային դիմացկուն, հակակոռոզիոն, հակաօքսիդացնող և այլ բնութագրեր, դրանով իսկ բարելավելով բյուրեղային էպիտաքսիալ որակը և գրաֆիտային հիմքի ծառայության ժամկետը (SiC ծածկույթով գրաֆիտային հիմքի ծառայության ժամկետը չափվում է վառարաններում):

Ինչպե՞ս ընտրել MOCVD գրաֆիտային սկուտեղ/ընկալիչ, որը դիմացկուն է բարձր ջերմաստիճանին և կոռոզիային:

Ընտրելիսգրաֆիտի սկուտեղ կամ ընկալիչ MOCVD-ի համարԲարձր ջերմաստիճանային կոռոզիային դիմացկուն լինելու դեպքում պետք է հաշվի առնել հետևյալ հիմնական գործոնները.

1. Նյութի մաքրությունը.Բարձր մաքրության գրաֆիտային նյութերը կարող են ավելի լավ դիմակայել կոռոզիային և օքսիդացմանը բարձր ջերմաստիճաններում և նվազեցնել խառնուրդների ազդեցությունը նստեցման գործընթացի վրա։

2. Խտություն և ծակոտկենություն։Բարձր խտությամբ և ցածր ծակոտկենությամբ գրաֆիտային սկուտեղներն ունեն ավելի լավ մեխանիկական ամրություն և կոռոզիոն դիմադրություն, և կարող են արդյունավետորեն կանխել գազի ներթափանցումը և նյութի էրոզիան։

3. Ջերմահաղորդականություն։Բարձր ջերմահաղորդականությամբ գրաֆիտային սկուտեղը նպաստում է ջերմության հավասարաչափ բաշխմանը, ջերմային լարվածության նվազեցմանը և սարքավորումների կայունության ու ծառայության ժամկետի բարելավմանը։

4. Մակերեսային մշակում:Գրաֆիտային պալետները, որոնք ենթարկվել են հատուկ մակերեսային մշակման, ինչպիսիք են ծածկույթը կամ ծածկույթը, կարող են էլ ավելի բարձրացնել դրանց կոռոզիոն դիմադրությունը և մաշվածության դիմադրությունը:

5. Չափը և ձևը.MOCVD սարքավորումների կոնկրետ պահանջներին համապատասխան, ընտրեք համապատասխան չափը և ձևը՝ սկուտեղի համատեղելիությունը սարքավորումների հետ և շահագործման հարմարավետությունն ապահովելու համար։

6. Արտադրողի հեղինակությունը.Ընտրեք լավ համբավ և հարուստ փորձ ունեցող արտադրող՝ արտադրանքի որակի և վաճառքից հետո սպասարկման հուսալիությունն ապահովելու համար։

7. Ծախսարդյունավետություն.Տեխնիկական պահանջները բավարարելու նախադրյալի հիման վրա հաշվի առեք ծախսարդյունավետությունը և ընտրեք ավելի բարձր ծախսարդյունավետությամբ ապրանքներ։

VET Energy-ն բարձր մաքրության գրաֆիտային ընկալիչների մատակարար է, մենք առաջարկում ենք կատեգորիաների լայն տեսականի և կարող ենք օգտագործել տարբեր ապրանքանիշերի, մոդելների և բնութագրերի MOCVD սարքավորումներում:SiC պատված գրաֆիտային ընկալիչVET Energy-ի կողմից արտադրված արտադրանքը չունի ծածկույթի շփման կետեր և թույլ օղակներ: Ծառայության ժամկետի առումով դրանք կարող են բավարարել տարբեր կարիքներ ունեցող հաճախորդների պահանջները (ներառյալ քլոր պարունակող մթնոլորտների օգտագործումը), և հաճախորդները կարող են խորհրդատվություն և հարցումներ ստանալ: