Pertumbuhan epitaksial wafer digayuh liwat teknologi deposisi uap kimia organik logam (MOCVD), ing ngendi gas ultra-murni diinjeksi menyang reaktor lan diukur kanthi alus, saengga gabung ing suhu sing dhuwur kanggo nyebabake interaksi kimia lan diendapkan ing wafer semikonduktor ing lapisan atom sing tipis banget kanggo mbentuk epitaksi bahan lan semikonduktor senyawa.
Ing peralatan CVD, substrat ora bisa diselehake langsung ing logam utawa mung ing dhasar kanggo deposisi epitaksial, amarga bakal kena pengaruh saka akeh faktor. Mulane, susceptor utawa tray dibutuhake kanggo nyekeli substrat, banjur nggunakake teknologi CVD kanggo nindakake deposisi epitaksial ing substrat. Susceptor iki minangkaSuseptor grafit MOCVD(uga diaraniBaki grafit MOCVD).
Strukturé dituduhake ing gambar ing ngisor iki:
Yèn susceptor grafit butuh lapisan CVD, kenapa ya?
Susceptor grafit minangka salah sawijining komponen inti ing peralatan MOCVD. Iki minangka elemen pembawa lan pemanas substrat. Parameter kinerjane kayata stabilitas termal lan keseragaman termal nduweni peran penting ing kualitas pertumbuhan bahan epitaksial, lan langsung nemtokake keseragaman lan kemurnian bahan film tipis epitaksial. Mulane, kualitase langsung mengaruhi persiapan wafer epitaksial. Ing wektu sing padha, kanthi tambah akeh panggunaan lan owah-owahan ing kondisi kerja, gampang banget rusak, lan bisa dikonsumsi. Konduktivitas termal lan stabilitas grafit sing apik banget menehi kauntungan gedhe minangka komponen dhasar peralatan MOCVD.
Nanging, yen mung grafit murni, bakal ana sawetara masalah. Ing proses produksi, bakal ana gas korosif sisa lan bahan organik logam, lan susceptor grafit bakal korosi lan tiba, sing nyuda umur layanan susceptor grafit. Ing wektu sing padha, bubuk grafit sing tiba uga bakal nyebabake polusi ing wafer, mula masalah kasebut kudu dirampungake ing proses persiapan basis. Teknologi pelapisan bisa nyedhiyakake fiksasi bubuk permukaan, ningkatake konduktivitas termal, lan nyeimbangake distribusi panas, lan wis dadi teknologi utama kanggo ngatasi masalah iki.
Miturut lingkungan aplikasi lan syarat panggunaan basis grafit, lapisan permukaan kudu duwe karakteristik ing ngisor iki:
1. Kapadhetan dhuwur lan jangkoan lengkap:Basis grafit ana ing lingkungan kerja suhu dhuwur lan korosif. Permukaan kudu ditutupi kanthi lengkap, lan lapisan kudu duwe kapadhetan sing apik kanggo nduweni peran protèktif sing apik.
2. Kerataan permukaan sing apik:Amarga basis grafit sing digunakake kanggo pertumbuhan kristal tunggal mbutuhake kerataan permukaan sing dhuwur banget, kerataan asli basis kudu dijaga sawise lapisan disiapake, yaiku, permukaan lapisan kudu seragam.
3. Kekuwatan ikatan sing apik:Ngurangi bedane koefisien ekspansi termal antarane basis grafit lan bahan pelapis bisa ningkatake kekuatan ikatan antarane loro kasebut kanthi efektif. Sawise ngalami siklus termal suhu dhuwur lan endhek, lapisan kasebut ora gampang retak.
4. Konduktivitas termal sing dhuwur:Pertumbuhan chip sing berkualitas tinggi mbutuhake basis grafit kanggo nyedhiyakake panas sing cepet lan seragam, mula bahan pelapis kudu duwe konduktivitas termal sing dhuwur.
5. Titik leleh dhuwur, tahan oksidasi suhu dhuwur lan tahan korosi:Lapisan kasebut kudu bisa digunakake kanthi stabil ing suhu dhuwur lan lingkungan kerja korosif.
Stabilitas termal, keseragaman termal, lan parameter kinerja liyane sakaSusceptor grafit dilapisi SiCnduweni peran penting ing kualitas pertumbuhan materi epitaksial, saengga minangka komponen kunci inti peralatan MOCVD.
Wangun kristal β-SiC (3C-SiC) dipilih minangka lapisan. Dibandhingake karo wujud kristal liyane, wujud kristal iki nduweni seri sifat sing apik banget kayata stabilitas termodinamika sing apik, tahan oksidasi lan tahan korosi. Ing wektu sing padha, nduweni konduktivitas termal sing konsisten karo grafit, saengga menehi sifat khusus kanggo basis grafit. Iki bisa kanthi efektif ngatasi kegagalan basis grafit sing disebabake dening oksidasi suhu dhuwur lan korosi lan ilang bubuk sajrone layanan, lan nggawe permukaan basis grafit padhet, ora keropos, tahan suhu dhuwur, anti korosi, anti oksidasi lan karakteristik liyane, saengga ningkatake kualitas epitaksial kristal lan umur layanan basis grafit (umur layanan basis grafit sing dilapisi SiC diukur ing tungku).
Kepriye carane milih tray/susceptor grafit MOCVD sing tahan suhu dhuwur lan korosi?
Nalika milihtray grafit utawa susceptor kanggo MOCVDsing tahan korosi suhu dhuwur, faktor kunci ing ngisor iki kudu digatekake:
1. Kamurnian materi:Bahan grafit kanthi kemurnian dhuwur bisa luwih tahan korosi lan oksidasi ing suhu dhuwur lan nyuda dampak saka rereged ing proses pengendapan.
2. Kapadhetan lan porositas:Baki grafit kanthi kapadhetan dhuwur lan porositas rendah nduweni kekuatan mekanik lan tahan korosi sing luwih apik, lan bisa kanthi efektif nyegah penetrasi gas lan erosi materi.
3. Konduktivitas termal:Baki grafit kanthi konduktivitas termal sing dhuwur mbantu nyebarake panas kanthi rata, nyuda stres termal, lan ningkatake stabilitas lan umur layanan peralatan.
4. Perawatan permukaan:Palet grafit sing wis ngalami perawatan permukaan khusus, kayata pelapisan utawa plating, bisa luwih ningkatake ketahanan korosi lan ketahanan aus.
5. Ukuran lan wujud:Miturut syarat khusus peralatan MOCVD, pilih ukuran lan bentuk sing cocog kanggo njamin kompatibilitas tray karo peralatan lan kenyamanan operasi.
6. Reputasi pabrikan:Pilih produsen kanthi reputasi apik lan pengalaman sing sugih kanggo njamin linuwih kualitas produk lan layanan purna jual.
7. Efektivitas biaya:Kanthi premis kanggo nyukupi syarat teknis, nimbang efektifitas biaya lan pilih produk kanthi kinerja biaya sing luwih dhuwur.
VET Energy minangka supplier susceptor grafit kemurnian tinggi, kita nawakake macem-macem kategori, lan bisa digunakake ing peralatan MOCVD saka macem-macem merek, model, lan spesifikasi.Susceptor grafit dilapisi SiCdiprodhuksi dening VET Energy ora duwe titik kontak lapisan lan ora ana sambungan sing ringkih. Babagan umur layanan, bisa nyukupi kabutuhan pelanggan kanthi macem-macem kabutuhan (kalebu panggunaan atmosfer sing ngemot klorin), lan pelanggan olèh konsultasi lan pitakon.
Wektu kiriman: 01-Mar-2025