ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ wafer epitaxial ແມ່ນບັນລຸໄດ້ໂດຍຜ່ານເຕັກໂນໂລຊີການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີອິນຊີໂລຫະ (MOCVD), ເຊິ່ງທາດອາຍຜິດ ultra-purure ໄດ້ຖືກສີດເຂົ້າໄປໃນເຕົາປະຕິກອນແລະວັດແທກລະອຽດ, ດັ່ງນັ້ນພວກມັນສົມທົບກັນໃນອຸນຫະພູມສູງເພື່ອເຮັດໃຫ້ເກີດປະຕິສໍາພັນທາງເຄມີແລະຖືກຝາກໃສ່ wafers semiconductor ໃນຊັ້ນປະລໍາມະນູທີ່ບາງໆເພື່ອປະກອບເປັນ semiconductor ແລະວັດສະດຸ.
ໃນອຸປະກອນ CVD, ຊັ້ນໃຕ້ດິນບໍ່ສາມາດຖືກວາງໂດຍກົງໃສ່ໂລຫະຫຼືພຽງແຕ່ຢູ່ເທິງຖານສໍາລັບການຊຶມເຊື້ອ epitaxial, ເພາະວ່າມັນຈະໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກຫຼາຍປັດໃຈ. ດັ່ງນັ້ນ, ເຄື່ອງດູດຫຼືຖາດແມ່ນຈໍາເປັນເພື່ອຖື substrate, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນນໍາໃຊ້ເທກໂນໂລຍີ CVD ເພື່ອປະຕິບັດການຊຶມເຊື້ອ epitaxial ໃນ substrate. suceptor ນີ້ແມ່ນ ກMOCVD graphite suceptor(ຍັງເອີ້ນວ່າຖາດກຣາຟ MOCVD).
ໂຄງສ້າງຂອງມັນແມ່ນສະແດງຢູ່ໃນຮູບຂ້າງລຸ່ມນີ້:
ເປັນຫຍັງເຄື່ອງດູດ graphite ຈຶ່ງຕ້ອງການການເຄືອບ CVD?
ເຄື່ອງດູດ graphite ແມ່ນຫນຶ່ງໃນອົງປະກອບຫຼັກໃນອຸປະກອນ MOCVD. ມັນເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການແລະອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນຂອງ substrate. ຕົວກໍານົດການປະສິດທິພາບຂອງຕົນເຊັ່ນ: ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນມີບົດບາດຕັດສິນໃນຄຸນນະພາບຂອງການຂະຫຍາຍຕົວອຸປະກອນການ epitaxial, ແລະໂດຍກົງກໍານົດຄວາມເປັນເອກະພາບແລະຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸຮູບເງົາບາງ epitaxial. ດັ່ງນັ້ນ, ຄຸນນະພາບຂອງມັນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ການກະກຽມຂອງ wafers epitaxial. ໃນເວລາດຽວກັນ, ດ້ວຍການເພີ່ມຂື້ນຂອງຈໍານວນການນໍາໃຊ້ແລະການປ່ຽນແປງໃນສະພາບການເຮັດວຽກ, ມັນງ່າຍຫຼາຍທີ່ຈະສວມໃສ່ແລະ tear, ມັນເປັນການບໍລິໂພກ. ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ graphite ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນປະໂຫຍດອັນໃຫຍ່ຫຼວງເປັນອົງປະກອບພື້ນຖານຂອງອຸປະກອນ MOCVD.
ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຖ້າຫາກວ່າມັນເປັນພຽງແຕ່ graphite ບໍລິສຸດ, ມັນຈະມີບັນຫາບາງຢ່າງ. ໃນຂະບວນການຜະລິດ, ຈະມີທາດອາຍແກັສ corrosive ທີ່ຕົກຄ້າງແລະສານອິນຊີຂອງໂລຫະ, ແລະ graphite susceptor ຈະ corrode ແລະຕົກລົງ, ເຊິ່ງຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍອາຍຸການບໍລິການຂອງ susceptor graphite ໄດ້. ໃນເວລາດຽວກັນ, ຝຸ່ນ graphite ຫຼຸດລົງຍັງຈະເຮັດໃຫ້ເກີດມົນລະພິດຕໍ່ wafer, ດັ່ງນັ້ນບັນຫາເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງໄດ້ຮັບການແກ້ໄຂໃນຂະບວນການກະກຽມຂອງພື້ນຖານ. ເທກໂນໂລຍີການເຄືອບສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂຝຸ່ນຫນ້າດິນ, ເສີມຂະຫຍາຍການນໍາຄວາມຮ້ອນ, ແລະການດຸ່ນດ່ຽງການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນ, ແລະໄດ້ກາຍເປັນເຕັກໂນໂລຢີຕົ້ນຕໍເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫານີ້.
ອີງຕາມສະພາບແວດລ້ອມຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກແລະຄວາມຕ້ອງການການນໍາໃຊ້ຂອງພື້ນຖານ graphite, ການເຄືອບຫນ້າດິນຄວນມີລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
1. ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງແລະການຄຸ້ມຄອງຢ່າງເຕັມທີ່:ຖານ graphite ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກ corrosive. ພື້ນຜິວຕ້ອງຖືກປົກຄຸມຢ່າງເຕັມທີ່, ແລະການເຄືອບຕ້ອງມີຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ດີເພື່ອມີບົດບາດປ້ອງກັນທີ່ດີ.
2. ຄວາມຮາບພຽງຢູ່ດ້ານດີ:ເນື່ອງຈາກພື້ນຖານ graphite ທີ່ໃຊ້ສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກດຽວຕ້ອງການຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວທີ່ສູງ, ຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຖານຕ້ອງໄດ້ຮັບການຮັກສາໄວ້ຫຼັງຈາກການເຄືອບໄດ້ຖືກກະກຽມ, ນັ້ນແມ່ນ, ພື້ນຜິວເຄືອບຕ້ອງມີຄວາມເປັນເອກະພາບ.
3. ຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງການເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ດີ:ການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງຖານ graphite ແລະອຸປະກອນການເຄືອບປະສິດທິພາບສາມາດປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງພັນທະບັດລະຫວ່າງສອງ. ຫຼັງຈາກປະສົບກັບວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະຕ່ໍາ, ການເຄືອບແມ່ນບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະ crack.
4. ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ:ການເຕີບໂຕຂອງຊິບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີພື້ນຖານ graphite ເພື່ອໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ໄວແລະເປັນເອກະພາບ, ດັ່ງນັ້ນວັດສະດຸເຄືອບຄວນຈະມີຄວາມຮ້ອນສູງ.
5. ຈຸດ melting ສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion:ການເຄືອບຄວນຈະສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຫມັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກ corrosive.
ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນແລະຕົວກໍານົດການປະຕິບັດອື່ນໆຂອງSiC coated graphite susceptorມີບົດບາດຕັດສິນໃນຄຸນນະພາບຂອງການຂະຫຍາຍຕົວຂອງວັດສະດຸ epitaxial, ສະນັ້ນມັນເປັນອົງປະກອບຫຼັກຂອງອຸປະກອນ MOCVD.
ຮູບແບບຜລຶກ β-SiC (3C-SiC) ຖືກເລືອກເປັນການເຄືອບ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບຮູບແບບໄປເຊຍກັນອື່ນໆ, ຮູບແບບໄປເຊຍກັນນີ້ມີຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດເຊັ່ນ: ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ thermodynamic ທີ່ດີ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion. ໃນເວລາດຽວກັນ, ມັນມີການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ສອດຄ່ອງກັບພື້ນຖານຂອງ graphite, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ພື້ນຖານ graphite ຄຸນສົມບັດພິເສດ. ມັນປະສິດທິພາບສາມາດແກ້ໄຂຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງພື້ນຖານ graphite ທີ່ເກີດຈາກການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະການກັດກ່ອນແລະການສູນເສຍຝຸ່ນໃນລະຫວ່າງການໃຫ້ບໍລິການ, ແລະເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວຂອງພື້ນຖານ graphite ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ບໍ່ມີ porous, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ຕ້ານ corrosion, ຕ້ານການຜຸພັງແລະລັກສະນະອື່ນໆ, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງຄຸນນະພາບ epitaxial ໄປເຊຍກັນແລະຊີວິດການບໍລິການຂອງ graphite ພື້ນຖານຂອງ SiC (ການວັດແທກຊີວິດການບໍລິການ. furnaces).
ວິທີການເລືອກຖາດກຣາຟຟີດ MOCVD / ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະການກັດກ່ອນ?
ເມື່ອເລືອກ ກຖາດ graphite ຫຼື susceptor ສໍາລັບ MOCVDທີ່ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ປັດໃຈສໍາຄັນຕໍ່ໄປນີ້ຄວນພິຈາລະນາ:
1. ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ:ວັດສະດຸ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສາມາດຕ້ານການ corrosion ແລະ oxidation ໄດ້ດີກວ່າໃນອຸນຫະພູມສູງແລະຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງ impurities ໃນຂະບວນການ deposition.
2. ຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະ porosity:ຖາດ Graphite ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງແລະ porosity ຕ່ໍາມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກທີ່ດີກວ່າແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ແລະປະສິດທິພາບສາມາດປ້ອງກັນການເຈາະອາຍແກັສແລະການເຊາະເຈື່ອນວັດສະດຸ.
3. ການນໍາຄວາມຮ້ອນ:ຖາດ graphite ທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງຊ່ວຍກະຈາຍຄວາມຮ້ອນ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ, ແລະປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຊີວິດການບໍລິການຂອງອຸປະກອນ.
4. ການປິ່ນປົວຜິວຫນ້າ:ພາເລດ Graphite ທີ່ໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວດ້ານພິເສດ, ເຊັ່ນການເຄືອບຫຼືແຜ່ນ, ສາມາດເສີມຂະຫຍາຍການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່.
5. ຂະຫນາດແລະຮູບຮ່າງ:ອີງຕາມຂໍ້ກໍານົດສະເພາະຂອງອຸປະກອນ MOCVD, ເລືອກຂະຫນາດແລະຮູບຮ່າງທີ່ເຫມາະສົມເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຖາດກັບອຸປະກອນແລະຄວາມສະດວກໃນການດໍາເນີນງານ.
6. ຊື່ສຽງຂອງຜູ້ຜະລິດ:ເລືອກຜູ້ຜະລິດທີ່ມີຊື່ສຽງທີ່ດີແລະປະສົບການທີ່ອຸດົມສົມບູນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນແລະການບໍລິການຫລັງການຂາຍ.
7. ປະສິດທິພາບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ:ບົນພື້ນຖານການຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານວິຊາການ, ພິຈາລະນາປະສິດທິພາບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະເລືອກຜະລິດຕະພັນທີ່ມີການປະຕິບັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສູງ.
VET Energy ເປັນຜູ້ສະຫນອງ graphite susceptor ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ພວກເຮົາສະເຫນີປະເພດທີ່ຫລາກຫລາຍ, ແລະສາມາດນໍາໃຊ້ໃນອຸປະກອນ MOCVD ຂອງຍີ່ຫໍ້, ຮຸ່ນແລະສະເພາະທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ໄດ້SiC coated graphite susceptorຜະລິດໂດຍ VET Energy ບໍ່ມີຈຸດຕິດຕໍ່ການເຄືອບແລະບໍ່ມີການເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ອ່ອນແອ. ໃນແງ່ຂອງຊີວິດການບໍລິການ, ພວກເຂົາສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (ລວມທັງການນໍາໃຊ້ບັນຍາກາດທີ່ມີ chlorine), ແລະລູກຄ້າຍິນດີຕ້ອນຮັບການປຶກສາຫາລືແລະການສອບຖາມ.
ເວລາປະກາດ: ວັນທີ 01-01-2025