ຖາດແກຣໄຟ MOCVD ແມ່ນຫຍັງ?

ການເຕີບໂຕຂອງແຜ່ນເວເຟີ epitaxial ແມ່ນບັນລຸໄດ້ໂດຍຜ່ານເຕັກໂນໂລຊີການວາງໄອເຄມີອິນຊີໂລຫະ (MOCVD), ເຊິ່ງອາຍແກັສທີ່ບໍລິສຸດທີ່ສຸດຖືກສີດເຂົ້າໄປໃນເຄື່ອງປະຕິກອນ ແລະ ຖືກວັດແທກຢ່າງລະອຽດ, ເພື່ອໃຫ້ພວກມັນລວມກັນໃນອຸນຫະພູມສູງເພື່ອເຮັດໃຫ້ເກີດປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີ ແລະ ຖືກວາງໄວ້ເທິງແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳໃນຊັ້ນອະຕອມບາງໆເພື່ອສ້າງ epitaxy ຂອງວັດສະດຸ ແລະ ເຄິ່ງຕົວນຳປະສົມ.

ໃນອຸປະກອນ CVD, ຊັ້ນຮອງພື້ນບໍ່ສາມາດວາງໂດຍກົງໃສ່ໂລຫະ ຫຼື ພຽງແຕ່ວາງໄວ້ເທິງພື້ນຖານສຳລັບການວາງຊັ້ນ epitaxial ໄດ້, ເພາະມັນຈະໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກຫຼາຍປັດໃຈ. ດັ່ງນັ້ນ, ຈຶ່ງຈຳເປັນຕ້ອງມີຕົວຮັບນ້ຳໜັກ ຫຼື ຖາດເພື່ອຍຶດຊັ້ນຮອງພື້ນ, ແລະ ຈາກນັ້ນໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີ CVD ເພື່ອປະຕິບັດການວາງຊັ້ນ epitaxial ໃສ່ຊັ້ນຮອງພື້ນ. ຕົວຮັບນ້ຳໜັກນີ້ແມ່ນຕົວຮັບກຣາໄຟ MOCVD(ເອີ້ນອີກຢ່າງໜຶ່ງວ່າຖາດແກຣໄຟ MOCVD).

ໂຄງສ້າງຂອງມັນແມ່ນສະແດງຢູ່ໃນຮູບຂ້າງລຸ່ມນີ້:

ເປັນຫຍັງຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນຂອງ graphite ຈຶ່ງຕ້ອງການການເຄືອບ CVD?

ຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນແກຣໄຟທ໌ແມ່ນໜຶ່ງໃນອົງປະກອບຫຼັກໃນອຸປະກອນ MOCVD. ມັນເປັນອົງປະກອບພາຫະນະ ແລະ ຄວາມຮ້ອນຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ. ຕົວກຳນົດປະສິດທິພາບຂອງມັນເຊັ່ນ: ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມສະເໝີພາບທາງຄວາມຮ້ອນມີບົດບາດຕັດສິນໃນຄຸນນະພາບຂອງການເຕີບໂຕຂອງວັດສະດຸ epitaxial, ແລະ ກຳນົດໂດຍກົງເຖິງຄວາມສະເໝີພາບ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸຟິມບາງ epitaxial. ດັ່ງນັ້ນ, ຄຸນນະພາບຂອງມັນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ການກະກຽມແຜ່ນ epitaxial. ໃນເວລາດຽວກັນ, ດ້ວຍການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຈຳນວນການນຳໃຊ້ ແລະ ການປ່ຽນແປງໃນສະພາບການເຮັດວຽກ, ມັນງ່າຍທີ່ຈະສວມໃສ່ ແລະ ຈີກຂາດ, ມັນເປັນວັດສະດຸບໍລິໂພກ. ການນຳຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທີ່ດີເລີດຂອງແກຣໄຟທ໌ເຮັດໃຫ້ມັນມີປະໂຫຍດຫຼາຍໃນຖານະເປັນອົງປະກອບພື້ນຖານຂອງອຸປະກອນ MOCVD.

ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ຖ້າມັນເປັນພຽງແຕ່ແກຣໄຟທ໌ບໍລິສຸດ, ຈະມີບັນຫາບາງຢ່າງ. ໃນຂະບວນການຜະລິດ, ຈະມີອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ ແລະ ສານອິນຊີໂລຫະທີ່ເຫຼືອຢູ່, ແລະ ຕົວຮັບກຣາໄຟທ໌ຈະກັດກ່ອນ ແລະ ຫຼົ່ນລົງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຕົວຮັບກຣາໄຟທ໌ຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ຜົງແກຣໄຟທ໌ທີ່ຕົກລົງມາຍັງຈະເຮັດໃຫ້ເກີດມົນລະພິດຕໍ່ແຜ່ນເວເຟີ, ສະນັ້ນບັນຫາເຫຼົ່ານີ້ຈຳເປັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການແກ້ໄຂໃນຂະບວນການກະກຽມພື້ນຖານ. ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສາມາດໃຫ້ການຍຶດຕິດຜົງພື້ນຜິວ, ເສີມຂະຫຍາຍການນຳຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ດຸ່ນດ່ຽງການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ໄດ້ກາຍເປັນເຕັກໂນໂລຊີຫຼັກໃນການແກ້ໄຂບັນຫານີ້.

ອີງຕາມສະພາບແວດລ້ອມການນຳໃຊ້ ແລະ ຂໍ້ກຳນົດການນຳໃຊ້ຂອງພື້ນຖານແກຣໄຟ, ການເຄືອບໜ້າດິນຄວນມີລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

1. ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ ແລະ ການຄຸ້ມຄອງຢ່າງເຕັມທີ່:ຖານແກຣໄຟຕ໌ຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ເປັນພິດ. ພື້ນຜິວຕ້ອງປົກຄຸມຢ່າງສົມບູນ, ແລະ ການເຄືອບຕ້ອງມີຄວາມໜາແໜ້ນດີເພື່ອມີບົດບາດປ້ອງກັນທີ່ດີ.

2. ຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວທີ່ດີ:ເນື່ອງຈາກພື້ນຖານແກຣໄຟທີ່ໃຊ້ສຳລັບການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກດຽວຕ້ອງການຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວທີ່ສູງຫຼາຍ, ຄວາມຮາບພຽງເດີມຂອງພື້ນຖານຕ້ອງໄດ້ຮັບການຮັກສາໄວ້ຫຼັງຈາກການກະກຽມການເຄືອບແລ້ວ, ນັ້ນຄືພື້ນຜິວເຄືອບຕ້ອງເປັນເອກະພາບ.

3. ຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງການຍຶດຕິດທີ່ດີ:ການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງພື້ນຖານແກຣໄຟ ແລະ ວັດສະດຸເຄືອບສາມາດປັບປຸງຄວາມແຂງແຮງຂອງການຍຶດຕິດລະຫວ່າງສອງຢ່າງໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ຫຼັງຈາກປະສົບກັບວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຕໍ່າ, ການເຄືອບບໍ່ແຕກງ່າຍ.

4. ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງ:ການເຕີບໂຕຂອງຊິບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ພື້ນຖານແກຣໄຟເພື່ອໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໄວ ແລະ ເປັນເອກະພາບ, ສະນັ້ນວັດສະດຸເຄືອບຄວນມີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງ.

5. ຈຸດລະລາຍສູງ, ຕ້ານທານການຜຸພັງທີ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຕ້ານທານການກັດກ່ອນ:ການເຄືອບຄວນຈະສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງໝັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ເປັນສານກັດກ່ອນ.

ສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຕົວກຳນົດປະສິດທິພາບອື່ນໆຂອງຕົວຮັບກຣາໄຟທ໌ເຄືອບ SiCມີບົດບາດຕັດສິນໃນຄຸນນະພາບຂອງການເຕີບໂຕຂອງວັດສະດຸ epitaxial, ສະນັ້ນມັນຈຶ່ງເປັນອົງປະກອບຫຼັກຫຼັກຂອງອຸປະກອນ MOCVD.

ຮູບແບບຜລຶກ β-SiC (3C-SiC) ຖືກເລືອກເປັນຊັ້ນເຄືອບ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບຮູບແບບຜລຶກອື່ນໆ, ຮູບແບບຜລຶກນີ້ມີຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຫຼາຍຢ່າງເຊັ່ນ: ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ມັນມີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ສອດຄ່ອງກັບແກຣໄຟ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ພື້ນຖານແກຣໄຟມີຄຸນສົມບັດພິເສດ. ມັນສາມາດແກ້ໄຂຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງພື້ນຖານແກຣໄຟທີ່ເກີດຈາກການຜຸພັງທີ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການກັດກ່ອນ ແລະ ການສູນເສຍຜົງໃນລະຫວ່າງການບໍລິການໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ແລະ ເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວຂອງພື້ນຖານແກຣໄຟມີຄວາມໜາແໜ້ນ, ບໍ່ມີຮູຂຸມຂົນ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ຕ້ານການກັດກ່ອນ, ຕ້ານການຜຸພັງ ແລະ ລັກສະນະອື່ນໆ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປັບປຸງຄຸນນະພາບ epitaxial ຂອງຜລຶກ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງພື້ນຖານແກຣໄຟ (ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງພື້ນຖານແກຣໄຟທີ່ເຄືອບ SiC ຖືກວັດແທກໃນເຕົາອົບ).

ວິທີການເລືອກຖາດ/ຕົວຮັບ graphite MOCVD ທີ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການກັດກ່ອນ?

ເມື່ອເລືອກອັນໜຶ່ງຖາດ graphite ຫຼື susceptor ສໍາລັບ MOCVDທີ່ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນໃນອຸນຫະພູມສູງ, ຄວນພິຈາລະນາປັດໄຈສຳຄັນຕໍ່ໄປນີ້:

1. ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ:ວັດສະດຸແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສາມາດຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ການຜຸພັງໄດ້ດີຂຶ້ນໃນອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງສິ່ງເຈືອປົນຕໍ່ຂະບວນການວາງຊັ້ນ.

2. ຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມพรຸນ:ຖາດກຣາໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ ແລະ ມີຮູພຸນຕ່ຳມີຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ດີກວ່າ, ແລະ ສາມາດປ້ອງກັນການເຈາະຂອງອາຍແກັສ ແລະ ການກັດກ່ອນຂອງວັດສະດຸໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

3. ການນຳຄວາມຮ້ອນ:ຖາດແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງຊ່ວຍໃນການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນຢ່າງທົ່ວເຖິງ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຈາກຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ປັບປຸງຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ.

4. ການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ:ພາເລັດກຣາໄຟທ໌ທີ່ໄດ້ຜ່ານການປິ່ນປົວພື້ນຜິວພິເສດ, ເຊັ່ນ: ການເຄືອບ ຫຼື ການຊຸບ, ສາມາດເສີມຂະຫຍາຍຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ໄດ້ຕື່ມອີກ.

5. ຂະໜາດ ແລະ ຮູບຮ່າງ:ອີງຕາມຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງອຸປະກອນ MOCVD, ໃຫ້ເລືອກຂະໜາດ ແລະ ຮູບຮ່າງທີ່ເໝາະສົມເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຖາດກັບອຸປະກອນ ແລະ ຄວາມສະດວກສະບາຍໃນການປະຕິບັດງານ.

6. ຊື່ສຽງຂອງຜູ້ຜະລິດ:ເລືອກຜູ້ຜະລິດທີ່ມີຊື່ສຽງດີ ແລະ ມີປະສົບການອັນອຸດົມສົມບູນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ ແລະ ການບໍລິການຫຼັງການຂາຍ.

7. ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ:ໂດຍອີງໃສ່ຫຼັກການຂອງການຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານເຕັກນິກ, ໃຫ້ພິຈາລະນາເຖິງປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ ແລະ ເລືອກຜະລິດຕະພັນທີ່ມີປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນສູງກວ່າ.

VET Energy ເປັນຜູ້ສະໜອງຕົວຮັບຄວາມຮ້ອນ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ພວກເຮົາສະເໜີຫຼາກຫຼາຍປະເພດ, ແລະສາມາດນຳໃຊ້ໃນອຸປະກອນ MOCVD ຂອງຍີ່ຫໍ້, ຮຸ່ນ ແລະ ລາຍລະອຽດຕ່າງໆ.ຕົວຮັບກຣາໄຟທ໌ເຄືອບ SiCຜະລິດໂດຍ VET Energy ບໍ່ມີຈຸດຕິດຕໍ່ດ້ານການເຄືອບ ແລະ ບໍ່ມີຈຸດອ່ອນ. ໃນແງ່ຂອງອາຍຸການໃຊ້ງານ, ພວກມັນສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (ລວມທັງການໃຊ້ບັນຍາກາດທີ່ມີ chlorine), ແລະລູກຄ້າສາມາດປຶກສາ ແລະ ສອບຖາມໄດ້.