Cyflawnir twf epitacsial wafer trwy dechnoleg dyddodiad anwedd cemegol metel organig (MOCVD), lle mae nwyon ultra-pur yn cael eu chwistrellu i'r adweithydd a'u mesur yn fân, fel eu bod yn cyfuno ar dymheredd uchel i achosi rhyngweithiadau cemegol ac yn cael eu dyddodi ar wafers lled-ddargludyddion mewn haenau atomig tenau iawn i ffurfio epitacsi o ddeunyddiau a lled-ddargludyddion cyfansawdd.
Mewn offer CVD, ni ellir gosod y swbstrad yn uniongyrchol ar fetel neu ar sylfaen ar gyfer dyddodiad epitacsial, oherwydd bydd llawer o ffactorau'n effeithio arno. Felly, mae angen susceptor neu hambwrdd i ddal y swbstrad, ac yna defnyddio technoleg CVD i berfformio dyddodiad epitacsial ar y swbstrad. Mae'r susceptor hwn yn...Susceptor graffit MOCVD(a elwir hefyd ynHambwrdd graffit MOCVD).
Dangosir ei strwythur yn y ffigur isod:
Pam mae angen cotio CVD ar y susceptor graffit?
Mae'r susceptor graffit yn un o gydrannau craidd offer MOCVD. Dyma'r cludwr a'r elfen wresogi ar gyfer y swbstrad. Mae ei baramedrau perfformiad fel sefydlogrwydd thermol ac unffurfiaeth thermol yn chwarae rhan bendant yn ansawdd twf deunydd epitacsial, ac yn pennu unffurfiaeth a phurdeb deunyddiau ffilm denau epitacsial yn uniongyrchol. Felly, mae ei ansawdd yn effeithio'n uniongyrchol ar baratoi wafferi epitacsial. Ar yr un pryd, gyda'r cynnydd yn nifer y defnyddiau a'r newidiadau yn yr amodau gwaith, mae'n hawdd iawn ei wisgo a'i rwygo, mae'n ddefnydd traul. Mae dargludedd thermol a sefydlogrwydd rhagorol graffit yn rhoi mantais fawr iddo fel cydran sylfaenol o offer MOCVD.
Fodd bynnag, os mai graffit pur yn unig ydyw, bydd rhai problemau. Yn y broses gynhyrchu, bydd nwyon cyrydol gweddilliol a deunydd organig metel, a bydd y susceptor graffit yn cyrydu ac yn cwympo i ffwrdd, sy'n lleihau oes gwasanaeth y susceptor graffit yn fawr. Ar yr un pryd, bydd y powdr graffit sy'n cwympo hefyd yn achosi llygredd i'r wafer, felly mae angen datrys y problemau hyn yn y broses o baratoi'r sylfaen. Gall technoleg cotio ddarparu sefydlogiad powdr arwyneb, gwella dargludedd thermol, a chydbwyso dosbarthiad gwres, ac mae wedi dod yn brif dechnoleg i ddatrys y broblem hon.
Yn ôl yr amgylchedd ymgeisio a gofynion defnydd y sylfaen graffit, dylai'r gorchudd wyneb fod â'r nodweddion canlynol:
1. Dwysedd uchel a gorchudd llawn:Mae'r sylfaen graffit mewn amgylchedd gwaith tymheredd uchel a chyrydol. Rhaid gorchuddio'r wyneb yn llwyr, a rhaid i'r cotio fod â dwysedd da i chwarae rôl amddiffynnol dda.
2. Gwastadrwydd arwyneb da:Gan fod y sylfaen graffit a ddefnyddir ar gyfer twf crisial sengl angen gwastadrwydd arwyneb uchel iawn, rhaid cynnal gwastadrwydd gwreiddiol y sylfaen ar ôl paratoi'r haen, hynny yw, rhaid i wyneb yr haen fod yn unffurf.
3. Cryfder bondio da:Gall lleihau'r gwahaniaeth mewn cyfernod ehangu thermol rhwng y sylfaen graffit a'r deunydd cotio wella cryfder y bondio rhyngddynt yn effeithiol. Ar ôl profi cylchoedd thermol tymheredd uchel ac isel, nid yw'r cotio'n hawdd cracio.
4. Dargludedd thermol uchel:Mae twf sglodion o ansawdd uchel yn ei gwneud yn ofynnol i'r sylfaen graffit ddarparu gwres cyflym ac unffurf, felly dylai'r deunydd cotio fod â dargludedd thermol uchel.
5. Pwynt toddi uchel, ymwrthedd ocsideiddio tymheredd uchel a gwrthiant cyrydiad:Dylai'r cotio allu gweithio'n sefydlog mewn amgylchedd gwaith tymheredd uchel a chyrydol.
Sefydlogrwydd thermol, unffurfiaeth thermol a pharamedrau perfformiad eraill ySusceptor graffit wedi'i orchuddio â SiCyn chwarae rhan bendant yn ansawdd twf deunydd epitacsial, felly dyma'r elfen allweddol graidd o offer MOCVD.
Dewisir ffurf grisial β-SiC (3C-SiC) fel yr haen. O'i gymharu â ffurfiau crisial eraill, mae gan y ffurf grisial hon gyfres o briodweddau rhagorol megis sefydlogrwydd thermodynamig da, ymwrthedd i ocsideiddio a gwrthsefyll cyrydiad. Ar yr un pryd, mae ganddo ddargludedd thermol sydd yn y bôn yn gyson â graffit, gan roi priodweddau arbennig i'r sylfaen graffit. Gall ddatrys methiant y sylfaen graffit a achosir gan ocsideiddio tymheredd uchel a cholli cyrydiad a phowdr yn ystod gwasanaeth yn effeithiol, a gwneud wyneb y sylfaen graffit yn drwchus, heb fod yn fandyllog, yn gwrthsefyll tymheredd uchel, yn wrth-cyrydiad, yn wrth-ocsidiad ac yn nodweddion eraill, a thrwy hynny wella ansawdd epitacsial y grisial a bywyd gwasanaeth y sylfaen graffit (mesurir bywyd gwasanaeth y sylfaen graffit wedi'i gorchuddio â SiC mewn ffwrneisi).
Sut i ddewis hambwrdd/susceptor graffit MOCVD sy'n gallu gwrthsefyll tymheredd uchel a chorydiad?
Wrth ddewishambwrdd graffit neu susceptor ar gyfer MOCVDsy'n gallu gwrthsefyll cyrydiad tymheredd uchel, dylid ystyried y ffactorau allweddol canlynol:
1. Purdeb deunydd:Gall deunyddiau graffit purdeb uchel wrthsefyll cyrydiad ac ocsidiad yn well ar dymheredd uchel a lleihau effaith amhureddau ar y broses dyddodiad.
2. Dwysedd a mandylledd:Mae gan hambyrddau graffit â dwysedd uchel a mandylledd isel gryfder mecanyddol gwell a gwrthiant cyrydiad, a gallant atal treiddiad nwy ac erydiad deunydd yn effeithiol.
3. Dargludedd thermol:Mae'r hambwrdd graffit dargludedd thermol uchel yn helpu i ddosbarthu gwres yn gyfartal, lleihau straen thermol, a gwella sefydlogrwydd a bywyd gwasanaeth yr offer.
4. Triniaeth arwyneb:Gall paledi graffit sydd wedi cael triniaeth arbennig arwyneb, fel cotio neu blatio, wella eu gwrthwynebiad cyrydiad a'u gwrthwynebiad gwisgo ymhellach.
5. Maint a siâp:Yn ôl gofynion penodol yr offer MOCVD, dewiswch y maint a'r siâp priodol i sicrhau cydnawsedd yr hambwrdd â'r offer a chyfleustra'r llawdriniaeth.
6. Enw da'r gwneuthurwr:Dewiswch wneuthurwr sydd ag enw da a phrofiad cyfoethog i sicrhau dibynadwyedd ansawdd cynnyrch a gwasanaeth ôl-werthu.
7. Cost-effeithiolrwydd:Ar sail bodloni gofynion technegol, ystyriwch gost-effeithiolrwydd a dewiswch gynhyrchion â pherfformiad cost uwch.
Mae VET Energy yn gyflenwr susceptor graffit purdeb uchel, rydym yn cynnig ystod eang o gategorïau, a gellir ei ddefnyddio mewn offer MOCVD o wahanol frandiau, modelau a manylebau.Susceptor graffit wedi'i orchuddio â SiCNid oes gan y rhai a gynhyrchir gan VET Energy unrhyw bwyntiau cyswllt cotio nac unrhyw gysylltiadau gwan. O ran oes gwasanaeth, gallant fodloni gofynion cwsmeriaid ag anghenion gwahanol (gan gynnwys defnyddio atmosfferau sy'n cynnwys clorin), ac mae croeso i gwsmeriaid ymgynghori ac ymholi.
Amser postio: Mawrth-01-2025