Rritja epitaksiale e napolitanëve arrihet nëpërmjet teknologjisë së depozitimit të avujve kimikë organikë metalikë (MOCVD), në të cilën gazrat ultra të pastër injektohen në reaktor dhe maten imët, në mënyrë që ato të kombinohen në temperatura të larta për të shkaktuar ndërveprime kimike dhe të depozitohen në napolitanët gjysmëpërçues në shtresa shumë të holla atomike për të formuar epitaksi të materialeve dhe gjysmëpërçuesve të përbërë.
Në pajisjet CVD, substrati nuk mund të vendoset direkt mbi metal ose thjesht mbi një bazë për depozitim epitaksial, sepse do të ndikohet nga shumë faktorë. Prandaj, nevojitet një susceptor ose tabaka për të mbajtur substratin, dhe më pas të përdoret teknologjia CVD për të kryer depozitim epitaksial në substrat. Ky susceptor është njëSupceptori i grafitit MOCVD(i quajtur edheTabaka grafiti MOCVD).
Struktura e saj është paraqitur në figurën më poshtë:
Pse ka nevojë për veshje CVD për susceptorin e grafitit?
Susceptori i grafitit është një nga komponentët kryesorë në pajisjet MOCVD. Është elementi bartës dhe ngrohës i substratit. Parametrat e tij të performancës, të tilla si stabiliteti termik dhe uniformiteti termik, luajnë një rol vendimtar në cilësinë e rritjes së materialit epitaksial dhe përcaktojnë drejtpërdrejt uniformitetin dhe pastërtinë e materialeve epitaksiale të filmit të hollë. Prandaj, cilësia e tij ndikon drejtpërdrejt në përgatitjen e napolitanëve epitaksialë. Në të njëjtën kohë, me rritjen e numrit të përdorimeve dhe ndryshimet në kushtet e punës, është shumë i lehtë për t'u konsumuar dhe për t'u grisur, është një material i konsumueshëm. Përçueshmëria e shkëlqyer termike dhe stabiliteti i grafitit i japin atij një avantazh të madh si një komponent bazë i pajisjeve MOCVD.
Megjithatë, nëse është vetëm grafit i pastër, do të ketë disa probleme. Gjatë procesit të prodhimit, do të ketë gazra gërryes të mbetur dhe lëndë organike metalike, dhe susceptori i grafitit do të gërryhet dhe do të bjerë, gjë që e zvogëlon shumë jetëgjatësinë e susceptorit të grafitit. Në të njëjtën kohë, pluhuri i grafitit që bie do të shkaktojë ndotje edhe në pllakë, kështu që këto probleme duhet të zgjidhen në procesin e përgatitjes së bazës. Teknologjia e veshjes mund të sigurojë fiksimin e pluhurit sipërfaqësor, të rrisë përçueshmërinë termike dhe të balancojë shpërndarjen e nxehtësisë, dhe është bërë teknologjia kryesore për të zgjidhur këtë problem.
Sipas mjedisit të aplikimit dhe kërkesave të përdorimit të bazës së grafitit, veshja sipërfaqësore duhet të ketë karakteristikat e mëposhtme:
1. Dendësi e lartë dhe mbulim i plotë:Baza e grafitit është në një mjedis pune me temperaturë të lartë dhe korroziv. Sipërfaqja duhet të jetë e mbuluar plotësisht dhe veshja duhet të ketë dendësi të mirë për të luajtur një rol të mirë mbrojtës.
2. Sheshësi e mirë sipërfaqësore:Meqenëse baza e grafitit e përdorur për rritjen e një kristali të vetëm kërkon një rrafshësi sipërfaqësore shumë të lartë, rrafshësia origjinale e bazës duhet të ruhet pasi të përgatitet veshja, domethënë, sipërfaqja e veshjes duhet të jetë uniforme.
3. Fortësi e mirë ngjitëse:Zvogëlimi i ndryshimit në koeficientin e zgjerimit termik midis bazës së grafitit dhe materialit të veshjes mund të përmirësojë në mënyrë efektive forcën e lidhjes midis të dyjave. Pas përjetimit të cikleve termike në temperatura të larta dhe të ulëta, veshja nuk çahet lehtë.
4. Përçueshmëri e lartë termike:Rritja me cilësi të lartë e çipave kërkon që baza e grafitit të sigurojë nxehtësi të shpejtë dhe uniforme, kështu që materiali i veshjes duhet të ketë përçueshmëri të lartë termike.
5. Pika e lartë e shkrirjes, rezistenca ndaj oksidimit në temperaturë të lartë dhe rezistenca ndaj korrozionit:Veshje duhet të jetë në gjendje të funksionojë në mënyrë të qëndrueshme në një temperaturë të lartë dhe mjedis pune gërryes.
Stabiliteti termik, uniformiteti termik dhe parametrat e tjerë të performancës sëSupceptor grafiti i veshur me SiCLuajnë një rol vendimtar në cilësinë e rritjes së materialit epitaksial, kështu që është komponenti kryesor kyç i pajisjeve MOCVD.
Forma kristalore β-SiC (3C-SiC) është zgjedhur si shtresë. Krahasuar me format e tjera kristalore, kjo formë kristalore ka një sërë vetish të shkëlqyera, të tilla si stabilitet i mirë termodinamik, rezistencë ndaj oksidimit dhe rezistencë ndaj korrozionit. Në të njëjtën kohë, ajo ka një përçueshmëri termike që është në thelb në përputhje me atë të grafitit, duke i dhënë kështu bazës së grafitit veti të veçanta. Mund të zgjidhë në mënyrë efektive dështimin e bazës së grafitit të shkaktuar nga oksidimi në temperaturë të lartë dhe korrozioni dhe humbja e pluhurit gjatë shërbimit, dhe ta bëjë sipërfaqen e bazës së grafitit të dendur, jo poroze, rezistente ndaj temperaturave të larta, anti-korrozioni, anti-oksidimi dhe karakteristika të tjera, duke përmirësuar kështu cilësinë epitaksiale të kristalit dhe jetëgjatësinë e bazës së grafitit (jeta e shërbimit të bazës së grafitit të veshur me SiC matet në furra).
Si të zgjidhni tabaka/susceptor grafiti MOCVD që është rezistent ndaj temperaturave të larta dhe korrozionit?
Kur zgjedh njëtabaka grafiti ose mbajtës për MOCVDqë është rezistent ndaj korrozionit në temperatura të larta, duhet të merren në konsideratë faktorët kryesorë të mëposhtëm:
1. Pastërtia e materialit:Materialet e grafitit me pastërti të lartë mund t'i rezistojnë më mirë korrozionit dhe oksidimit në temperatura të larta dhe të zvogëlojnë ndikimin e papastërtive në procesin e depozitimit.
2. Dendësia dhe poroziteti:Tabaka grafiti me dendësi të lartë dhe porozitet të ulët kanë forcë mekanike dhe rezistencë më të mirë ndaj korrozionit, dhe mund të parandalojnë në mënyrë efektive depërtimin e gazit dhe erozionin e materialit.
3. Përçueshmëria termike:Tabaka grafiti me përçueshmëri të lartë termike ndihmon në shpërndarjen e barabartë të nxehtësisë, zvogëlimin e stresit termik dhe përmirësimin e stabilitetit dhe jetëgjatësisë së pajisjeve.
4. Trajtimi sipërfaqësor:Paletat e grafitit që i janë nënshtruar trajtimit të veçantë sipërfaqësor, siç është veshja ose veshja, mund të rrisin më tej rezistencën e tyre ndaj korrozionit dhe rezistencën ndaj konsumimit.
5. Madhësia dhe forma:Sipas kërkesave specifike të pajisjeve MOCVD, zgjidhni madhësinë dhe formën e duhur për të siguruar përputhshmërinë e tabakasë me pajisjet dhe komoditetin e funksionimit.
6. Reputacioni i prodhuesit:Zgjidhni një prodhues me reputacion të mirë dhe përvojë të pasur për të siguruar besueshmërinë e cilësisë së produktit dhe shërbimin pas shitjes.
7. Efektiviteti i kostos:Mbi premisën e përmbushjes së kërkesave teknike, merrni në konsideratë efektivitetin e kostos dhe zgjidhni produkte me performancë më të lartë të kostos.
VET Energy është një furnizues i susceptorëve të grafitit me pastërti të lartë, ne ofrojmë një gamë të gjerë kategorish dhe mund të përdoren në pajisjet MOCVD të markave, modeleve dhe specifikimeve të ndryshme.Supceptor grafiti i veshur me SiCtë prodhuara nga VET Energy nuk kanë pika kontakti për veshjen dhe as lidhje të dobëta. Sa i përket jetëgjatësisë së shërbimit, ato mund të përmbushin kërkesat e klientëve me nevoja të ndryshme (duke përfshirë përdorimin e atmosferave që përmbajnë klor), dhe klientët janë të mirëpritur të konsultohen dhe të bëjnë pyetje.
Koha e postimit: 01 Mars 2025