Dè a th’ ann an treidhe grafait MOCVD?

Tha fàs epitaxial wafer air a choileanadh tro theicneòlas tasgadh smùid ceimigeach meatailt organach (MOCVD), anns a bheil gasaichean fìor-ghlan air an stealladh a-steach don reactar agus air an tomhas gu grinn, gus am bi iad a’ tighinn còmhla aig teòthachd àrd gus eadar-obrachaidhean ceimigeach adhbhrachadh agus air an tasgadh air wafers leth-chonnsachaidh ann an sreathan atamach glè thana gus epitaxy de stuthan agus leth-chonnsachaidhean co-thàthaichte a chruthachadh.

Ann an uidheam CVD, chan urrainnear an t-substrate a chur gu dìreach air meatailt no dìreach air bonn airson tasgadh epitaxial, oir bidh mòran nithean a’ toirt buaidh air. Mar sin, tha feum air glacadair no treidhe gus an t-substrate a chumail, agus an uairsin teicneòlas CVD a chleachdadh gus tasgadh epitaxial a dhèanamh air an t-substrate. Tha an glacadair seo naGlacadair grafait MOCVD(ris an canar cuideachdTreidhe grafait MOCVD).

Tha a structar air a shealltainn san fhigear gu h-ìosal:

Carson a dh’ fheumas an glacadair grafait còmhdach CVD?

’S e an glacadair grafait aon de na prìomh phàirtean ann an uidheam MOCVD. ’S e an giùlan agus an eileamaid teasachaidh den t-substrate a th’ ann. Tha na paramadairean coileanaidh aige leithid seasmhachd teirmeach agus cunbhalachd teirmeach a’ cluich pàirt chinnteach ann an càileachd fàs stuthan epitaxial, agus a’ dearbhadh gu dìreach cunbhalachd agus purrachd stuthan film tana epitaxial. Mar sin, tha a chàileachd a’ toirt buaidh dhìreach air ullachadh wafers epitaxial. Aig an aon àm, leis an àrdachadh ann an àireamh nan cleachdaidhean agus na h-atharrachaidhean anns na suidheachaidhean obrach, tha e glè fhurasta a chaitheamh agus a reubadh, tha e na stuth a ghabhas ithe. Tha an giùlan teirmeach sàr-mhath agus an seasmhachd a th’ aig grafait ga dhèanamh na bhuannachd mhòr mar phàirt bunaiteach de uidheam MOCVD.

Ach, ma tha e dìreach grafait fìor-ghlan, bidh cuid de dhuilgheadasan ann. Rè a’ phròiseas cinneasachaidh, bidh gasaichean creimneach agus stuth organach meatailt air fhàgail, agus bidh an glacadair grafait a’ creimeadh agus a’ tuiteam dheth, a lughdaicheas beatha seirbheis an glacadair grafait gu mòr. Aig an aon àm, bidh am pùdar grafait a tha a’ tuiteam cuideachd ag adhbhrachadh truailleadh don wafer, agus mar sin feumar na duilgheadasan sin fhuasgladh ann am pròiseas ullachaidh a’ bhunait. Faodaidh teicneòlas còmhdach daingneachadh pùdar uachdar a thoirt seachad, giùlan teirmeach a leasachadh, agus sgaoileadh teas a chothromachadh, agus tha e air a bhith mar a’ phrìomh theicneòlas airson an duilgheadas seo fhuasgladh.

A rèir na h-àrainneachd tagraidh agus riatanasan cleachdaidh bunait grafait, bu chòir na feartan a leanas a bhith aig còmhdach uachdar:

1. Dùmhlachd àrd agus còmhdach iomlan:Tha am bonn grafait ann an àrainneachd obrach àrd-theodhachd agus creimneach. Feumaidh an uachdar a bhith còmhdaichte gu tur, agus feumaidh dùmhlachd mhath a bhith aig a’ chòmhdach gus deagh dhreuchd dìon a chluich.

2. Deagh rèidhleanachd uachdar:Leis gu bheil feum aig a’ bhunait grafait a thathar a’ cleachdadh airson fàs criostail shingilte air rèidhleanachd uachdar glè àrd, feumar rèidhleanachd thùsail a’ bhunait a chumail suas às dèidh an còmhdach ullachadh, is e sin, feumaidh uachdar a’ chòmhdaich a bhith cunbhalach.

3. Neart ceangail math:Faodaidh lùghdachadh an eadar-dhealachaidh ann an co-èifeachd leudachaidh teirmeach eadar bunait grafait agus an stuth còmhdaich neart ceangail an dà rud a leasachadh gu h-èifeachdach. Às deidh cearcallan teirmeach aig teòthachd àrd is ìosal, chan eil an còmhdach furasta a bhriseadh.

4. Seoltachd teirmeach àrd:Feumaidh fàs sgoltagan àrd-inbhe gum bi am bunait grafait a’ toirt seachad teas luath is èideadh, agus mar sin bu chòir gum biodh giùlan teirmeach àrd aig an stuth còmhdaich.

5. Puing leaghaidh àrd, strì an aghaidh ocsaididh aig teòthachd àrd agus strì an aghaidh creimeadh:Bu chòir don chòmhdach a bhith comasach air obrachadh gu seasmhach ann an àrainneachd obrach àrd-theodhachd agus creimneach.

Seasmhachd teirmeach, aonfhoirmeachd teirmeach agus paramadairean coileanaidh eile anGlacadair grafait còmhdaichte le SiCa’ cluich pàirt chinnteach ann an càileachd fàs stuthan epitaxial, agus mar sin is e am prìomh phàirt de uidheamachd MOCVD a th’ ann.

Tha cruth criostail β-SiC (3C-SiC) air a thaghadh mar an còmhdach. An coimeas ri cruthan criostail eile, tha sreath de fheartan sàr-mhath aig a’ chruth criostail seo leithid deagh sheasmhachd teirmeadainimigeach, strì an aghaidh ocsaididh agus strì an aghaidh creimeadh. Aig an aon àm, tha seoltachd teirmeach aige a tha gu ìre mhòr co-chòrdail ri grafait, agus mar sin a’ toirt feartan sònraichte don bhunait grafait. Faodaidh e fuasgladh èifeachdach a thoirt air fàilligeadh bunait grafait air adhbhrachadh le ocsaididh agus creimeadh aig teòthachd àrd agus call pùdar rè seirbheis, agus uachdar bunait grafait a dhèanamh dùmhail, neo-phorach, an aghaidh teòthachd àrd, an-aghaidh creimeadh, an-aghaidh ocsaididh agus feartan eile, agus mar sin a’ leasachadh càileachd epitaxial criostail agus beatha seirbheis bunait grafait (tha beatha seirbheis bunait grafait còmhdaichte SiC air a thomhas ann an àmhainnean).

Ciamar a thaghas tu treidhe/glacadair grafait MOCVD a tha an aghaidh teòthachd àrd agus creimeadh?

Nuair a thaghas tutreidhe grafait no susceptor airson MOCVDa tha an aghaidh creimeadh aig teòthachd àrd, bu chòir beachdachadh air na prìomh nithean a leanas:

1. Purrachd stuthan:Faodaidh stuthan grafait àrd-ghlan seasamh nas fheàrr an aghaidh creimeadh agus oxidation aig teòthachd àrd agus buaidh neo-chunbhalachdan air a’ phròiseas tasgaidh a lughdachadh.

2. Dlùths agus porosity:Tha neart meacanaigeach agus strì an aghaidh creimeadh nas fheàrr aig treallaich grafait le dùmhlachd àrd agus porosity ìosal, agus faodaidh iad casg a chuir gu h-èifeachdach air dol a-steach gas agus bleith stuthan.

3. Seoltachd teirmeach:Bidh an treidhe grafait le giùlan teirmeach àrd a’ cuideachadh le teas a sgaoileadh gu cothromach, cuideam teirmeach a lughdachadh, agus seasmhachd agus beatha seirbheis an uidheim a leasachadh.

4. Làimhseachadh uachdar:Faodaidh paileatan grafait a chaidh tro làimhseachadh uachdar sònraichte, leithid còmhdach no plating, an aghaidh creimeadh agus an aghaidh caitheamh a leasachadh tuilleadh.

5. Meud agus cumadh:A rèir riatanasan sònraichte uidheamachd MOCVD, tagh am meud agus an cumadh iomchaidh gus dèanamh cinnteach gu bheil an treidhe co-chòrdalachd ris an uidheamachd agus goireasachd obrachaidh.

6. Cliù an neach-dèanamh:Tagh neach-dèanamh le deagh chliù agus eòlas beairteach gus dèanamh cinnteach à earbsachd càileachd toraidh agus seirbheis às dèidh reic.

7. Èifeachdas cosgais:Air bunait coinneachadh ri riatanasan teicnigeach, beachdaich air èifeachdas cosgais agus tagh toraidhean le coileanadh cosgais nas àirde.

’S e solaraiche glacadairean grafait àrd-ghlan a th’ ann an VET Energy, tha raon farsaing de roinnean againn, agus faodar an cleachdadh ann an uidheamachd MOCVD de dhiofar bhrandan, mhodalan agus shònrachaidhean.Glacadair grafait còmhdaichte le SiCChan eil puingean conaltraidh còmhdach agus chan eil ceanglaichean lag aig na stuthan a tha air an dèanamh le VET Energy. A thaobh fad-beatha, faodaidh iad coinneachadh ri riatanasan luchd-ceannach le feumalachdan eadar-dhealaichte (a’ gabhail a-steach cleachdadh àilean anns a bheil clòirin), agus tha fàilte air luchd-ceannach co-chomhairle a chumail agus ceistean fhaighneachd.