የMOCVD ግራፋይት ትሪ ምንድን ነው?

የዋፈር ኤፒታክሲያል እድገት የሚገኘው በብረት ኦርጋኒክ ኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (MOCVD) ቴክኖሎጂ ሲሆን እጅግ በጣም ንፁህ ጋዞች ወደ ሬአክተሩ ውስጥ በመርፌ የሚወጉ እና በጥሩ ሁኔታ የሚለኩበት ሲሆን ይህም በከፍተኛ የሙቀት መጠን በመዋሃድ የኬሚካል መስተጋብር እንዲፈጠር እና በጣም ቀጭን በሆኑ የአቶሚክ ንብርብሮች ውስጥ በሴሚኮንዳክተር ዋፈርዎች ላይ እንዲቀመጡ በማድረግ የቁሳቁሶች እና የተዋሃዱ ሴሚኮንዳክተሮች ኤፒታክሲ ይፈጥራሉ።

በሲቪዲ መሳሪያዎች ውስጥ፣ ንጣፉ በቀጥታ በብረት ላይ ወይም በቀላሉ ለኤፒታክሲያል ማስቀመጫ በመሠረት ላይ መቀመጥ አይችልም፣ ምክንያቱም በብዙ ምክንያቶች ተጽዕኖ ስለሚያሳድር። ስለዚህ፣ ንጣፉን ለመያዝ ንጣፉ ወይም ትሪ ያስፈልጋል፣ ከዚያም በንጣፉ ላይ ኤፒታክሲያል ማስቀመጫ ለማከናወን የሲቪዲ ቴክኖሎጂን ይጠቀማል። ይህ ንጣፉየ MOCVD ግራፋይት ሱሰተር(እንዲሁም ይባላል)የMOCVD ግራፋይት ትሪ).

የእሱ መዋቅር ከዚህ በታች ባለው ስእል ይታያል፡

የግራፋይት ሱሰሰተር የሲቪዲ ሽፋን ለምን ያስፈልገዋል?

የግራፊት ተከላካይ በMOCVD መሳሪያዎች ውስጥ ካሉት ዋና ዋና ክፍሎች አንዱ ነው። የንጣፉ ተሸካሚ እና የማሞቂያ አካል ነው። እንደ የሙቀት መረጋጋት እና የሙቀት ወጥነት ያሉ የአፈጻጸም መለኪያዎች በኤፒታክሲያል ቁሳቁስ እድገት ጥራት ላይ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ፣ እና የኤፒታክሲያል ቀጭን የፊልም ቁሳቁሶች ወጥነት እና ንፅህናን በቀጥታ ይወስናሉ። ስለዚህ ጥራቱ በቀጥታ የኤፒታክሲያል ዋፈርዎችን ዝግጅት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል። በተመሳሳይ ጊዜ፣ የአጠቃቀም ብዛት እየጨመረ እና በስራ ሁኔታዎች ላይ ለውጦች ሲከሰቱ፣ ለመልበስ እና ለመቀደድ በጣም ቀላል ነው፣ ሊበላሽ የሚችል ነው። የግራፋይት እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂነት እና መረጋጋት እንደ MOCVD መሳሪያዎች መሰረታዊ አካል ትልቅ ጥቅም ይሰጡታል።

ይሁን እንጂ፣ ንፁህ ግራፋይት ብቻ ከሆነ አንዳንድ ችግሮች ይኖራሉ። በምርት ሂደቱ ውስጥ፣ የተረፈ ዝገት ጋዞች እና የብረት ኦርጋኒክ ቁስ ይኖራሉ፣ እና የግራፋይት ሱሰሴፕተር ይበላሻል እና ይወድቃል፣ ይህም የግራፋይት ሱሰሴፕተር የአገልግሎት ዘመንን በእጅጉ ይቀንሳል። በተመሳሳይ ጊዜ፣ የሚወድቀው የግራፋይት ዱቄት ለዋፈር ብክለት ያስከትላል፣ ስለዚህ እነዚህ ችግሮች በመሠረት ዝግጅት ሂደት ውስጥ መፈታት አለባቸው። የሽፋን ቴክኖሎጂ የገጽታ ዱቄት መጠገንን፣ የሙቀት አማቂነትን ማሻሻል እና የሙቀት ስርጭትን ማመጣጠን ይችላል፣ እና ይህንን ችግር ለመፍታት ዋናው ቴክኖሎጂ ሆኗል።

የግራፊት መሰረትን በመተግበር አካባቢ እና የአጠቃቀም መስፈርቶች መሰረት፣ የወለል ሽፋኑ የሚከተሉትን ባህሪያት ሊኖረው ይገባል፡

1. ከፍተኛ ጥግግት እና ሙሉ ሽፋን፡የግራፋይት መሰረቱ ከፍተኛ ሙቀትና ዝገት ባለበት የስራ አካባቢ ውስጥ ነው። መሬቱ ሙሉ በሙሉ መሸፈን አለበት፣ እና ሽፋኑ ጥሩ የመከላከያ ሚና ለመጫወት ጥሩ ጥግግት ሊኖረው ይገባል።

2. ጥሩ የወለል ጠፍጣፋነት፡ለአንድ ክሪስታል እድገት የሚውለው የግራፋይት መሠረት በጣም ከፍተኛ የሆነ የገጽታ ጠፍጣፋነት ስለሚፈልግ፣ ሽፋኑ ከተዘጋጀ በኋላ የመሠረቱ የመጀመሪያ ጠፍጣፋነት መጠበቅ አለበት፣ ማለትም የሽፋኑ ወለል ወጥ መሆን አለበት።

3. ጥሩ የመተሳሰር ጥንካሬ፡በግራፊት መሰረት እና በሽፋን ቁሳቁስ መካከል ያለውን የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት ልዩነት መቀነስ በሁለቱ መካከል ያለውን የመተሳሰሪያ ጥንካሬ ውጤታማ በሆነ መንገድ ሊያሻሽል ይችላል። ከፍተኛ እና ዝቅተኛ የሙቀት የሙቀት ዑደቶችን ካጋጠመ በኋላ ሽፋኑ ለመስበር ቀላል አይደለም።

4. ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ፡ከፍተኛ ጥራት ያለው ቺፕ እድገት የግራፋይት መሰረት ፈጣን እና ወጥ የሆነ ሙቀት እንዲያቀርብ ይጠይቃል፣ ስለዚህ የሽፋን ቁሳቁስ ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ ሊኖረው ይገባል።

5. ከፍተኛ የማቅለጥ ነጥብ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው የኦክሳይድ መቋቋም እና የዝገት መቋቋም፡ሽፋኑ በከፍተኛ ሙቀት እና በዝገት በሚሰራ የስራ አካባቢ ውስጥ በተረጋጋ ሁኔታ መስራት መቻል አለበት።

የሙቀት መረጋጋት፣ የሙቀት ወጥነት እና ሌሎች የአፈፃፀም መለኪያዎችየሲሲ ሽፋን ያለው ግራፋይት ተከላካይበኤፒታክሲያል ቁስ እድገት ጥራት ላይ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ፣ ስለዚህ የMOCVD መሳሪያዎች ዋና ቁልፍ አካል ነው።

የβ-SiC (3C-SiC) ክሪስታል ቅርፅ እንደ ሽፋን ይመረጣል። ከሌሎች የክሪስታል ቅርጾች ጋር ​​ሲነጻጸር፣ ይህ የክሪስታል ቅርፅ እንደ ጥሩ ቴርሞዳይናሚክ መረጋጋት፣ የኦክሳይድ መቋቋም እና የዝገት መቋቋም ያሉ ተከታታይ እጅግ በጣም ጥሩ ባህሪያት አሉት። በተመሳሳይ ጊዜ፣ በመሠረቱ ከግራፋይት ጋር የሚጣጣም የሙቀት ማስተላለፊያ አለው፣ በዚህም የግራፋይት መሠረት ልዩ ባህሪያትን ይሰጣል። በከፍተኛ ሙቀት ኦክሳይድ እና ዝገት እና በአገልግሎት ወቅት የዱቄት መጥፋት ምክንያት የሚመጣውን የግራፋይት መሠረት ውድቀት በብቃት መፍታት ይችላል፣ እና የግራፋይት መሠረትን ገጽታ ጥቅጥቅ ያለ፣ ቀዳዳ የሌለው፣ ከፍተኛ ሙቀት የሚቋቋም፣ ፀረ-ዝገት፣ ፀረ-ኦክሳይድ እና ሌሎች ባህሪያትን በማድረግ የክሪስታል ኤፒታክሲያል ጥራት እና የግራፋይት መሠረት የአገልግሎት ዘመንን ያሻሽላል (የSiC ሽፋን ያለው የግራፋይት መሠረት የአገልግሎት ዘመን በእቶኖች ውስጥ ይለካል)።

ለከፍተኛ ሙቀት እና ዝገት የሚቋቋም የ MOCVD ግራፋይት ትሪ/ሱሰተር እንዴት መምረጥ ይቻላል?

በሚመርጡበት ጊዜ አንድግራፋይት ትሪ ወይም susceptor ለMOCVDለከፍተኛ የሙቀት መጠን ዝገት የሚቋቋም ከሆነ የሚከተሉትን ቁልፍ ነገሮች ግምት ውስጥ ማስገባት ያስፈልጋል፡

1. የቁሳቁስ ንፅህና፡ከፍተኛ ንፁህ የሆኑ የግራፋይት ቁሳቁሶች በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ዝገትን እና ኦክሳይድን በተሻለ ሁኔታ መቋቋም እና የቆሻሻ መጣያ ሂደት ላይ ያለውን ተጽእኖ መቀነስ ይችላሉ።

2. ጥግግት እና ቀዳዳ፡ከፍተኛ ጥግግት እና ዝቅተኛ ቀዳዳ ያላቸው የግራፋይት ትሪዎች የተሻለ የሜካኒካል ጥንካሬ እና የዝገት መቋቋም ችሎታ አላቸው፣ እና የጋዝ ዘልቆ መግባትን እና የቁሳቁስ መሸርሸርን በብቃት መከላከል ይችላሉ።

3. የሙቀት ማስተላለፊያ፡ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity) ያለው የግራፋይት ትሬይ ሙቀትን በእኩል ለማሰራጨት፣ የሙቀት ውጥረትን ለመቀነስ እና የመሳሪያዎቹን መረጋጋት እና የአገልግሎት ዘመን ለማሻሻል ይረዳል።

4. የገጽታ ህክምና፡እንደ ሽፋን ወይም ሽፋን ያሉ ልዩ የወለል ህክምና የተደረገላቸው የግራፋይት ፓሌቶች የዝገት መቋቋም እና የመልበስ መቋቋምን የበለጠ ሊያሻሽሉ ይችላሉ።

5. መጠን እና ቅርፅ፡በ MOCVD መሳሪያዎች ልዩ መስፈርቶች መሠረት፣ የትሪውን ከመሳሪያዎቹ ጋር ተኳሃኝነት እና የአሠራር ምቾት ለማረጋገጥ ተገቢውን መጠን እና ቅርፅ ይምረጡ።

6. የአምራች ስም፡የምርት ጥራት እና ከሽያጭ በኋላ የሚሰጠውን አገልግሎት አስተማማኝነት ለማረጋገጥ ጥሩ ስም እና የበለፀገ ልምድ ያለው አምራች ይምረጡ።

7. ወጪ ቆጣቢነት፡የቴክኒክ መስፈርቶችን ለማሟላት መነሻ በማድረግ፣ ወጪ ቆጣቢነትን ያስቡበት እና ከፍተኛ ወጪ የሚጠይቁ ምርቶችን ይምረጡ።

VET Energy ከፍተኛ ንፁህ የግራፋይት ተከላካይ አቅራቢ ሲሆን የተለያዩ ምድቦችን እናቀርባለን፣ እና በተለያዩ የምርት ስሞች፣ ሞዴሎች እና ዝርዝር መግለጫዎች ውስጥ በMOCVD መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል።የሲሲ ሽፋን ያለው ግራፋይት ተከላካይበVET ኢነርጂ የተመረተው ምንም አይነት የሽፋን መገናኛ ነጥቦች እና ደካማ አገናኞች የሉትም። የአገልግሎት ዘመንን በተመለከተ፣ የተለያዩ ፍላጎቶች ያላቸውን ደንበኞች (ክሎሪን የያዘ ከባቢ አየርን ጨምሮ) መስፈርቶችን ማሟላት ይችላሉ፣ እና ደንበኞች ማማከር እና መጠየቅ ይችላሉ።