MOCVD ግራፋይት ትሪ ምንድን ነው?

የዋፈር ኤፒታክሲያል እድገት የሚገኘው በብረታ ብረት ኦርጋኒክ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ክምችት (MOCVD) ቴክኖሎጂ አማካኝነት ሲሆን በውስጡም እጅግ በጣም ንጹህ ጋዞች ወደ ሬአክተር ውስጥ ገብተው በደንብ በሚለኩበት ጊዜ ከፍ ባለ የሙቀት መጠን በመዋሃድ ኬሚካላዊ መስተጋብር እንዲፈጠር በማድረግ ሴሚኮንዳክተር ዋፍሎች ላይ በጣም በቀጭኑ አቶሚክ ንብርብሮች ላይ ተቀምጠው የቁሳቁሶች እና የሴሚኮንዳክተሮች ስብስብ ይፈጥራሉ።

በሲቪዲ መሳሪያዎች ውስጥ, ንጣፉ በቀጥታ በብረት ላይ ወይም በቀላሉ ለኤፒታክሲያል ክምችት መሰረት ላይ መቀመጥ አይችልም, ምክንያቱም በብዙ ምክንያቶች ተጽዕኖ ይኖረዋል. ስለዚህ, ንጣፉን ለመያዝ susceptor ወይም ትሪ ያስፈልጋል, እና በመቀጠል የሲቪዲ ቴክኖሎጂን በመጠቀም በንጥረ-ነገር ላይ ኤፒታክሲያል ማከማቸት. ይህ ተጠርጣሪ ሀMOCVD ግራፋይት ጥርጣሬ(እንዲሁም ይባላልMOCVD ግራፋይት ትሪ).

አወቃቀሩ ከዚህ በታች ባለው ስእል ውስጥ ይታያል.

ለምን የግራፍ ጥርጣሬ የሲቪዲ ሽፋን ያስፈልገዋል?

የግራፋይት ተንጠልጣይ በMOCVD መሳሪያዎች ውስጥ ካሉት ዋና ዋና ክፍሎች አንዱ ነው. የንጥረቱ ተሸካሚ እና ማሞቂያ አካል ነው. እንደ የሙቀት መረጋጋት እና የሙቀት ተመሳሳይነት ያሉ የአፈፃፀም መለኪያዎች ለኤፒታክሲያል ቁስ እድገት ጥራት ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ ፣ እና በቀጥታ የኤፒታክሲያል ቀጭን ፊልም ቁሶችን ተመሳሳይነት እና ንፅህናን ይወስናሉ። ስለዚህ, ጥራቱ በቀጥታ ኤፒታክሲያል ቫፈርስ ዝግጅት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል. በተመሳሳይ ጊዜ, የአጠቃቀም ብዛት መጨመር እና በስራ ሁኔታ ላይ ለውጦች, ለመልበስ እና ለመቀደድ በጣም ቀላል ነው, የፍጆታ ቁሳቁስ ነው. እጅግ በጣም ጥሩው የሙቀት መቆጣጠሪያ እና የግራፋይት መረጋጋት እንደ MOCVD መሳሪያዎች መሰረታዊ አካል ትልቅ ጥቅም ይሰጠዋል ።

ነገር ግን, ንጹህ ግራፋይት ብቻ ከሆነ, አንዳንድ ችግሮች ይኖራሉ. በምርት ሂደቱ ውስጥ, ቀሪዎች የሚበላሹ ጋዞች እና የብረት ኦርጋኒክ ቁስ አካላት ይኖራሉ, እና የግራፍ ጥርጣሬው ይወድቃል እና ይወድቃል, ይህም የግራፍ ጥርጣሬን የአገልግሎት ህይወት በእጅጉ ይቀንሳል. በተመሳሳይ ጊዜ የወደቀው ግራፋይት ዱቄት በቫፈር ላይ ብክለትን ያስከትላል, ስለዚህ እነዚህ ችግሮች በመሠረቱ ዝግጅት ሂደት ውስጥ መፍታት አለባቸው. ሽፋን ቴክኖሎጂ የገጽታ ብናኝ ማስተካከልን፣ የሙቀት መቆጣጠሪያን ከፍ ማድረግ እና የሙቀት ስርጭትን ማመጣጠን የሚችል ሲሆን ይህንን ችግር ለመፍታት ዋናው ቴክኖሎጂ ሆኗል።

በመተግበሪያው አካባቢ እና በግራፍ መሠረት የአጠቃቀም መስፈርቶች መሠረት ፣ የወለል ንጣፍ የሚከተሉትን ባህሪዎች ሊኖሩት ይገባል ።

1. ከፍተኛ ውፍረት እና ሙሉ ሽፋን፡የግራፍ መሰረቱ በከፍተኛ ሙቀት እና በቆሸሸ የስራ አካባቢ ውስጥ ነው. ሽፋኑ ሙሉ በሙሉ የተሸፈነ መሆን አለበት, እና ሽፋኑ ጥሩ የመከላከያ ሚና ለመጫወት ጥሩ ጥንካሬ ሊኖረው ይገባል.

2. ጥሩ የገጽታ ጠፍጣፋ;ለነጠላ ክሪስታል እድገት የሚውለው ግራፋይት መሰረት በጣም ከፍተኛ የሆነ ጠፍጣፋነት ስለሚያስፈልገው ሽፋኑ ከተዘጋጀ በኋላ የመሠረቱ የመጀመሪያ ጠፍጣፋነት መጠበቅ አለበት, ማለትም የሽፋኑ ወለል አንድ አይነት መሆን አለበት.

3. ጥሩ የግንኙነት ጥንካሬ;በግራፋይት መሠረት እና በሸፈነው ቁሳቁስ መካከል ያለውን የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ልዩነት መቀነስ በሁለቱ መካከል ያለውን የመተሳሰሪያ ጥንካሬ በተሳካ ሁኔታ ያሻሽላል። ከፍተኛ እና ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ያለው የሙቀት ዑደቶች ካጋጠሙ በኋላ, ሽፋኑ ለመበጥበጥ ቀላል አይደለም.

4. ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ;ከፍተኛ ጥራት ያለው ቺፕ እድገት የግራፍ መሰረትን ፈጣን እና ወጥ የሆነ ሙቀትን ይፈልጋል ፣ ስለሆነም የሽፋኑ ቁሳቁስ ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ ሊኖረው ይገባል።

5. ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ, ከፍተኛ የሙቀት መጠን ኦክሳይድ መቋቋም እና የዝገት መቋቋም;ሽፋኑ በከፍተኛ ሙቀት እና በቆሸሸ የሥራ አካባቢ ውስጥ በተረጋጋ ሁኔታ መሥራት አለበት.

የሙቀት መረጋጋት, የሙቀት ተመሳሳይነት እና ሌሎች የአፈፃፀም መለኪያዎችበሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት ጥርጣሬበኤፒታክሲያል የቁሳቁስ እድገት ጥራት ላይ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ፣ ስለዚህ የMOCVD መሳሪያዎች ዋና ቁልፍ አካል ነው።

β-SiC (3C-SiC) ክሪስታል ቅርጽ እንደ ሽፋን ይመረጣል. ከሌሎች ክሪስታል ቅርጾች ጋር ​​ሲነጻጸር, ይህ ክሪስታል ቅርጽ እንደ ጥሩ ቴርሞዳይናሚክ መረጋጋት, የኦክሳይድ መቋቋም እና የዝገት መቋቋም የመሳሰሉ ተከታታይ ምርጥ ባህሪያት አሉት. በተመሳሳይ ጊዜ, በመሠረቱ ከግራፋይት ጋር የሚጣጣም የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity) አለው, ስለዚህም የግራፍ መሰረቱን ልዩ ባህሪያትን ይሰጣል. በከፍተኛ ሙቀት oxidation እና በአገልግሎት ወቅት ዝገት እና ዱቄት መጥፋት ምክንያት ግራፋይት መሠረት ያለውን ውድቀት ውጤታማ በሆነ መንገድ መፍታት ይችላል, እና ግራፋይት መሠረት ላይ ላዩን ጥቅጥቅ, ያልሆኑ ባለ ቀዳዳ, ከፍተኛ ሙቀት የመቋቋም, ፀረ-corrosion, ፀረ-oxidation እና ሌሎች ባህርያት, በዚህም ክሪስታል epitaxial ጥራት እና ግራፋይት ያለውን አገልግሎት ሕይወት በማሻሻል ላይ መሠረት ያለው የግራፋይት ሕይወት መሠረት ነው (የአገልግሎት ውህድ ነው. ምድጃዎች).

ለከፍተኛ ሙቀት እና ለዝገት መቋቋም የሚችል የMOCVD ግራፋይት ትሪ/ሱሴፕተር እንዴት እንደሚመረጥ?

በሚመርጡበት ጊዜ ሀግራፋይት ትሪ ወይም susceptor ለMOCVDለከፍተኛ የሙቀት መጠን ዝገት የሚቋቋም, የሚከተሉት ቁልፍ ነገሮች ግምት ውስጥ መግባት አለባቸው.

1. የቁሳቁስ ንፅህና;ከፍተኛ-ንፅህና የግራፋይት ቁሳቁሶች በከፍተኛ ሙቀቶች ውስጥ ዝገት እና ኦክሳይድን በተሻለ ሁኔታ መቋቋም እና በቆሻሻ ማጠራቀሚያ ሂደት ላይ የንጽህና ተፅእኖን ሊቀንስ ይችላል.

2. ጥግግት እና porosity:ከፍተኛ ጥግግት እና ዝቅተኛ porosity ጋር ግራፋይት ትሪዎች የተሻለ መካኒካል ጥንካሬ እና ዝገት የመቋቋም, እና ውጤታማ ጋዝ ዘልቆ እና ቁሳዊ መሸርሸር ለመከላከል ይችላሉ.

3. የሙቀት መቆጣጠሪያ;ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ ግራፋይት ትሪው ሙቀትን በእኩል መጠን ለማከፋፈል, የሙቀት ጭንቀትን ለመቀነስ እና የመሳሪያውን መረጋጋት እና የአገልግሎት ህይወት ለማሻሻል ይረዳል.

4. የገጽታ አያያዝ፡-እንደ ሽፋን ወይም ንጣፍ ያሉ ልዩ የገጽታ ሕክምና የተደረገላቸው የግራፋይት ፓሌቶች የዝገት ተቋማቸውን የበለጠ ሊያሳድጉ እና የመቋቋም ችሎታቸውን ሊለብሱ ይችላሉ።

5. መጠን እና ቅርፅ;በMOCVD መሳሪያዎች ልዩ መስፈርቶች መሰረት, ትሪው ከመሳሪያው ጋር ያለውን ተኳሃኝነት እና የአሠራሩን ምቹነት ለማረጋገጥ ተገቢውን መጠን እና ቅርፅ ይምረጡ.

6. የአምራች ስም፡-የምርት ጥራት እና ከሽያጭ በኋላ አገልግሎት አስተማማኝነት ለማረጋገጥ ጥሩ ስም እና የበለፀገ ልምድ ያለው አምራች ይምረጡ።

7. ወጪ ቆጣቢነት፡-የቴክኒካዊ መስፈርቶችን በማሟላት ላይ, ወጪ ቆጣቢነትን ያስቡ እና ከፍተኛ ወጪ አፈጻጸም ያላቸውን ምርቶች ይምረጡ.

VET ኢነርጂ ከፍተኛ-ንፅህና የግራፋይት ተጎጂ አቅራቢ ነው ፣ ብዙ አይነት ምድቦችን እናቀርባለን ፣ እና በተለያዩ የምርት ስሞች ፣ ሞዴሎች እና ዝርዝሮች ውስጥ በMOCVD መሣሪያዎች ውስጥ ሊያገለግል ይችላል። የበሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት ጥርጣሬበ VET ኢነርጂ የሚመረተው የሽፋን መገናኛ ነጥቦች እና ደካማ ማገናኛዎች የሉትም። ከአገልግሎት ህይወት አንፃር የተለያየ ፍላጎት ያላቸውን ደንበኞች (ክሎሪን የያዙ ከባቢ አየርን መጠቀምን ጨምሮ) የሚጠይቁትን ማሟላት የሚችሉ ሲሆን ደንበኞቻቸው እንዲያማክሩና እንዲጠይቁም እንጋብዛለን።