ሲሊከን ካርቦይድሲሊኮን እና ካርቦንን የያዘ ጠንካራ ውህድ ሲሆን በተፈጥሮ ውስጥ እጅግ በጣም ብርቅዬ የማዕድን ሞይሳኔት ሆኖ ይገኛል። የሲሊኮን ካርቦይድ ቅንጣቶች በሲንቴሪንግ አማካኝነት እርስ በርስ በመተሳሰር በጣም ጠንካራ የሆኑ ሴራሚክስዎችን መፍጠር ይችላሉ፣ ይህም በተለይ በሴሚኮንዳክተር ፕሮሲሽን ውስጥ ከፍተኛ ጥንካሬ በሚያስፈልጋቸው አፕሊኬሽኖች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል።
የ SiC አካላዊ መዋቅር
የሲሲ ሽፋን ምንድን ነው?
የሲሲ ሽፋን ጥቅጥቅ ያለ፣ የሚለብስ እና የሚቋቋም የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ሲሆን ከፍተኛ ዝገት እና የሙቀት መቋቋም እና እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂነት አለው። ይህ ከፍተኛ ንፅህና ያለው የሲሲ ሽፋን በዋናነት በሴሚኮንዳክተር እና በኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ የዋፈር ተሸካሚዎችን፣ መሠረቶችን እና የማሞቂያ ክፍሎችን ከዝገት እና ምላሽ ሰጪ አካባቢዎች ለመጠበቅ ጥቅም ላይ ይውላል። የሲሲ ሽፋን በከፍተኛ ቫክዩም፣ ምላሽ ሰጪ እና ኦክስጅን አካባቢዎች ውስጥ ላሉ የቫክዩም ምድጃዎች እና ለናሙና ማሞቂያዎች ተስማሚ ነው።
ከፍተኛ ንፅህና ያለው የሲሲ ሽፋን ወለል
የሲሲ ሽፋን ሂደት ምንድን ነው?
ቀጭን የሲሊኮን ካርቦይድ ንብርብር በንጥረ ነገሩ ወለል ላይ ይቀመጣል በመጠቀምሲቪዲ (የኬሚካል ትነት ክምችት). ማስቀመጫው ብዙውን ጊዜ የሚከናወነው በ1200-1300°ሴ ባለው የሙቀት መጠን ሲሆን የሙቀት ጫናን ለመቀነስ የንጣፉ ቁሳቁስ የሙቀት መስፋፋት ባህሪ ከSiC ሽፋን ጋር ተኳሃኝ መሆን አለበት።

የሲቪዲ ሲሲ ሽፋን ፊልም ክሪስታል መዋቅር
የ SiC ሽፋን አካላዊ ባህሪያት በዋናነት የሚንፀባረቁት በከፍተኛ የሙቀት መቋቋም፣ በጠንካራነት፣ በዝገት መቋቋም እና በሙቀት አማቂነት ነው።
የተለመዱ የፊዚካል መለኪያዎች ብዙውን ጊዜ እንደሚከተለው ናቸው
ግትርነትየSiC ሽፋን በተለምዶ ከ2000-2500 HV ክልል ውስጥ የቪከርስ ጥንካሬ አለው፣ ይህም በኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ውስጥ እጅግ በጣም ከፍተኛ የመልበስ እና የመነካካት መቋቋም ይሰጣቸዋል።
ጥግግትየSiC ሽፋኖች በተለምዶ ከ3.1-3.2 ግ/ሴሜ³ ጥግግት አላቸው። ከፍተኛ ጥግግት ለሽፋኑ ሜካኒካል ጥንካሬ እና ዘላቂነት አስተዋጽኦ ያደርጋል።
የሙቀት ማስተላለፊያየSiC ሽፋኖች ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ አቅም አላቸው፣ በተለይም በ20°ሴ (በ120-200 W/mK) ክልል ውስጥ። ይህም በከፍተኛ የሙቀት መጠን አካባቢዎች ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ አቅም ይሰጠዋል እና በተለይ በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ላሉ የሙቀት ማስተላለፊያ መሳሪያዎች ተስማሚ ያደርገዋል።
የመቅለጥ ነጥብሲሊከን ካርቦይድ ወደ 2730°ሴ የሚጠጋ የመቅለጥ ነጥብ ያለው ሲሆን በከፍተኛ የሙቀት መጠን በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት አለው።
የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት: የሲሲ ሽፋኖች ዝቅተኛ መስመራዊ የሙቀት መስፋፋት (CTE) ኮፊሸንት አላቸው፣ በተለይም በ25-1000℃ ክልል ውስጥ (በ4.0-4.5 µm/mK ክልል ውስጥ)። ይህ ማለት የመጠን መረጋጋት ከትላልቅ የሙቀት ልዩነቶች ጋር በጣም ጥሩ ነው ማለት ነው።
የዝገት መቋቋም፦ የሲሲ ሽፋኖች በጠንካራ አሲድ፣ አልካላይን እና ኦክሳይድ አካባቢዎች ውስጥ ለዝገት እጅግ በጣም የሚቋቋሙ ናቸው፣ በተለይም ጠንካራ አሲዶችን (እንደ HF ወይም HCl ያሉ) ሲጠቀሙ፣ የዝገት መቋቋም አቅማቸው ከባህላዊ የብረት ቁሳቁሶች በጣም የላቀ ነው።
የሲሲ ሽፋን አፕሊኬሽን ንጣፍ
የሲሲ ሽፋን ብዙውን ጊዜ የንጣፉን የዝገት መቋቋም፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም እና የፕላዝማ መሸርሸር መቋቋምን ለማሻሻል ያገለግላል። የተለመዱ የትግበራ ንጣፎች የሚከተሉትን ያካትታሉ፡
| የንዑስ ክፍል አይነት | የማመልከቻ ምክንያት | የተለመደው አጠቃቀም |
| ግራፋይት | - ቀላል መዋቅር፣ ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ - ነገር ግን በቀላሉ በፕላዝማ የተበላሸ፣ የ SiC ሽፋን ጥበቃ ይፈልጋል | የቫኩም ቻምበር ክፍሎች፣ የግራፋይት ጀልባዎች፣ የፕላዝማ ቅርፊት ትሪዎች፣ ወዘተ. |
| ኳርትዝ (ኳርትዝ/ሲኦ₂) | - ከፍተኛ ንፅህና ግን በቀላሉ የሚበላሽ - ሽፋን የፕላዝማ መሸርሸርን የመቋቋም አቅምን ያሻሽላል | የሲቪዲ/ፒኢሲቪዲ የክፍል ክፍሎች |
| ሴራሚክስ (እንደ አሉሚና አል₂O₃ ያሉ) | - ከፍተኛ ጥንካሬ እና የተረጋጋ መዋቅር - ሽፋን የገጽታ ዝገት መቋቋምን ያሻሽላል | የክፍል ሽፋን፣ የቤት እቃዎች፣ ወዘተ. |
| ብረቶች (እንደ ሞሊብዲነም፣ ቲታኒየም፣ ወዘተ) | - ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ ግን ደካማ የዝገት መቋቋም ችሎታ - ሽፋን የገጽታ መረጋጋትን ያሻሽላል | ልዩ የሂደት ምላሽ ክፍሎች |
| የሲሊኮን ካርቦይድ ሲንተሬድ ቦዲ (SiC ጅምላ) | - ውስብስብ የሥራ ሁኔታዎች ከፍተኛ መስፈርቶች ላሏቸው አካባቢዎች - ሽፋን ንፅህናን እና የዝገት መቋቋምን የበለጠ ያሻሽላል | ከፍተኛ ደረጃ ያላቸው የCVD/ALD ክፍል ክፍሎች |
የሲሲ ሽፋን ያላቸው ምርቶች በተለምዶ በሚከተሉት ሴሚኮንዳክተር አካባቢዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ
የሲሲ ሽፋን ምርቶች በዋናነት በከፍተኛ ሙቀት፣ ከፍተኛ ዝገት እና ጠንካራ የፕላዝማ አካባቢዎች ውስጥ በሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ። የሚከተሉት በርካታ ዋና ዋና የትግበራ ሂደቶች ወይም መስኮች እና አጫጭር መግለጫዎች ናቸው፡
| የማመልከቻ ሂደት/መስክ | አጭር መግለጫ | የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ተግባር |
| የፕላዝማ ቅርፊት (ቅርፊት) | ለዲዛይን ሽግግር ፍሎሪን ወይም ክሎሪን ላይ የተመሰረቱ ጋዞችን ይጠቀሙ | የፕላዝማ መሸርሸርን ይቋቋሙ እና የቅንጣት እና የብረት ብክለትን ይከላከሉ |
| የኬሚካል ትነት ክምችት (CVD/PECVD) | የኦክሳይድ፣ የናይትሬድ እና ሌሎች ቀጭን ፊልሞችን መጣል | የዝገት ቀዳሚ ጋዞችን ይቋቋሙ እና የክፍሉን ዕድሜ ይጨምሩ |
| የፊዚካል ትነት ክምችት (PVD) ክፍል | በሽፋን ሂደት ወቅት ከፍተኛ ኃይል ያለው የቅንጣት ቦምብ ድብደባ | የምላሽ ክፍሉን የአፈር መሸርሸር መቋቋም እና የሙቀት መቋቋምን ያሻሽሉ |
| የ MOCVD ሂደት (እንደ SiC epitaxial growth) | ከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ የሃይድሮጂን ዝገት ከባቢ አየር ስር የረጅም ጊዜ ምላሽ | የመሳሪያዎችን መረጋጋት ይጠብቁ እና የሚያድጉ ክሪስታሎችን ብክለት ይከላከሉ |
| የሙቀት ሕክምና ሂደት (LPCVD፣ ስርጭት፣ ማቃጠል፣ ወዘተ) | ብዙውን ጊዜ በከፍተኛ ሙቀት እና በቫክዩም/ከባቢ አየር ውስጥ ይከናወናል | የግራፋይት ጀልባዎችን እና ትሪዎችን ከኦክሳይድ ወይም ከዝገት ይጠብቁ |
| የዋፈር ተሸካሚ/ቻክ (የዋፈር አያያዝ) | የግራፋይት መሰረት ለዋፈር ዝውውር ወይም ድጋፍ | የቅንጣት መፍሰስን ይቀንሱ እና የመገናኛ ብክለትን ያስወግዱ |
| የ ALD ክፍል ክፍሎች | የአቶሚክ ንብርብር ክምችትን ደጋግሞ እና በትክክል መቆጣጠር | ሽፋኑ ክፍሉን ንፁህ ያደርገዋል እና ለቅድመ-ተከላካዮች ከፍተኛ የዝገት መቋቋም አለው |
የVET ኃይልን ለምን ይመርጣሉ?
VET Energy በቻይና ውስጥ ግንባር ቀደም አምራች፣ ፈጣሪ እና የ SiC ሽፋን ምርቶች መሪ ሲሆን ዋና ዋና የ SiC ሽፋን ምርቶች የሚከተሉትን ያካትታሉየዋፈር ተሸካሚ ከ SiC ሽፋን ጋር, SiC ሽፋን ያለውኤፒታክሲያል የሱስ ተጠቂ, በሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት ቀለበት, የግማሽ ጨረቃ ክፍሎች ከ SiC ሽፋን ጋር, የሲሲ ሽፋን ያለው የካርቦን-ካርቦን ኮምፖስት, በሲሲ የተሸፈነ የዋፈር ጀልባ, የሲሲ ሽፋን ያለው ማሞቂያወዘተ. VET Energy ለሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪው ከፍተኛ የቴክኖሎጂ እና የምርት መፍትሄዎችን ለማቅረብ ቁርጠኛ ነው፣ እና የማበጀት አገልግሎቶችን ይደግፋል። በቻይና የረጅም ጊዜ አጋርዎ ለመሆን ከልብ እንጓጓለን።
ማንኛውም ጥያቄ ካለዎት ወይም ተጨማሪ ዝርዝሮችን ከፈለጉ እባክዎን እኛን ለማግኘት አያመንቱ።
WhatsApp&Wechat፡+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
የፖስታ ሰዓት፡- ጥቅምት-18-2024
