ການເຄືອບ sic ແມ່ນຫຍັງ?

ຊິລິກອນຄາໄບດ໌ເປັນສານປະກອບແຂງທີ່ມີຊິລິກອນ ແລະ ຄາບອນ, ແລະ ພົບເຫັນຢູ່ໃນທຳມະຊາດເປັນແຮ່ທາດ moissanite ທີ່ຫາຍາກຫຼາຍ. ອະນຸພາກຊິລິກອນຄາໄບສາມາດຜູກມັດເຂົ້າກັນໄດ້ໂດຍການເຜົາເພື່ອສ້າງເປັນເຊລາມິກແຂງຫຼາຍ, ເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການນໍາໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການຄວາມທົນທານສູງ, ໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນໍາ.

ໂຄງສ້າງທາງກາຍະພາບຂອງ SiC

ການເຄືອບ SiC ແມ່ນຫຍັງ?

ການເຄືອບ SiC ເປັນສານເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບທີ່ໜາແໜ້ນ, ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່, ມີຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ຄວາມຮ້ອນສູງ ແລະ ນຳຄວາມຮ້ອນໄດ້ດີເລີດ. ການເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງນີ້ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ເອເລັກໂຕຣນິກເພື່ອປົກປ້ອງຕົວນຳແຜ່ນເວເຟີ, ພື້ນຖານ ແລະ ອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນຈາກສະພາບແວດລ້ອມທີ່ກັດກ່ອນ ແລະ ມີປະຕິກິລິຍາ. ການເຄືອບ SiC ຍັງເໝາະສົມສຳລັບເຕົາອົບສູນຍາກາດ ແລະ ຄວາມຮ້ອນຕົວຢ່າງໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ປະຕິກິລິຍາ ແລະ ອົກຊີເຈນສູງ.

ພື້ນຜິວເຄືອບ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ຂະບວນການເຄືອບ SiC ແມ່ນຫຍັງ?

ຊັ້ນບາງໆຂອງຊິລິກອນຄາໄບຖືກວາງໄວ້ເທິງໜ້າດິນຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນໂດຍໃຊ້CVD (ການຕົກຕະກອນໄອເຄມີ)ການວາງຊັ້ນປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຮັດຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມ 1200-1300°C ແລະ ພຶດຕິກຳການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸຊັ້ນຮອງພື້ນຄວນຈະເຂົ້າກັນໄດ້ກັບການເຄືອບ SiC ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ.

ໂຄງສ້າງຜລຶກຟິມ CVD SIC

ໂຄງສ້າງຜລຶກຟິມເຄືອບ CVD SIC

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງການເຄືອບ SiC ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນໃນຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມແຂງ, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ.

ຕົວກໍານົດການທາງກາຍະພາບທົ່ວໄປມັກຈະມີດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

ຄວາມແຂງການເຄືອບ SiC ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວມີຄວາມແຂງຂອງ Vickers ໃນລະດັບ 2000-2500 HV, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ພວກມັນທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ ແລະ ຜົນກະທົບສູງຫຼາຍໃນການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳ.

ຄວາມໜາແໜ້ນ: ຊັ້ນເຄືອບ SiC ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວມີຄວາມໜາແໜ້ນ 3.1-3.2 g/cm³. ຄວາມໜາແໜ້ນສູງປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກ ແລະ ຄວາມທົນທານຂອງຊັ້ນເຄືອບ.

ການນຳຄວາມຮ້ອນ: ເຄືອບ SiC ມີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງ, ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຢູ່ໃນລະດັບ 120-200 W/mK (ທີ່ 20°C). ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມເປັນພິເສດສຳລັບອຸປະກອນການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ.

ຈຸດລະລາຍຊິລິກອນຄາໄບມີຈຸດລະລາຍປະມານ 2730°C ແລະ ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດໃນອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ.

ຄ່າສຳປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ: ການເຄືອບ SiC ມີສຳປະສິດເສັ້ນຊື່ຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE) ຕ່ຳ, ໂດຍປົກກະຕິຢູ່ໃນລະດັບ 4.0-4.5 µm/mK (ໃນ 25-1000 ℃). ນີ້ໝາຍຄວາມວ່າຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິຂອງມັນແມ່ນດີເລີດເມື່ອທຽບກັບຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມຂະໜາດໃຫຍ່.

ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ: ການເຄືອບ SiC ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຫຼາຍໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີກົດ, ດ່າງ ແລະ ອົກຊີເດຊັນ, ໂດຍສະເພາະເມື່ອໃຊ້ກົດທີ່ແຮງ (ເຊັ່ນ HF ຫຼື HCl), ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນຂອງມັນສູງກວ່າວັດສະດຸໂລຫະທຳມະດາຫຼາຍ.

ຊັ້ນຮອງພື້ນການເຄືອບ SiC

ການເຄືອບ SiC ມັກຖືກໃຊ້ເພື່ອປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງ plasma ຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ. ຊັ້ນຮອງພື້ນທີ່ນິຍົມໃຊ້ປະກອບມີດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

ປະເພດຊັ້ນວາງ	ເຫດຜົນຂອງແອັບພລິເຄຊັນ	ການນຳໃຊ້ທົ່ວໄປ
ແກຣໄຟ	- ໂຄງສ້າງເບົາ, ການນຳຄວາມຮ້ອນໄດ້ດີ - ແຕ່ກັດກ່ອນໄດ້ງ່າຍໂດຍ plasma, ຕ້ອງການການປ້ອງກັນການເຄືອບ SiC	ຊິ້ນສ່ວນຫ້ອງສູນຍາກາດ, ເຮືອແກຣໄຟ, ຖາດແກະສະຫຼັກພລາສມາ, ແລະອື່ນໆ.
ຄວດສ໌ (ຄວດສ໌/SiO₂)	- ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແຕ່ກັດກ່ອນງ່າຍ - ການເຄືອບຊ່ວຍເສີມສ້າງຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງ plasma	ຊິ້ນສ່ວນຂອງຫ້ອງ CVD/PECVD
ເຊລາມິກ (ເຊັ່ນ: ອະລູມິນາ Al₂O₃)	- ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ ແລະ ໂຄງສ້າງທີ່ໝັ້ນຄົງ - ການເຄືອບປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນຂອງພື້ນຜິວ	ການປົກຫຸ້ມຂອງຫ້ອງ, ອຸປະກອນຕ່າງໆ, ແລະອື່ນໆ.
ໂລຫະ (ເຊັ່ນ: ໂມລິບດີນຳ, ໄທທານຽມ, ແລະອື່ນໆ)	- ນຳຄວາມຮ້ອນໄດ້ດີແຕ່ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນບໍ່ດີ - ການເຄືອບຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງພື້ນຜິວ	ອົງປະກອບປະຕິກິລິຍາຂະບວນການພິເສດ
ຮ່າງກາຍທີ່ເຜົາດ້ວຍຊິລິກອນຄາໄບ (SiC ເປັນກ້ອນ)	- ສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການສູງສຳລັບສະພາບການເຮັດວຽກທີ່ສັບສົນ - ການເຄືອບຍັງຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມບໍລິສຸດ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ	ອົງປະກອບຂອງຫ້ອງ CVD/ALD ລະດັບສູງ

ຜະລິດຕະພັນເຄືອບ SiC ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນຂົງເຂດເຄິ່ງຕົວນໍາຕໍ່ໄປນີ້

ຜະລິດຕະພັນເຄືອບ SiC ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການປຸງແຕ່ງແບບເຄິ່ງຕົວນຳ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ການກັດກ່ອນສູງ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມ plasma ທີ່ແຂງແຮງ. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນຂະບວນການ ຫຼື ຂົງເຂດການນຳໃຊ້ທີ່ສຳຄັນ ແລະ ຄຳອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ຂັ້ນຕອນການສະໝັກ/ຂົງເຂດ	ລາຍລະອຽດສັ້ນໆ	ໜ້າທີ່ການເຄືອບຊິລິກອນຄາໄບ
ການແກະສະຫຼັກດ້ວຍພລາສມາ (Etching)	ໃຊ້ອາຍແກັສທີ່ມີຟລູອໍຣີນ ຫຼື ຄລໍຣີນ ສຳລັບການໂອນຮູບແບບ	ຕ້ານທານການກັດເຊາະຂອງ plasma ແລະ ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ ແລະ ໂລຫະ
ການຕົກຕະກອນໄອນ້ຳທາງເຄມີ (CVD/PECVD)	ການວາງຊັ້ນຂອງອົກໄຊ, ໄນໄຕຣດ ແລະ ຟິມບາງໆອື່ນໆ	ຕ້ານທານກັບອາຍແກັສຕັ້ງຕົ້ນທີ່ກັດກ່ອນ ແລະ ເພີ່ມອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອົງປະກອບ
ຫ້ອງການລະເຫີຍທາງກາຍະພາບ (PVD)	ການຖິ້ມລະເບີດຂອງອະນຸພາກພະລັງງານສູງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຄືອບ	ປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນຂອງຫ້ອງປະຕິກິລິຍາ
ຂະບວນການ MOCVD (ເຊັ່ນ: ການເຕີບໂຕຂອງ SiC epitaxial)	ປະຕິກິລິຍາໄລຍະຍາວພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ບັນຍາກາດທີ່ກັດກ່ອນດ້ວຍໄຮໂດຣເຈນສູງ	ຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນ ແລະ ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງຜລຶກທີ່ກຳລັງເຕີບໃຫຍ່
ຂະບວນການຮັກສາຄວາມຮ້ອນ (LPCVD, ການແຜ່ກະຈາຍ, ການອົບແຫ້ງ, ແລະອື່ນໆ)	ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະເຮັດຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ສູນຍາກາດ/ບັນຍາກາດ	ປົກປ້ອງເຮືອ ແລະ ຖາດແກຣໄຟດ໌ຈາກການຜຸພັງ ຫຼື ການກັດກ່ອນ
ຕົວຮອງຮັບແຜ່ນເວເຟີ/ຫົວຈັບ (ການຈັດການແຜ່ນເວເຟີ)	ຖານກຣາໄຟສຳລັບການໂອນເວເຟີ ຫຼື ການຮອງຮັບ	ຫຼຸດຜ່ອນການຫຼົ່ນຂອງອະນຸພາກ ແລະ ຫຼີກລ່ຽງການປົນເປື້ອນຈາກການສຳຜັດ
ອົງປະກອບຂອງຫ້ອງ ALD	ຄວບຄຸມການວາງຊັ້ນປະລໍາມະນູຊ້ຳແລ້ວຊ້ຳອີກ ແລະ ຖືກຕ້ອງ	ການເຄືອບຊ່ວຍໃຫ້ຫ້ອງດັ່ງກ່າວສະອາດ ແລະ ມີຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນສູງຕໍ່ກັບສານຕັ້ງຕົ້ນ.

ເປັນຫຍັງຕ້ອງເລືອກ VET Energy?

VET Energy ເປັນຜູ້ຜະລິດ, ຜູ້ປະດິດສ້າງ ແລະ ຜູ້ນໍາດ້ານຜະລິດຕະພັນເຄືອບ SiC ຊັ້ນນໍາໃນປະເທດຈີນ, ຜະລິດຕະພັນເຄືອບ SiC ຫຼັກໆລວມມີຜູ້ໃຫ້ບໍລິການແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີການເຄືອບ SiC, ເຄືອບດ້ວຍ SiCຕົວຮັບ epitaxial, ແຫວນແກຣໄຟທ໌ເຄືອບ SiC, ຊິ້ນສ່ວນເຄິ່ງວົງເດືອນທີ່ມີການເຄືອບ SiC, ວັດສະດຸປະສົມຄາບອນ-ຄາບອນທີ່ເຄືອບດ້ວຍ SiC, ເຮືອເວເຟີເຄືອບ SiC, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຄືອບ SiC, ແລະອື່ນໆ. VET Energy ມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະສະໜອງເຕັກໂນໂລຢີ ແລະ ຜະລິດຕະພັນທີ່ດີທີ່ສຸດໃຫ້ແກ່ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ພ້ອມທັງສະໜັບສະໜູນການບໍລິການປັບແຕ່ງ. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.