Inona no atao hoe sic coating?

Silisiôma Karbidadia fitambarana mafy misy silisiôma sy karbônina, ary hita eny amin'ny natiora ho toy ny mineraly moissanite tena tsy fahita firy. Azo afatotra miaraka amin'ny alalan'ny sintering ny poti-tsilika karbida mba hamorona seramika tena mafy, izay ampiasaina betsaka amin'ny fampiharana mitaky faharetana avo lenta, indrindra amin'ny fizotran'ny semiconductor.

Rafitra ara-batana an'ny SiC

Inona no atao hoe SiC Coating?

Ny sosona SiC dia sosona silikônina karbida matevina sy mahatohitra ny harafesina ary mahatohitra hafanana sy harafesina avo lenta ary mitondra hafanana tsara dia tsara. Ity sosona SiC madio avo lenta ity dia ampiasaina indrindra amin'ny indostrian'ny semiconductor sy elektronika mba hiarovana ireo mpitondra wafer, fotony ary singa fanafanana amin'ny tontolo harafesina sy mihetsika. Ny sosona SiC koa dia mety amin'ny lafaoro banga sy ny fanafanana santionany amin'ny tontolo banga, mihetsika ary oksizenina avo lenta.

Ety ambonin'ny SiC madio avo lenta

Inona no atao hoe dingana fanosorana SiC?

Misy sosona manify misy karbida silikônina apetraka eo amin'ny velaran'ny substrate amin'ny alalan'nyCVD (Fametrahana etona simika)Matetika ny fametrahana dia atao amin'ny mari-pana 1200-1300°C ary ny fihetsiky ny fivelaran'ny akora fototra dia tokony hifanaraka amin'ny coating SiC mba hampihenana ny tsindry ara-hafanana.

Rafitra kristaly CVD SIC

Rafitra kristaly ho an'ny sarimihetsika CVD SIC Coating

Ny toetra ara-batana amin'ny coating SiC dia hita taratra indrindra amin'ny fanoherany ny mari-pana avo, ny hamafiny, ny fanoherany ny harafesina ary ny fitondrana hafanana.

Ireto manaraka ireto ny masontsivana ara-batana mahazatra:

hamafin'nyNy coating SiC dia mazàna manana Vickers Hardness eo anelanelan'ny 2000-2500 HV, izay manome azy ireo fanoherana avo lenta amin'ny fikikisana sy ny fiantraikany amin'ny fampiharana indostrialy.

hakitrokyNy hakitroky ny sosona SiC dia mazàna eo anelanelan'ny 3.1-3.2 g/cm³. Ny hakitroky avo dia mandray anjara amin'ny tanjaka mekanika sy ny faharetan'ny sosona.

Fitondran-tena mafanaNy sosona SiC dia manana conductivity mafana avo lenta, matetika eo anelanelan'ny 120-200 W/mK (amin'ny 20°C). Izany dia manome azy conductivity mafana tsara amin'ny tontolo iainana misy mari-pana avo ary mahatonga azy io ho mety tsara amin'ny fitaovana fitsaboana hafanana ao amin'ny indostrian'ny semiconductor.

Teboka miempoNy silikônina karbida dia manana teboka fandrendrehana eo amin'ny 2730°C eo ho eo ary manana fitoniana mafana tena tsara amin'ny mari-pana tafahoatra.

Koefisienan'ny fanitarana mafanaNy coefficient linear an'ny expansion thermal (CTE) an'ny coatings SiC dia ambany, matetika eo anelanelan'ny 4.0-4.5 µm/mK (ao anatin'ny 25-1000℃). Midika izany fa tena tsara ny fahamarinan'ny refy ananany amin'ny fahasamihafan'ny mari-pana lehibe.

Fanoherana ny harafesinaTena mahatohitra harafesina ny sosona SiC amin'ny tontolo misy asidra mahery, alkali ary oksidana, indrindra rehefa mampiasa asidra mahery (toy ny HF na HCl), ary mihoatra lavitra noho ny an'ny metaly mahazatra ny fanoherany ny harafesina.

Substrate fampiharana coating SiC

Matetika ny sosona SiC dia ampiasaina hanatsarana ny fanoherana ny harafesina, ny fanoherana ny mari-pana avo, ary ny fanoherana ny fihotsahan'ny plasma amin'ny substrate. Ireto avy ny fampiharana mahazatra ny substrates:

Karazana substrate	Antony fangatahana	Fampiasana mahazatra
manjarano	- Rafitra maivana, fitondrana hafanana tsara - Mora harafesina amin'ny plasma, mila fiarovana amin'ny SiC	Kojakoja fanaovana efi-trano banga, sambo grafita, lovia fanaovana sary sokitra plasma, sns.
Quartz (Quartz/SiO₂)	- Madio tsara nefa mora harafesina - Manatsara ny fanoherana ny fahasimban'ny plasma ny coating	Ampahany amin'ny efitrano CVD/PECVD
Seramika (toy ny alumina Al₂O₃)	- Rafitra matanjaka sy marin-toerana - Manatsara ny fanoherana ny harafesina amin'ny velarana ny fanosorana	Fonon'ny efitrano, fitaovana, sns.
Metaly (toy ny molybdenum, titane, sns.)	- Mitondra hafanana tsara saingy tsy mahatohitra harafesina tsara - Manatsara ny fahamarinan'ny velarana ny fanosorana	Singa manokana amin'ny fihetsiky ny dingana
Vatana sintered silikônina karbida (SiC bulk)	- Ho an'ny tontolo iainana misy fepetra takiana avo lenta amin'ny fepetra fiasana sarotra - Ny coating dia manatsara bebe kokoa ny fahadiovana sy ny fanoherana ny harafesina	Singa ao amin'ny efitrano CVD/ALD avo lenta

Ireo vokatra voarakotra SiC dia matetika ampiasaina amin'ireto sehatra semiconductor manaraka ireto:

Ireo vokatra fanosotra SiC dia ampiasaina betsaka amin'ny fanodinana semiconductor, indrindra amin'ny mari-pana avo, harafesina avo lenta ary tontolo plasma matanjaka. Ireto manaraka ireto ny dingana na sehatra fampiharana lehibe maromaro sy famaritana fohy:

Dingana/saha fangatahana	Famaritana fohy	Fiasan'ny coating silikônina karbida
Fanosehana amin'ny plasma (Fanosehana)	Ampiasao ireo entona misy fluorine na klôro ho an'ny famindrana lamina	Manohitra ny fahasimban'ny plasma ary misoroka ny fandotoana poti-javatra sy metaly
Fametrahana etona simika (CVD/PECVD)	Fametrahana oksida, nitrida ary sarimihetsika manify hafa	Manohitra ireo entona mpialoha lalana manimba ary mampitombo ny androm-piainan'ny singa
Efitrano fametrahana etona ara-batana (PVD)	Fandoroana poti-javatra mahery vaika mandritra ny fizotran'ny coating	Hatsarao ny fanoherana ny fahasimbana sy ny hafanana ao amin'ny efitrano fanehoan-kevitra
Dingana MOCVD (toy ny fitomboan'ny epitaxial SiC)	Fihetsehana maharitra eo ambanin'ny mari-pana avo sy ny atmosfera misy hidrôzenina avo lenta	Tazomy ny fahamarinan'ny fitaovana ary misoroka ny fahalotoan'ny kristaly mitombo
Dingana fitsaboana amin'ny hafanana (LPCVD, diffusion, annealing, sns.)	Matetika atao amin'ny mari-pana avo sy atmosfera banga/avo	Arovy amin'ny oksidasiona na harafesina ireo sambo sy lovia vita amin'ny grafita
Mpitatitra/mpandrahoana "wafer" (fitantanana "wafer")	Fototra grafita ho an'ny famindrana na fanohanana wafer	Ahena ny fiparitahan'ny poti-javatra ary aza avela hilona ny loto rehefa mikasika
Singa ao amin'ny efitrano ALD	Mifehy tsara sy miverimberina ny fametrahana ny sosona atomika	Mitazona ny efitrano ho madio ilay sosona ary mahatohitra tsara ny harafesina amin'ireo akora simika

Nahoana no misafidy ny VET Energy?

Mpanamboatra, mpamorona ary mpitarika amin'ny vokatra fanosorana SiC any Shina ny VET Energy, anisan'izany ny vokatra fanosorana SiC lehibe indrindra.mpitatitra wafer misy sosona SiC, voarakotra SiCmpanelanelana epitaxial, Peratra grafita voarakotra SiC, Ampahany antsasaky ny volana misy sosona SiC, Fifangaroan'ny karbônina-karbônina voarakotra SiC, Sambo wafer voarakotra SiC, Fanafanana voarakotra SiC, sns. Ny VET Energy dia manolo-tena hanome vahaolana ara-teknolojia sy vokatra farany ho an'ny indostrian'ny semiconductor, ary manohana ny serivisy fanamboarana manokana. Manantena fatratra ny ho mpiara-miasa maharitra aminao any Shina izahay.