Цахиурын карбиднь цахиур болон нүүрстөрөгч агуулсан хатуу нэгдэл бөгөөд байгальд маш ховор тохиолддог моассанит эрдэс хэлбэрээр байдаг. Цахиурын карбидын хэсгүүдийг маш хатуу керамик үүсгэхийн тулд шатаах замаар холбож болох бөгөөд эдгээрийг өндөр бат бөх чанар шаарддаг хэрэглээнд, ялангуяа хагас дамжуулагч боловсруулалтад өргөн ашигладаг.
SiC-ийн физик бүтэц
SiC бүрхүүл гэж юу вэ?
SiC бүрхүүл нь зэврэлт болон халуунд тэсвэртэй, маш сайн дулаан дамжуулалттай нягт, элэгдэлд тэсвэртэй цахиурын карбидын бүрхүүл юм. Энэхүү өндөр цэвэршилттэй SiC бүрхүүлийг голчлон хагас дамжуулагч болон электроникийн үйлдвэрүүдэд вафли тээвэрлэгч, суурь болон халаалтын элементүүдийг зэврэлт болон урвалд орох орчноос хамгаалахад ашигладаг. SiC бүрхүүл нь мөн вакуум зуух болон өндөр вакуум, урвалд орох болон хүчилтөрөгчийн орчинд дээж халаахад тохиромжтой.
Өндөр цэвэршилттэй SiC бүрхүүлийн гадаргуу
SiC бүрэх процесс гэж юу вэ?
Цахиурын карбидын нимгэн давхаргыг суурь материалын гадаргуу дээр дараах байдлаар байрлуулна.CVD (Химийн уурын тунадасжилт)Тунадасыг ихэвчлэн 1200-1300°C температурт явуулдаг бөгөөд дулааны стрессийг багасгахын тулд суурь материалын дулааны тэлэлтийн шинж чанар нь SiC бүрхүүлтэй нийцэж байх ёстой.
CVD SIC бүрхүүлтэй хальсны болор бүтэц
SiC бүрхүүлийн физик шинж чанар нь голчлон өндөр температурт тэсвэртэй байдал, хатуулаг, зэврэлтээс хамгаалах чадвар болон дулаан дамжуулалтад тусгагдсан байдаг.
Ердийн физик параметрүүд нь ихэвчлэн дараах байдалтай байдаг.
ХатуулагSiC бүрхүүл нь ихэвчлэн 2000-2500 HV хооронд Викерсийн хатуулагтай байдаг бөгөөд энэ нь үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд маш өндөр элэгдэл, цохилтын эсэргүүцлийг өгдөг.
НягтралSiC бүрхүүл нь ихэвчлэн 3.1-3.2 г/см³ нягтралтай байдаг. Өндөр нягтрал нь бүрхүүлийн механик бат бөх, бат бөх чанарт нөлөөлдөг.
Дулаан дамжуулалтSiC бүрхүүл нь өндөр дулаан дамжуулалттай бөгөөд ихэвчлэн 120-200 Вт/мК (20°C-д) хооронд хэлбэлздэг. Энэ нь өндөр температурт сайн дулаан дамжуулалтыг өгдөг бөгөөд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн дулааны боловсруулалтын тоног төхөөрөмжид онцгой тохиромжтой болгодог.
Хайлах цэг: цахиурын карбид нь ойролцоогоор 2730°C хайлах цэгтэй бөгөөд хэт өндөр температурт маш сайн дулааны тогтвортой байдалтай байдаг.
Дулааны тэлэлтийн коэффициентSiC бүрхүүл нь дулааны тэлэлтийн шугаман коэффициент (CTE) багатай бөгөөд ихэвчлэн 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃) хооронд хэлбэлздэг. Энэ нь температурын зөрүү ихтэй үед хэмжээст тогтвортой байдал нь маш сайн гэсэн үг юм.
Зэврэлтээс хамгаалах чадварSiC бүрхүүл нь хүчтэй хүчил, шүлт болон исэлдүүлэгч орчинд зэврэлтэнд маш тэсвэртэй, ялангуяа хүчтэй хүчил (HF эсвэл HCl гэх мэт) ашиглах үед зэврэлтэнд маш тэсвэртэй байдаг бөгөөд тэдгээрийн зэврэлтэд тэсвэртэй байдал нь уламжлалт металл материалаас хамаагүй давсан байдаг.
SiC бүрэх суурь
SiC бүрхүүлийг ихэвчлэн суурь материалын зэврэлтээс хамгаалах, өндөр температурт тэсвэртэй байдал, плазмын элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг сайжруулахад ашигладаг. Түгээмэл хэрэглэгддэг суурь материалуудад дараахь зүйлс орно.
| Субстратын төрөл | Өргөдлийн шалтгаан | Ердийн хэрэглээ |
| Бал чулуу | - Хөнгөн бүтэцтэй, сайн дулаан дамжуулалттай - Гэхдээ плазмд амархан зэврүүлдэг тул SiC бүрхүүлийн хамгаалалт шаарддаг | Вакуум камерын эд анги, бал чулуун завь, плазмын сийлбэрийн тавиур гэх мэт. |
| Кварц (Кварц/SiO₂) | - Өндөр цэвэршилттэй боловч амархан зэврдэг - Бүрхүүл нь плазмын элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг нэмэгдүүлдэг | CVD/PECVD камерын эд ангиуд |
| Керамик (жишээ нь хөнгөнцагаан исэл Al₂O₃) | - Өндөр бат бэх, тогтвортой бүтэц - Бүрхүүл нь гадаргуугийн зэврэлтээс хамгаалах чадварыг сайжруулдаг | Танхимын доторлогоо, бэхэлгээ гэх мэт |
| Металлууд (молибден, титан гэх мэт) | - Дулаан дамжуулалт сайн боловч зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал муу - Бүрхүүл нь гадаргуугийн тогтвортой байдлыг сайжруулдаг | Тусгай процессын урвалын бүрэлдэхүүн хэсгүүд |
| Цахиурын карбидын хайлуулсан бие (SiC бөөнөөр) | - Нарийн төвөгтэй ажлын нөхцөлд өндөр шаардлага тавьдаг орчинд зориулагдсан - Бүрхүүл нь цэвэршилт болон зэврэлтээс хамгаалах чадварыг сайжруулдаг | Өндөр зэрэглэлийн CVD/ALD камерын бүрэлдэхүүн хэсгүүд |
SiC бүрсэн бүтээгдэхүүнийг дараах хагас дамжуулагчийн салбарт түгээмэл ашигладаг
SiC бүрэх бүтээгдэхүүнийг хагас дамжуулагч боловсруулалтад өргөн ашигладаг бөгөөд голчлон өндөр температур, өндөр зэврэлт, хүчтэй плазмын орчинд ашигладаг. Дараах хэд хэдэн үндсэн хэрэглээний процесс эсвэл салбарууд болон товч тайлбарууд байна:
| Өргөдлийн үйл явц/талбар | Товч тайлбар | Цахиурын карбидын бүрэх функц |
| Плазмын сийлбэр (сийлбэр) | Хэв маягийг дамжуулахын тулд фтор эсвэл хлор дээр суурилсан хий ашиглана уу | Плазмын элэгдлийг эсэргүүцэж, бөөмс болон металлын бохирдлоос сэргийлнэ |
| Химийн ууршилт (CVD/PECVD) | Оксид, нитрид болон бусад нимгэн хальсны тунадасжилт | Зэврэлтээс хамгаалах урьдал хийнүүд болон эд ангийн ашиглалтын хугацааг уртасгана |
| Физик ууршуулах камер (PVD) | Бүрхүүлэлтийн процессын үед өндөр энергитэй бөөмсийн бөмбөгдөлт | Урвалын камерын элэгдэлд тэсвэртэй байдал болон дулааны эсэргүүцлийг сайжруулна |
| MOCVD процесс (SiC эпитаксиал өсөлт гэх мэт) | Өндөр температур болон өндөр устөрөгчийн идэмхий агаар мандалд удаан хугацааны урвал явагдана | Тоног төхөөрөмжийн тогтвортой байдлыг хангаж, ургаж буй талстуудыг бохирдуулахаас сэргийлнэ |
| Дулааны боловсруулалтын процесс (LPCVD, диффузи, ариутгал гэх мэт) | Ихэвчлэн өндөр температур болон вакуум/агаар мандалд хийгддэг | Бал чулуун завь болон тавиурыг исэлдэлт эсвэл зэврэлтээс хамгаална |
| Вафер зөөгч/чанк (Вафер зөөвөрлөх) | Вафли шилжүүлэх эсвэл тулгуурт зориулсан графит суурь | Бөөмийн ялгаралтыг бууруулж, контактын бохирдлоос зайлсхийх |
| ALD камерын бүрэлдэхүүн хэсгүүд | Атомын давхаргын тунадасыг давтан, нарийвчлалтай хянах | Бүрхүүл нь танхимыг цэвэр байлгаж, урьдал бодисуудад зэврэлтэнд тэсвэртэй байдаг |
Яагаад VET Energy-г сонгох ёстой вэ?
VET Energy нь Хятадад SiC бүрэх бүтээгдэхүүний тэргүүлэгч үйлдвэрлэгч, шинийг санаачлагч, тэргүүлэгч компани бөгөөд гол SiC бүрэх бүтээгдэхүүнүүдэд дараахь зүйлс орно.SiC бүрхүүлтэй вафли зөөгч, SiC бүрсэнэпитаксиаль суспенз, SiC бүрсэн бал чулуун цагираг, SiC бүрхүүлтэй хагас сар хэлбэртэй эд ангиуд, SiC бүрсэн нүүрстөрөгч-нүүрстөрөгчийн нийлмэл, SiC бүрсэн вафли завь, SiC бүрсэн халаагчгэх мэт. VET Energy нь хагас дамжуулагчийн салбарт хамгийн сүүлийн үеийн технологи, бүтээгдэхүүний шийдлүүдийг хангахад анхаарч, захиалгат үйлчилгээг дэмждэг. Бид Хятад дахь таны урт хугацааны түнш байхыг чин сэтгэлээсээ хүлээж байна.
Хэрэв танд асуулт байвал эсвэл нэмэлт мэдээлэл авах шаардлагатай бол бидэнтэй холбоо барихаас бүү эргэлзээрэй.
Whatsapp&Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 10-р сарын 18