Карбиди силиконяк пайвастагии сахтест, ки кремний ва карбон дорад ва дар табиат ҳамчун минерали муассанити хеле нодир пайдо мешавад. Зарраҳои карбиди кремнийро метавон тавассути пухтан ба ҳам пайваст кард, то сафолҳои хеле сахтро ташкил диҳанд, ки дар барномаҳое, ки ба устувории баланд ниёз доранд, бахусус дар коркарди нимноқилҳо, ба таври васеъ истифода мешаванд.
Сохтори физикии SiC
Пӯшиши SiC чист?
Рӯйпӯши SiC як рӯйпӯши зич ва фарсудашавандаи карбидии силикон бо муқовимати баланди зангзанӣ ва гармӣ ва гузариши аълои гармӣ мебошад. Ин рӯйпӯши SiC-и тозагии баланд асосан дар саноати нимноқилҳо ва электроника барои муҳофизат кардани интиқолдиҳандагони вафл, асосҳо ва унсурҳои гармидиҳӣ аз муҳитҳои зангзананда ва реактивӣ истифода мешавад. Рӯйпӯши SiC инчунин барои печҳои вакуумӣ ва гармкунии намуна дар муҳитҳои вакуумии баланд, реактивӣ ва оксиген мувофиқ аст.
Сатҳи пӯшиши SiC-и покизагии баланд
Раванди пӯшонидани SiC чист?
Қабати тунуки карбиди кремний дар рӯи субстрат бо истифода аз он гузошта мешавадCVD (Чопшавии буғи кимиёвӣ)Андохтан одатан дар ҳарорати 1200-1300°C анҷом дода мешавад ва рафтори васеъшавии гармии маводи асосӣ бояд бо пӯшиши SiC мувофиқ бошад, то фишори гармиро ба ҳадди ақал расонад.
СОХТОРИ КРИСТАЛЛИИ ПЛЕНКАИ КОРИСТАЛИИ CVD
Хусусиятҳои физикии рӯйпӯши SiC асосан дар муқовимат ба ҳарорати баланд, сахтӣ, муқовимат ба зангзанӣ ва гузаронандагии гармӣ инъикос меёбанд.
Параметрҳои маъмулии физикӣ одатан чунинанд:
СахтӣПӯшиши SiC одатан сахтии Викерсро дар диапазони 2000-2500 HV дорад, ки ба онҳо муқовимати хеле баланди фарсудашавӣ ва зарбаро дар замимаҳои саноатӣ медиҳад.
ЗичӣРӯйпӯшҳои SiC одатан зичии 3.1-3.2 г/см³ доранд. Зичии баланд ба мустаҳкамии механикӣ ва устувории рӯйпӯш мусоидат мекунад.
ГармигузаронӣРӯйпӯшҳои SiC дорои гузаронандагии гармии баланд мебошанд, ки одатан дар ҳудуди 120-200 Вт/мК (дар 20°C) ҷойгиранд. Ин ба он гузаронандагии хуби гармӣ дар муҳитҳои ҳарорати баланд медиҳад ва онро махсусан барои таҷҳизоти коркарди гармӣ дар саноати нимноқилҳо мувофиқ мегардонад.
Нуқтаи обшавӣКарбиди кремний дорои нуқтаи обшавии тақрибан 2730°C буда, дар ҳарорати шадид устувории аълои гармӣ дорад.
Коэффитсиенти васеъшавии гармӣПӯшишҳои SiC дорои коэффитсиенти пасти хаттии васеъшавии гармӣ (CTE) мебошанд, ки одатан дар диапазони 4.0-4.5 µm/mK (дар ҳарорати 25-1000℃) қарор дорад. Ин маънои онро дорад, ки устувории андозагирии он дар тафовутҳои калони ҳарорат аъло аст.
Муқовимат ба зангзанӣПӯшишҳои SiC дар муҳитҳои кислотаи қавӣ, ишқорӣ ва оксидкунанда ба зангзанӣ хеле тобоваранд, хусусан ҳангоми истифодаи кислотаҳои қавӣ (ба монанди HF ё HCl), муқовимати зангзании онҳо нисбат ба маводҳои анъанавии металлӣ хеле зиёдтар аст.
Асоси татбиқи рӯйпӯши SiC
Пӯшиши SiC аксар вақт барои беҳтар кардани муқовимат ба зангзанӣ, муқовимат ба ҳарорати баланд ва муқовимат ба эрозияи плазмавии субстрат истифода мешавад. Субстратҳои маъмулии истифода инҳоянд:
| Навъи субстрат | Сабаби дархост | Истифодаи маъмулӣ |
| Графит | - Сохтори сабук, гузаронандагии хуби гармӣ - Аммо ба осонӣ аз плазма занг мезанад, ба муҳофизати рӯйпӯши SiC ниёз дорад | Қисмҳои камераи вакуумӣ, қаиқҳои графитӣ, табақчаҳои кандакории плазма ва ғайра. |
| Кварц (Кварц/SiO₂) | - Покӣ ва баландсифат, аммо ба осонӣ занг мезанад - Рӯйпӯш муқовимати эрозияи плазмаро афзоиш медиҳад | Қисмҳои камераи CVD/PECVD |
| Сафол (масалан, гилхоки алюминий Al₂O₃) | - Қувваи баланд ва сохтори устувор - Рӯйпӯш муқовимати зангзании рӯизаминиро беҳтар мекунад | Астарпӯши камера, асбобҳо ва ғайра. |
| Металлҳо (масалан, молибден, титан ва ғайра) | - Гузаронандагии гармии хуб, аммо муқовимати пасти зангзанӣ - Рӯйпӯш устувории сатҳро беҳтар мекунад | Ҷузъҳои реаксияи махсуси раванд |
| Бадани синтронидашудаи силикон карбид (SiC омма) | - Барои муҳитҳое, ки барои шароити мураккаби корӣ талаботи баланд доранд - Рӯйпӯшкунӣ покӣ ва муқовимати зангзаниро боз ҳам беҳтар мекунад | Қисмҳои камераи CVD/ALD-и баландсифат |
Маҳсулоти пӯшонидашудаи SiC одатан дар соҳаҳои зерини нимноқилҳо истифода мешаванд:
Маҳсулоти рӯйпӯши SiC ба таври васеъ дар коркарди нимноқилҳо, асосан дар муҳитҳои ҳарорати баланд, зангзании баланд ва плазмаи қавӣ истифода мешаванд. Дар зер якчанд равандҳо ё соҳаҳои асосии татбиқ ва тавсифи мухтасар оварда шудаанд:
| Раванди дархост/соҳа | Тавсифи мухтасар | Функсияи пӯшонидани карбиди кремний |
| Кандакорӣ дар плазма (Кандакорӣ) | Барои интиқоли нақш газҳои фтор ё хлорро истифода баред | Ба эрозияи плазма муқовимат кунед ва аз ифлосшавии зарраҳо ва металлҳо пешгирӣ кунед |
| Таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (CVD/PECVD) | Ҷойгиршавии оксид, нитрид ва дигар плёнкаҳои тунук | Ба газҳои пешгузаштаи зангзананда муқовимат кунед ва мӯҳлати кори ҷузъҳоро зиёд кунед |
| Камераи буғгузории физикӣ (PVD) | Бомбгузории зарраҳои баландэнергия ҳангоми раванди пӯшиш | Муқовимати эрозия ва муқовимати гармии камераи реаксияро беҳтар кунед |
| Раванди MOCVD (масалан, афзоиши эпитаксиалии SiC) | Реаксияи дарозмуддат дар ҳарорати баланд ва атмосфераи зангзанандаи гидрогении баланд | Устувории таҷҳизотро нигоҳ доред ва аз ифлосшавии кристаллҳои афзоянда пешгирӣ кунед |
| Раванди коркарди гармӣ (LPCVD, диффузия, гармкунӣ ва ғайра) | Одатан дар ҳарорати баланд ва вакуум/атмосфера анҷом дода мешавад | Қаиқҳо ва табақчаҳои графитиро аз оксидшавӣ ё зангзанӣ муҳофизат кунед |
| Пахтакаш/патрон (Коркарди пахта) | Пойгоҳи графитӣ барои интиқоли вафл ё дастгирӣ | Рехтани зарраҳоро кам кунед ва аз олудашавии тамос пешгирӣ кунед |
| Қисмҳои камераи ALD | Назорати такрорӣ ва дақиқи ҷойгиршавии қабати атомӣ | Рӯйпӯш камераро тоза нигоҳ медорад ва ба прекурсорҳо муқовимати баланди зангзанӣ дорад. |
Чаро VET Energy-ро интихоб кунед?
VET Energy як истеҳсолкунандаи пешсаф, навовар ва пешвои маҳсулоти рӯйпӯши SiC дар Чин аст, ки маҳсулоти асосии рӯйпӯши SiC инҳоянд:интиқолдиҳандаи вафл бо пӯшиши SiC, бо рӯйпӯши SiCсуссептори эпитаксиалӣ, Ҳалқаи графити бо пӯшонидашудаи SiC, Қисмҳои ниммоҳӣ бо рӯйпӯши SiC, Композити карбон-карбон бо пӯшиши SiC, Қаиқи вафлии пӯшонидашудаи SiC, Гармкунаки пӯшонидашудаи SiCва ғайра. VET Energy барои таъмини саноати нимноқилҳо бо технологияҳои беҳтарин ва роҳҳои ҳалли маҳсулот саъй мекунад ва хидматҳои фармоиширо дастгирӣ мекунад. Мо самимона интизори шарики дарозмуддати шумо дар Чин ҳастем.
Агар шумо ягон савол дошта бошед ё ба тафсилоти иловагӣ ниёз дошта бошед, лутфан бо мо тамос гиред.
Whatsapp&Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Вақти нашр: 18 октябри соли 2024