كرېمنىي كاربىدىكرېمنىي ۋە كاربوننى ئۆز ئىچىگە ئالغان قاتتىق بىرىكمە بولۇپ، تەبىئەتتە ئىنتايىن ئاز ئۇچرايدىغان مىنېرال مويسانىت سۈپىتىدە ئۇچرايدۇ. كرېمنىي كاربىد زەررىچىلىرى بىر-بىرىگە چاپلىشىپ، ئىنتايىن قاتتىق كېرامىكا ھاسىل قىلىدۇ، بۇ كېرامىكا يۇقىرى چىدامچانلىقنى تەلەپ قىلىدىغان ساھەلەردە، بولۇپمۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاپ ئىشلەشتە كەڭ قوللىنىلىدۇ.
SiC نىڭ فىزىكىلىق قۇرۇلمىسى
SiC قاپلاش دېگەن نېمە؟
SiC قاپلىمىسى يۇقىرى چىرىش ۋە ئىسسىقلىققا چىداملىق ھەمدە ئېسىل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىغا ئىگە زىچ، ئۇپراشقا چىداملىق كرېمنىي كاربىد قاپلىمىسى. بۇ يۇقىرى ساپلىقتىكى SiC قاپلىمىسى ئاساسلىقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئېلېكترون سانائىتىدە ۋافېر توشۇغۇچىلىرى، ئاساسلىرى ۋە قىزىتىش ئېلېمېنتلىرىنى چىرىش ۋە ئاكتىپ مۇھىتتىن قوغداش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. SiC قاپلىمىسى يەنە ۋاكۇئۇم ئوچاقلىرى ۋە يۇقىرى ۋاكۇئۇم، ئاكتىپ ۋە ئوكسىگېن مۇھىتلىرىدا ئەۋرىشكە قىزىتىشقا ماس كېلىدۇ.
يۇقىرى ساپلىقتىكى SiC قاپلاش يۈزى
SiC قاپلاش جەريانى نېمە؟
ئاساسىي قاتلامنىڭ يۈزىگە نېپىز بىر قەۋەت كرېمنىي كاربىد چاپلىنىدۇCVD (خىمىيىلىك پار چۆكمىسى). چۆكمە ئادەتتە 1200-1300 سېلسىيە گرادۇسلۇق تېمپېراتۇرىدا ئېلىپ بېرىلىدۇ، ھەمدە ئاساسىي ماتېرىيالنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش خۇسۇسىيىتى ئىسسىقلىق بېسىمىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئۈچۈن SiC قاپلىمىسىغا ماس كېلىشى كېرەك.
CVD SIC قاپلاش پىلاستىنكىسى كىرىستال قۇرۇلمىسى
SiC قاپلىمىسىنىڭ فىزىكىلىق خۇسۇسىيىتى ئاساسلىقى ئۇنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى، قاتتىقلىقى، چىرىشكە چىدامچانلىقى ۋە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىدا ئەكس ئەتتۈرۈلىدۇ.
ئادەتتىكى فىزىكىلىق پارامېتىرلار ئادەتتە تۆۋەندىكىدەك بولىدۇ:
قاتتىقلىقSiC قاپلىمىسىنىڭ ۋىكېرس قاتتىقلىقى ئادەتتە 2000-2500 HV ئارىلىقىدا بولۇپ، سانائەتتە ئىشلىتىشتە ئىنتايىن يۇقىرى ئۇپراش ۋە سوقۇلۇشقا چىداملىق.
زىچلىقSiC قاپلىمىلىرىنىڭ زىچلىقى ئادەتتە 3.1-3.2 گرام/cm³ بولىدۇ. يۇقىرى زىچلىق قاپلىمىنىڭ مېخانىكىلىق كۈچى ۋە چىدامچانلىقىغا تۆھپە قوشىدۇ.
ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىSiC قاپلىمىلىرىنىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى يۇقىرى بولۇپ، ئادەتتە 120-200 W/mK (20 سېلسىيە گرادۇستا) ئارىلىقىدا بولىدۇ. بۇ ئۇنىڭغا يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق مۇھىتتا ياخشى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىنى بېرىدۇ ھەمدە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش ئۈسكۈنىلىرىگە ئالاھىدە ماس كېلىدۇ.
ئېرىش نۇقتىسىكرېمنىي كاربىدىنىڭ ئېرىش نۇقتىسى تەخمىنەن 2730 سېلسىيە گرادۇس بولۇپ، ئىنتايىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىنتايىن ياخشى ئىسسىقلىق مۇقىملىقىغا ئىگە.
ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتىSiC قاپلىمىلىرىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش سىزىقلىق كوئېففىتسېنتى (CTE) تۆۋەن بولۇپ، ئادەتتە 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ ئىچىدە) ئارىلىقىدا بولىدۇ. بۇ دېگەنلىك، ئۇنىڭ ئۆلچەملىك مۇقىملىقى چوڭ تېمپېراتۇرا پەرقىدە ناھايىتى ياخشى.
چىرىشكە قارشى تۇرۇشSiC قاپلىمىلىرى كۈچلۈك كىسلاتا، ئىشقار ۋە ئوكسىدلىنىش مۇھىتىدا، بولۇپمۇ كۈچلۈك كىسلاتالار (مەسىلەن، HF ياكى HCl) ئىشلىتىلگەندە، چىرىشكە ئىنتايىن چىداملىق بولۇپ، ئۇلارنىڭ چىرىشكە چىدامچانلىقى ئادەتتىكى مېتال ماتېرىياللاردىن كۆپ ئېشىپ كېتىدۇ.
SiC قاپلاش قوللىنىش ئاساسى
SiC قاپلىمىسى كۆپىنچە ئاساسنىڭ چىرىشكە چىدامچانلىقى، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى ۋە پلازما ئېروزىيەسىگە چىدامچانلىقىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. كۆپ ئىشلىتىلىدىغان ئاساسلار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
| ئاساسىي قاتلام تىپى | ئىلتىماس قىلىش سەۋەبى | ئادەتتىكى ئىشلىتىلىشى |
| گرافىت | - يېنىك قۇرۇلما، ياخشى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى - لېكىن پلازما تەرىپىدىن ئاسانلا چىرىيدۇ، SiC قاپلاش قوغداشنى تەلەپ قىلىدۇ | ۋاكۇئۇم كامېراسىنىڭ زاپچاسلىرى، گرافىت كېمىلىرى، پلازما ئويۇش تەخسىلىرى قاتارلىقلار. |
| كۋارتس (كۋارتس/SiO₂) | - ساپلىقى يۇقىرى، ئەمما ئاسان چىرىيدۇ - قاپلاش پلازما ئېروزىيەسىگە قارشى تۇرۇش كۈچىنى ئاشۇرىدۇ | CVD/PECVD كامېرا قىسىملىرى |
| كېرامىكا (مەسىلەن، ئاليۇمىن Al₂O₃) | - يۇقىرى كۈچلۈكلۈك ۋە مۇقىم قۇرۇلما - قاپلاش يۈزىنىڭ چىرىشكە قارشى تۇرۇش كۈچىنى ئاشۇرىدۇ | كامېرنىڭ ئاستى، ئۈسكۈنىلىرى قاتارلىقلار. |
| مېتاللار (مەسىلەن، مولىبدېن، تىتان قاتارلىقلار) | - ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ياخشى، لېكىن چىرىشكە قارشى تۇرۇش كۈچى ناچار - سىرلاش يۈزىنىڭ مۇقىملىقىنى ياخشىلايدۇ | ئالاھىدە جەريان رېئاكسىيە تەركىبلىرى |
| كرېمنىي كاربىد پىلاستىنكىسى (SiC چوڭلۇقى) | - مۇرەككەپ خىزمەت شارائىتىغا يۇقىرى تەلەپ قويىدىغان مۇھىتلار ئۈچۈن - قاپلاش ساپلىق ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى تېخىمۇ ياخشىلايدۇ | يۇقىرى دەرىجىلىك CVD/ALD كامېرا زاپچاسلىرى |
SiC قاپلانغان مەھسۇلاتلار ئادەتتە تۆۋەندىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساھەلەردە ئىشلىتىلىدۇ.
SiC قاپلاش مەھسۇلاتلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاپ ئىشلەشتە كەڭ قوللىنىلىدۇ، ئاساسلىقى يۇقىرى تېمپېراتۇرا، يۇقىرى چىرىش ۋە كۈچلۈك پلازما مۇھىتىدا ئىشلىتىلىدۇ. تۆۋەندە بىر قانچە ئاساسلىق قوللىنىش جەريانلىرى ياكى ساھەلىرى ۋە قىسقىچە چۈشەندۈرۈشلىرى كۆرسىتىلدى:
| ئىلتىماس جەريانى/ساھەسى | قىسقىچە چۈشەندۈرۈش | كرېمنىي كاربىد قاپلاش ئىقتىدارى |
| پلازما ئويۇش (ئويۇش) | شەكىل ئالماشتۇرۇش ئۈچۈن فتور ياكى خىلور ئاساسلىق گازلارنى ئىشلىتىڭ | پلازما ئېروزىيەسىگە قارشى تۇرۇڭ ۋە زەررىچە ۋە مېتال بۇلغىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىڭ |
| خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش (CVD/PECVD) | ئوكسىد، نىترىد ۋە باشقا نېپىز پەردىلەرنىڭ چۆكمىسى | چىرىشچان ئالدىنقى گازلارغا قارشى تۇرۇڭ ۋە زاپچاسلارنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىڭ |
| فىزىكىلىق پار چۆكۈش (PVD) كامېراسى | قاپلاش جەريانىدا يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك زەررىچە بومباردىمان قىلىش | رېئاكسىيە كامېراسىنىڭ ئېروزىيەگە قارشى تۇرۇش ۋە ئىسسىقلىققا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى يۇقىرى كۆتۈرۈڭ |
| MOCVD جەريانى (مەسىلەن، SiC ئېپىتاكسىيال ئۆسۈشى) | يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى ۋودورود چىرىتىشچان ئاتموسفېرا ئاستىدا ئۇزۇن مۇددەتلىك رېئاكسىيە | ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇقىملىقىنى ساقلاڭ ۋە ئۆسۈۋاتقان كىرىستاللارنىڭ بۇلغىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىڭ |
| ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش جەريانى (LPCVD، دىففۇزىيە، قىزىتىش قاتارلىقلار) | ئادەتتە يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە ۋاكۇئۇم/ئاتموسفېرادا ئېلىپ بېرىلىدۇ | گرافىت كېمىلىرى ۋە تەخسىلىرىنى ئوكسىدلىنىش ياكى چىرىشتىن ساقلاڭ |
| ۋافېر توشۇغۇچى/چاك (ۋافېرنى بىر تەرەپ قىلىش) | ۋافلىنىڭ يۆتكىلىشى ياكى تىرەش ئۈچۈن گرافىت ئاساسى | زەررىچە تۆكۈلۈشىنى ئازايتىڭ ۋە ئۇچرىشىش بۇلغىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىڭ |
| ALD كامېراسىنىڭ زاپچاسلىرى | ئاتوم قەۋىتىنىڭ چۆكۈشىنى قايتا-قايتا ۋە توغرا كونترول قىلىش | بۇ قاپلام كامېرانى پاكىز ساقلايدۇ ھەمدە ئالدىنقى ماددىلارغا يۇقىرى چىرىش قارشىلىقىغا ئىگە. |
نېمىشقا VET ئېنېرگىيە شىركىتىنى تاللايسىز؟
VET Energy جۇڭگودىكى SiC قاپلاش مەھسۇلاتلىرىنىڭ باشلامچى ئىشلەپچىقارغۇچىسى، يېڭىلىق ياراتقۇچىسى ۋە باشلامچىسى بولۇپ، ئاساسلىق SiC قاپلاش مەھسۇلاتلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇSiC قاپلىمىلىق ۋافلى توشۇغۇچ، SiC قاپلانغانئېپىتاكسىيال سۇسسېپتور, SiC قاپلانغان گرافىت ھالقىسى, SiC قاپلانغان يېرىم ئاي شەكىللىك زاپچاسلار, SiC قاپلانغان كاربون-كاربون بىرىكمىسى, SiC قاپلانغان ۋافېر كېمىسى, SiC قاپلانغان ئىسسىتقۇچ، قاتارلىقلار. VET ئېنېرگىيە شىركىتى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىگە ئەڭ يېڭى تېخنىكا ۋە مەھسۇلات ھەل قىلىش چارىلىرى بىلەن تەمىنلەشكە بېغىشلانغان ھەمدە خاسلاشتۇرۇش مۇلازىمىتىنى قوللايدۇ. بىز سىزنىڭ جۇڭگودىكى ئۇزۇن مۇددەتلىك ھەمراھىڭىز بولۇشنى چىن دىلىمىزدىن ئۈمىد قىلىمىز.
ئەگەر سىزدە قانداق سوئال بولسا ياكى قوشۇمچە تەپسىلاتلارغا ئېھتىياجلىق بولسىڭىز، بىز بىلەن ئالاقىلىشىڭ.
Whatsapp & Wechat: + 86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 10-ئاينىڭ 18-كۈنى