Mipako ya sic ni nini?

Kabidi ya Silikonini kiwanja kigumu chenye silikoni na kaboni, na kinapatikana katika asili kama moissanite ya madini adimu sana. Chembe za silikoni za kabidi zinaweza kuunganishwa pamoja kwa kuchuja ili kuunda kauri ngumu sana, ambazo hutumika sana katika matumizi yanayohitaji uimara wa hali ya juu, haswa katika maandamano ya nusu nusu.

Muundo wa kimwili wa SiC

Mipako ya SiC ni mipako mnene, sugu kwa uchakavu ya kabidi ya silikoni yenye kutu nyingi na upinzani wa joto na upitishaji bora wa joto. Mipako hii ya SiC yenye usafi wa hali ya juu hutumika hasa katika tasnia za nusu-semiconductor na vifaa vya elektroniki ili kulinda wafers, besi na vipengele vya joto kutokana na mazingira babuzi na tendaji. Mipako ya SiC pia inafaa kwa tanuri za utupu na sampuli za joto katika mazingira yenye utupu mwingi, tendaji na oksijeni.

Usafi wa hali ya juu wa uso wa mipako ya SiC

Mchakato wa mipako ya SiC ni upi?

Safu nyembamba ya kabidi ya silikoni huwekwa kwenye uso wa substrate kwa kutumiaCVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali)Uwekaji wa nyenzo za msingi kwa kawaida hufanywa katika halijoto ya 1200-1300°C na tabia ya upanuzi wa joto ya nyenzo za msingi inapaswa kuendana na mipako ya SiC ili kupunguza mkazo wa joto.

MUUNDO WA FILAMU YA CVD SIC

MUUNDO WA FILAMU YA FUWELE YA CVD SIC PAKITI

Sifa za kimwili za mipako ya SiC zinaonyeshwa hasa katika upinzani wake wa halijoto ya juu, ugumu, upinzani wa kutu na upitishaji joto.

Vigezo vya kawaida vya kimwili kwa kawaida huwa kama ifuatavyo:

Ugumu: Mipako ya SiC kwa kawaida huwa na Ugumu wa Vickers katika kiwango cha 2000-2500 HV, ambacho huzipa upinzani mkubwa wa uchakavu na athari katika matumizi ya viwandani.

Uzito: Mipako ya SiC kwa kawaida huwa na msongamano wa 3.1-3.2 g/cm³. Msongamano mkubwa huchangia nguvu ya mitambo na uimara wa mipako.

Upitishaji wa joto: Mipako ya SiC ina upitishaji joto wa juu, kwa kawaida katika kiwango cha 120-200 W/mK (kwa 20°C). Hii huipa upitishaji joto mzuri katika mazingira ya halijoto ya juu na kuifanya iweze kufaa zaidi kwa vifaa vya matibabu ya joto katika tasnia ya semiconductor.

Kiwango cha kuyeyuka: kabidi ya silikoni ina kiwango cha kuyeyuka cha takriban 2730°C na ina uthabiti bora wa joto katika halijoto kali.

Mgawo wa Upanuzi wa Joto: Mipako ya SiC ina mgawo wa chini wa upanuzi wa joto (CTE), kwa kawaida katika kiwango cha 4.0-4.5 µm/mK (katika 25-1000℃). Hii ina maana kwamba uthabiti wake wa vipimo ni bora zaidi kuliko tofauti kubwa za halijoto.

Upinzani wa kutu: Mipako ya SiC ni sugu sana kwa kutu katika mazingira yenye asidi kali, alkali na oksidi, hasa wakati wa kutumia asidi kali (kama vile HF au HCl), upinzani wao wa kutu unazidi sana ule wa vifaa vya kawaida vya chuma.

Sehemu ya msingi ya matumizi ya mipako ya SiC

Mipako ya SiC mara nyingi hutumika kuboresha upinzani wa kutu, upinzani wa halijoto ya juu, na upinzani wa mmomonyoko wa plasma wa substrate. Substrate zinazotumika kwa kawaida ni pamoja na zifuatazo:

Aina ya sehemu ndogo	Sababu ya maombi	Matumizi ya kawaida
Grafiti	- Muundo mwepesi, upitishaji mzuri wa joto - Lakini huharibika kwa urahisi na plasma, inahitaji ulinzi wa mipako ya SiC	Sehemu za chumba cha utupu, boti za grafiti, trei za kuchora plasma, n.k.
Kwartz (Kwartz/SiO₂)	- Usafi wa hali ya juu lakini huharibika kwa urahisi - Mipako huongeza upinzani wa mmomonyoko wa plasma	Sehemu za chumba cha CVD/PECVD
Kauri (kama vile alumina Al₂O₃)	- Nguvu ya juu na muundo thabiti - Mipako huboresha upinzani wa kutu juu ya uso	Kitambaa cha chumba, vifaa, n.k.
Vyuma (kama vile molibdenamu, titani, n.k.)	- Upitishaji mzuri wa joto lakini upinzani duni wa kutu - Mipako huboresha uthabiti wa uso	Vipengele maalum vya mmenyuko wa mchakato
Mwili uliochomwa na kaboni ya silikoni (SiC wingi)	- Kwa mazingira yenye mahitaji ya juu kwa hali ngumu za kazi - Mipako inaboresha zaidi usafi na upinzani wa kutu	Vipengele vya chumba cha CVD/ALD cha hali ya juu

Bidhaa zilizofunikwa na SiC hutumiwa sana katika maeneo yafuatayo ya nusu nusu

Bidhaa za mipako ya SiC hutumika sana katika usindikaji wa nusu-semiconductor, hasa katika halijoto ya juu, kutu ya juu na mazingira yenye plasma kali. Yafuatayo ni michakato au nyanja kadhaa kuu za matumizi na maelezo mafupi:

Mchakato/sehemu ya maombi	Maelezo mafupi	Kazi ya mipako ya Silicon Carbide
Kuchora Plasma (Kuchora)	Tumia gesi zenye florini au klorini kwa ajili ya uhamishaji wa muundo	Pinga mmomonyoko wa plasma na uzuie uchafuzi wa chembe na chuma
Uwekaji wa mvuke wa kemikali (CVD/PECVD)	Uwekaji wa oksidi, nitridi na filamu zingine nyembamba	Pinga gesi zinazosababisha babuzi na kuongeza muda wa matumizi ya vipengele
Chumba cha uwekaji mvuke wa kimwili (PVD)	Chembe zenye nguvu nyingi hulipuliwa wakati wa mchakato wa mipako	Kuboresha upinzani wa mmomonyoko na upinzani wa joto wa chumba cha mmenyuko
Mchakato wa MOCVD (kama vile ukuaji wa epitaxial wa SiC)	Mwitikio wa muda mrefu chini ya halijoto ya juu na angahewa yenye hidrojeni nyingi inayosababisha babuzi	Dumisha uthabiti wa vifaa na uzuie uchafuzi wa fuwele zinazokua
Mchakato wa matibabu ya joto (LPCVD, usambazaji, uunganishaji, n.k.)	Kwa kawaida hufanywa kwa joto la juu na hewa ya utupu/anga	Kinga boti na trei za grafiti kutokana na oksidi au kutu
Kibebea/kibebea cha wafer (Kibebea cha wafer)	Msingi wa grafiti kwa ajili ya uhamisho au usaidizi wa wafer	Punguza kumwaga chembe na epuka uchafuzi wa mguso
Vipengele vya chumba cha ALD	Kudhibiti uwekaji wa safu ya atomiki mara kwa mara na kwa usahihi	Mipako huweka chumba safi na ina upinzani mkubwa wa kutu dhidi ya vitangulizi

Kwa nini uchague Nishati ya VET?

VET Energy ni mtengenezaji anayeongoza, mvumbuzi na kiongozi wa bidhaa za mipako ya SiC nchini China, bidhaa kuu za mipako ya SiC ni pamoja nakibebaji cha wafer chenye mipako ya SiC, SiC iliyofunikwakifyonzaji cha epitaksial, Pete ya grafiti iliyofunikwa na SiC, Sehemu za nusu mwezi zenye mipako ya SiC, Mchanganyiko wa kaboni-kaboni uliofunikwa na SiC, Boti ya wafer iliyofunikwa na SiC, Hita iliyofunikwa na SiC, n.k. VET Energy imejitolea kuipa tasnia ya semiconductor suluhisho bora za teknolojia na bidhaa, na inasaidia huduma za ubinafsishaji. Tunatazamia kwa dhati kuwa mshirika wako wa muda mrefu nchini China.