சிலிக்கான் கார்பைடுசிலிக்கான் மற்றும் கார்பனைக் கொண்ட ஒரு கடினமான சேர்மமான இது, இயற்கையில் மிகவும் அரிதான கனிமமான மொய்சானைட்டாகக் காணப்படுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு துகள்களைச் சூடாக்கி இணைப்பதன் மூலம் மிகவும் கடினமான பீங்கான்களை உருவாக்க முடியும். இவை, குறிப்பாக குறைக்கடத்திச் செயலாக்கத்தில், அதிக நீடித்துழைப்பு தேவைப்படும் பயன்பாடுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
SiC இன் இயற்பியல் கட்டமைப்பு
SiC பூச்சு என்றால் என்ன?
SiC பூச்சு என்பது அதிக அரிப்பு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்பக் கடத்துத்திறன் கொண்ட ஒரு அடர்த்தியான, தேய்மானத்தை எதிர்க்கும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு ஆகும். இந்த உயர் தூய்மை கொண்ட SiC பூச்சு, முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் மின்னணுவியல் தொழில்களில், அரிக்கும் மற்றும் வினைபுரியும் சூழல்களிலிருந்து வேஃபர் கேரியர்கள், தளங்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளைப் பாதுகாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. SiC பூச்சு, உயர் வெற்றிடம், வினைபுரியும் மற்றும் ஆக்சிஜன் சூழல்களில் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் மாதிரி வெப்பமூட்டலுக்கும் ஏற்றது.
உயர் தூய்மையான SiC பூச்சு மேற்பரப்பு
SiC பூச்சு செயல்முறை என்பது என்ன?
சிலிக்கான் கார்பைடின் ஒரு மெல்லிய படலம், அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் படியவைக்கப்படுகிறது.CVD (வேதி ஆவிப் படிவு)படியவைத்தல் பொதுவாக 1200-1300°C வெப்பநிலையில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, மேலும் வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைப்பதற்காக, அடி மூலக்கூறு பொருளின் வெப்ப விரிவாக்கப் பண்பு SiC பூச்சுடன் இணக்கமாக இருக்க வேண்டும்.

CVD SIC பூச்சு படல படிக அமைப்பு
SiC பூச்சின் இயற்பியல் பண்புகள் முக்கியமாக அதன் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறன், கடினத்தன்மை, அரிமான எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் வெப்பக் கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றில் பிரதிபலிக்கின்றன.
வழக்கமான இயற்பியல் அளவுருக்கள் பொதுவாக பின்வருமாறு இருக்கும்:
கடினத்தன்மைSiC பூச்சுகள் பொதுவாக 2000-2500 HV வரம்பில் விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன, இது தொழில்துறை பயன்பாடுகளில் அவற்றுக்கு மிக அதிக தேய்மானம் மற்றும் தாக்க எதிர்ப்பை அளிக்கிறது.
அடர்த்திSiC பூச்சுகள் பொதுவாக 3.1-3.2 g/cm³ அடர்த்தியைக் கொண்டுள்ளன. இந்த அதிக அடர்த்தி, பூச்சின் இயந்திர வலிமைக்கும் நீடித்துழைப்பிற்கும் பங்களிக்கிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்SiC பூச்சுகள் அதிக வெப்பக் கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளன, இது பொதுவாக 120-200 W/mK (20°C-ல்) வரம்பில் இருக்கும். இது உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் நல்ல வெப்பக் கடத்துத்திறனை அளிப்பதோடு, குறைக்கடத்தித் துறையில் உள்ள வெப்பச் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கு இதனை மிகவும் பொருத்தமானதாகவும் ஆக்குகிறது.
உருகுநிலைசிலிக்கான் கார்பைடு சுமார் 2730°C உருகுநிலையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் தீவிர வெப்பநிலைகளிலும் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்SiC பூச்சுகள் குறைந்த நேரியல் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தைக் (CTE) கொண்டுள்ளன, இது பொதுவாக 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃-இல்) வரம்பில் இருக்கும். இதன் பொருள், பெரிய வெப்பநிலை வேறுபாடுகளின் போதும் அதன் பரிமாண நிலைத்தன்மை மிகச் சிறப்பாக உள்ளது என்பதாகும்.
அரிப்பு எதிர்ப்புSiC பூச்சுகள் வலிமையான அமிலம், காரம் மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்றச் சூழல்களில் அரிப்பை மிகவும் எதிர்க்கும் திறன் கொண்டவை. குறிப்பாக, வலிமையான அமிலங்களைப் (HF அல்லது HCl போன்றவை) பயன்படுத்தும்போது, அவற்றின் அரிப்பு எதிர்ப்புத் திறன் வழக்கமான உலோகப் பொருட்களின் எதிர்ப்புத் திறனை விடப் பன்மடங்கு அதிகமாக உள்ளது.
SiC பூச்சு பயன்பாட்டு அடி மூலக்கூறு
அடிப்பொருளின் அரிப்புத் தடுப்புத்திறன், உயர் வெப்பநிலைத் தடுப்புத்திறன் மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்புத் தடுப்புத்திறன் ஆகியவற்றை மேம்படுத்துவதற்காக SiC பூச்சு பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் அடிப்பொருள்களில் பின்வருவன அடங்கும்:
| அடி மூலக்கூறு வகை | விண்ணப்பக் காரணம் | வழக்கமான பயன்பாடு |
| கிராஃபைட் | - இலகுவான கட்டமைப்பு, நல்ல வெப்பக் கடத்துத்திறன் ஆனால் பிளாஸ்மாவால் எளிதில் அரிக்கப்படுவதால், SiC பூச்சுப் பாதுகாப்பு தேவைப்படுகிறது. | வெற்றிட அறை பாகங்கள், கிராஃபைட் படகுகள், பிளாஸ்மா பொறிப்புத் தட்டுகள் போன்றவை. |
| குவார்ட்ஸ் (குவார்ட்ஸ்/SiO₂) | - அதிக தூய்மையானது ஆனால் எளிதில் அரிக்கக்கூடியது பூச்சு பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகிறது | CVD/PECVD அறை பாகங்கள் |
| பீங்கான்கள் (அலுமினா Al₂O₃ போன்றவை) | - அதிக வலிமை மற்றும் நிலையான கட்டமைப்பு பூச்சு, மேற்பரப்பு அரிப்புத் தடுப்புத் திறனை மேம்படுத்துகிறது. | அறை உட்பூச்சு, பொருத்திகள், முதலியன. |
| உலோகங்கள் (மாலிப்டினம், டைட்டேனியம் போன்றவை) | - நல்ல வெப்பக் கடத்துத்திறன் ஆனால் மோசமான அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன் பூச்சு மேற்பரப்பின் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது | சிறப்பு செயல்முறை வினை கூறுகள் |
| சிலிக்கான் கார்பைடு சின்டர்டு பாடி (SiC பல்க்) | சிக்கலான பணிச்சூழல்களுக்கான உயர் தேவைகளைக் கொண்ட சூழல்களுக்கு பூச்சு, தூய்மையையும் அரிப்புத் தடுப்புத் திறனையும் மேலும் மேம்படுத்துகிறது. | உயர்தர CVD/ALD அறை கூறுகள் |
SiC பூசப்பட்ட பொருட்கள் பின்வரும் குறைக்கடத்தித் துறைகளில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
SiC பூச்சுப் பொருட்கள் குறைக்கடத்திச் செயலாக்கத்தில், முக்கியமாக உயர் வெப்பநிலை, அதிக அரிப்பு மற்றும் வலுவான பிளாஸ்மா சூழல்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. பின்வருவன சில முக்கிய பயன்பாட்டு செயல்முறைகள் அல்லது துறைகள் மற்றும் அவற்றின் சுருக்கமான விளக்கங்கள் ஆகும்:
| விண்ணப்ப செயல்முறை/புலம் | சுருக்கமான விளக்கம் | சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு செயல்பாடு |
| பிளாஸ்மா பொறித்தல் (பொறித்தல்) | வடிவ மாற்றத்திற்கு புளோரின் அல்லது குளோரின் அடிப்படையிலான வாயுக்களைப் பயன்படுத்தவும் | பிளாஸ்மா அரிப்பைத் தடுத்து, துகள் மற்றும் உலோக மாசுபாட்டைத் தடுக்கவும். |
| இரசாயன ஆவிப் படிவு (CVD/PECVD) | ஆக்சைடு, நைட்ரைடு மற்றும் பிற மெல்லிய படலங்களின் படிவு | அரிக்கும் முன்னோடி வாயுக்களை எதிர்த்து, பாகங்களின் ஆயுளை அதிகரிக்கவும். |
| இயற்பியல் ஆவிப் படிவு (PVD) அறை | பூச்சு செயல்முறையின் போது உயர் ஆற்றல் துகள் தாக்குதல் | வினை அறையின் அரிப்புத் தடுப்பு மற்றும் வெப்பத் தடுப்புத் திறனை மேம்படுத்துங்கள். |
| MOCVD செயல்முறை (SiC எபிடெக்சியல் வளர்ச்சி போன்றவை) | உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அதிக ஹைட்ரஜன் அரிக்கும் வளிமண்டலத்தின் கீழ் நீண்ட கால வினை | உபகரணத்தின் நிலைத்தன்மையைப் பராமரித்து, வளரும் படிகங்கள் மாசுபடுவதைத் தடுக்கவும். |
| வெப்பச் செயலாக்க முறை (LPCVD, பரவல், பதப்படுத்துதல் போன்றவை) | பொதுவாக உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வெற்றிடம்/வளிமண்டலத்தில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது | கிராஃபைட் படகுகள் மற்றும் தட்டுகளை ஆக்சிஜனேற்றம் அல்லது அரிப்பிலிருந்து பாதுகாக்கவும். |
| வேஃபர் கேரியர்/சக் (வேஃபர் கையாளுதல்) | வேஃபர் பரிமாற்றம் அல்லது ஆதரவிற்கான கிராஃபைட் அடித்தளம் | துகள்கள் உதிர்வதைக் குறைத்து, நேரடித் தொடர்பு மூலம் மாசுபடுவதைத் தவிர்க்கவும். |
| ALD அறை கூறுகள் | அணு அடுக்கு படிதலை மீண்டும் மீண்டும் மற்றும் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்தவும் | இந்தப் பூச்சு அறையைச் சுத்தமாக வைத்திருப்பதுடன், முன்னோடிப் பொருட்களுக்கு எதிராக அதிக அரிப்புத் தடுப்புத் திறனையும் கொண்டுள்ளது. |
VET எனர்ஜியை ஏன் தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும்?
VET எனர்ஜி என்பது சீனாவில் SiC பூச்சுப் பொருட்களின் ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளர், புதுமையாளர் மற்றும் தலைவர் ஆகும், அதன் முக்கிய SiC பூச்சுப் பொருட்களில் பின்வருவன அடங்கும்:SiC பூச்சுடன் கூடிய வேஃபர் கேரியர், SiC பூசப்பட்டஎபிடெக்சியல் சசெப்டர், SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையம், SiC பூச்சு கொண்ட அரை நிலா பாகங்கள், SiC பூசப்பட்ட கார்பன்-கார்பன் கலவை, SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் படகு, SiC பூசப்பட்ட ஹீட்டர்முதலியன. VET எனர்ஜி, குறைக்கடத்தித் தொழில்துறைக்கு மிகச்சிறந்த தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்புத் தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளதுடன், தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகளையும் ஆதரிக்கிறது. சீனாவில் உங்கள் நீண்டகாலப் பங்காளராக இருப்பதை நாங்கள் மனப்பூர்வமாக எதிர்பார்க்கிறோம்.
உங்களுக்கு ஏதேனும் கேள்விகள் இருந்தாலோ அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டாலோ, தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ளத் தயங்க வேண்டாம்.
Whatsapp&Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
பதிவிட்ட நேரம்: அக்டோபர்-18-2024
