Sic qoplamasi nima?

Silikon karbidkremniy va uglerodni o'z ichiga olgan qattiq birikma bo'lib, tabiatda juda noyob mineral moissanit sifatida uchraydi. Kremniy karbid zarralari juda qattiq keramika hosil qilish uchun sinterlash orqali birlashtirilishi mumkin, ular yuqori chidamlilikni talab qiladigan dasturlarda, ayniqsa yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashda keng qo'llaniladi.

SiC ning fizik tuzilishi

SiC qoplamasi yuqori korroziyaga va issiqlikka chidamliligi hamda a'lo issiqlik o'tkazuvchanligiga ega zich, aşınmaya bardoshli kremniy karbid qoplamasidir. Ushbu yuqori tozalikdagi SiC qoplamasi asosan yarimo'tkazgichlar va elektronika sanoatida plastinka tashuvchilarni, asoslarni va isitish elementlarini korroziyali va reaktiv muhitlardan himoya qilish uchun ishlatiladi. SiC qoplamasi shuningdek, vakuumli pechlar va yuqori vakuumli, reaktiv va kislorodli muhitda namunalarni isitish uchun ham mos keladi.

Yuqori tozaligidagi SiC qoplama yuzasi

SiC qoplama jarayoni qanday?

Substrat yuzasiga yupqa kremniy karbid qatlami qo'llaniladiCVD (Kimyoviy bug'lanish)Cho'ktirish odatda 1200-1300°C haroratda amalga oshiriladi va termal stressni minimallashtirish uchun substrat materialining termal kengayish xususiyati SiC qoplamasi bilan mos kelishi kerak.

CVD SIC PLYONKASI KRISTAL TUZILISHI

CVD SIC qoplama plyonkasi kristall tuzilishi

SiC qoplamasining fizik xususiyatlari asosan uning yuqori haroratga chidamliligi, qattiqligi, korroziyaga chidamliligi va issiqlik o'tkazuvchanligida aks etadi.

Odatda jismoniy parametrlar quyidagicha bo'ladi:

QattiqlikSiC qoplamasi odatda 2000-2500 HV oralig'ida Vickers qattiqligiga ega, bu esa ularga sanoat qo'llanmalarida juda yuqori aşınma va zarba qarshiligini beradi.

ZichlikSiC qoplamalari odatda 3,1-3,2 g/sm³ zichlikka ega. Yuqori zichlik qoplamaning mexanik mustahkamligi va chidamliligiga hissa qo'shadi.

Issiqlik o'tkazuvchanligiSiC qoplamalari yuqori issiqlik o'tkazuvchanligiga ega, odatda 120-200 Vt/mK (20°C da) oralig'ida. Bu unga yuqori haroratli muhitda yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligini beradi va uni yarimo'tkazgichlar sanoatida issiqlik bilan ishlov berish uskunalari uchun ayniqsa mos qiladi.

Erish nuqtasi: kremniy karbidi taxminan 2730°C erish nuqtasiga ega va ekstremal haroratlarda ajoyib termal barqarorlikka ega.

Issiqlik kengayish koeffitsientiSiC qoplamalari past chiziqli issiqlik kengayish koeffitsientiga (CTE) ega, odatda 4,0-4,5 µm/mK oralig'ida (25-1000℃ da). Bu shuni anglatadiki, uning o'lchovli barqarorligi katta harorat farqlarida juda yaxshi.

Korroziyaga chidamlilikSiC qoplamalari kuchli kislota, ishqoriy va oksidlovchi muhitda, ayniqsa kuchli kislotalar (masalan, HF yoki HCl) ishlatilganda korroziyaga juda chidamli bo'lib, ularning korroziyaga chidamliligi an'anaviy metall materiallarnikidan ancha yuqori.

SiC qoplama qo'llash substrati

SiC qoplamasi ko'pincha substratning korroziyaga chidamliligini, yuqori haroratga chidamliligini va plazma eroziyasiga chidamliligini oshirish uchun ishlatiladi. Umumiy qo'llaniladigan substratlar quyidagilarni o'z ichiga oladi:

Substrat turi	Ariza berish sababi	Odatdagi foydalanish
Grafit	- Yengil tuzilish, yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligi - Lekin plazma bilan osongina korroziyaga uchraydi, SiC qoplama himoyasini talab qiladi	Vakuum kamerasi qismlari, grafit qayiqlari, plazma o'ymakorligi patnislari va boshqalar.
Kvarts (Kvarts/SiO₂)	- Yuqori tozalik, lekin osonlikcha korroziyaga uchraydi - Qoplama plazma eroziyasiga chidamliligini oshiradi	CVD/PECVD kamerasi qismlari
Keramika (masalan, alumina Al₂O₃)	- Yuqori kuch va barqaror tuzilish - Qoplama sirt korroziyaga chidamliligini oshiradi	Kamera qoplamasi, armatura va boshqalar.
Metalllar (masalan, molibden, titan va boshqalar)	- Yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligi, ammo korroziyaga chidamliligi past - Qoplama sirt barqarorligini yaxshilaydi	Maxsus jarayon reaksiya komponentlari
Silikon karbid sinterlangan korpus (SiC quyma)	- Murakkab ish sharoitlari uchun yuqori talablarga ega muhitlar uchun - Qoplama soflik va korroziyaga chidamlilikni yanada yaxshilaydi	Yuqori darajadagi CVD/ALD kamerasi komponentlari

SiC bilan qoplangan mahsulotlar odatda quyidagi yarimo'tkazgich sohalarida qo'llaniladi

SiC qoplama mahsulotlari yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashda, asosan yuqori haroratli, yuqori korroziyali va kuchli plazma muhitida keng qo'llaniladi. Quyida bir nechta asosiy qo'llanilish jarayonlari yoki sohalari va qisqacha tavsiflari keltirilgan:

Ariza jarayoni/maydoni	Qisqacha tavsif	Silikon karbid qoplama funktsiyasi
Plazma o'ymakorligi (O'ymakorlik)	Naqshni uzatish uchun ftor yoki xlor asosidagi gazlardan foydalaning	Plazma eroziyasiga qarshi turing va zarrachalar va metall ifloslanishining oldini oling
Kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD/PECVD)	Oksid, nitrid va boshqa yupqa plyonkalarning cho'kishi	Korozif prekursor gazlariga qarshi turing va komponentlarning ishlash muddatini oshiring
Fizik bug' cho'ktirish (PVD) kamerasi	Qoplama jarayonida yuqori energiyali zarrachalar bombardimoni	Reaksiya kamerasining eroziyaga chidamliligini va issiqlikka chidamliligini oshiring
MOCVD jarayoni (masalan, SiC epitaksial o'sishi)	Yuqori harorat va yuqori vodorodli korroziy atmosferada uzoq muddatli reaksiya	Uskunaning barqarorligini saqlang va o'sayotgan kristallarning ifloslanishini oldini oling
Issiqlik bilan ishlov berish jarayoni (LPCVD, diffuziya, tavlash va boshqalar)	Odatda yuqori harorat va vakuum/atmosferada amalga oshiriladi	Grafit qayiqlari va patnislarini oksidlanish yoki korroziyadan saqlang
Platina tashuvchi/patron (Platina bilan ishlash)	Gofretni uzatish yoki qo'llab-quvvatlash uchun grafit asos	Zarrachalarning to'kilishini kamaytiring va kontakt ifloslanishining oldini oling
ALD kamerasining komponentlari	Atom qatlamining cho'kishini takroriy va aniq nazorat qilish	Qoplama kamerani toza saqlaydi va prekursorlarga yuqori korroziyaga chidamliligiga ega

Nima uchun VET Energy ni tanlash kerak?

VET Energy Xitoyda SiC qoplama mahsulotlarining yetakchi ishlab chiqaruvchisi, innovatori va yetakchisi bo'lib, asosiy SiC qoplama mahsulotlari quyidagilarni o'z ichiga oladiSiC qoplamali gofret tashuvchisi, SiC bilan qoplanganepitaksial susseptor, SiC bilan qoplangan grafit halqasi, SiC qoplamali yarim oy shaklidagi qismlar, SiC bilan qoplangan uglerod-uglerod kompozit, SiC bilan qoplangan gofretli qayiq, SiC qoplamali isitgichva boshqalar. VET Energy yarimo'tkazgichlar sanoatiga eng so'nggi texnologiya va mahsulot yechimlarini taqdim etishga sodiqdir va xususiylashtirish xizmatlarini qo'llab-quvvatlaydi. Biz Xitoyda sizning uzoq muddatli hamkoringiz bo'lishni chin dildan intiqlik bilan kutamiz.