Tydens die dampfase-epitaksie (VPE) proses, is die rol van die voetstuk om die substraat te ondersteun en eenvormige verhitting tydens die groeiproses te verseker. Verskillende tipes voetstukke is geskik vir verskillende groeitoestande en materiaalstelsels. Die volgende is 'n paar van die algemeen gebruikte voetstuktipes in dampfase.epitaksie:
Vatvoetstuk
Vatvoetstukke word algemeen in horisontale of gekantelde dampfase-epitaksiestelsels gebruik. Hulle kan die substraat vashou en die gas oor die substraat laat vloei, wat help om eenvormige epitaksiale groei te verkry.
Skyfvormige voetstuk (vertikale voetstuk)
Skyfvormige voetstukke is geskik vir vertikale dampfase-epitaksiestelsels, waarin die substraat vertikaal geplaas word. Hierdie ontwerp help om die kontakarea tussen die substraat en die susceptor te verminder, waardeur hitteverlies en potensiële kontaminasie verminder word.
Horisontale suseptor
Horisontale susceptors is minder algemeen in dampfase-epitaksie, maar kan in sommige spesifieke groeistelsels gebruik word om epitaksiale groei in 'n horisontale rigting toe te laat.
Monolitiese epitaksiale reaksie-susseptor
Die monolitiese epitaksiale reaksie-susseptor is ontwerp vir 'n enkele substraat, wat meer akkurate temperatuurbeheer en beter termiese isolasie kan bied, geskik vir die groei van hoëgehalte epitaksiale lae.
Welkom by ons webwerf vir produkinligting en konsultasie.
Ons webwerf: https://www.vet-china.com/
Plasingstyd: 30 Julie 2024