Падчас працэсу парафазнай эпітаксіі (VPE) роля пастамента заключаецца ў падтрымцы падкладкі і забеспячэнні раўнамернага нагрэву падчас працэсу росту. Розныя тыпы пастаментаў падыходзяць для розных умоў росту і матэрыяльных сістэм. Ніжэй прыведзены некаторыя з найбольш часта выкарыстоўваных тыпаў пастаментаў у парафазнай эпітаксіі.эпітаксія:
Пастамент для бочкі
Бочкападобныя пастаменты звычайна выкарыстоўваюцца ў гарызантальных або нахіленых сістэмах эпітаксіі ў паравой фазе. Яны могуць утрымліваць падкладку і дазваляць газу цячы па падкладцы, што дапамагае дасягнуць раўнамернага эпітаксіяльнага росту.
Дыскападобная пастаментная стойка (вертыкальная пастаментная стойка)
Дыскападобныя пастаменты падыходзяць для вертыкальных сістэм эпітаксіі ў паравой фазе, у якіх падкладка размяшчаецца вертыкальна. Такая канструкцыя дапамагае паменшыць плошчу кантакту паміж падкладкай і сусцэтарам, тым самым зніжаючы страты цяпла і патэнцыйнае забруджванне.
Гарызантальны сусцэптар
Гарызантальныя сусцэптары радзей сустракаюцца ў эпітаксіі ў паравой фазе, але могуць выкарыстоўвацца ў некаторых спецыфічных сістэмах росту, каб дазволіць эпітаксіяльны рост у гарызантальным кірунку.
Маналітны эпітаксіяльны рэакцыйны сусцэптар
Маналітны эпітаксіяльны рэакцыйны сусцэтар распрацаваны для адной падкладкі, што дазваляе забяспечыць больш дакладны кантроль тэмпературы і лепшую цеплавую ізаляцыю, што падыходзіць для росту высакаякасных эпітаксіяльных слаёў.
Вітаем на нашым сайце, дзе вы можаце атрымаць інфармацыю пра сваю прадукцыю і кансультацыі.
Наш сайт: https://www.vet-china.com/
Час публікацыі: 30 ліпеня 2024 г.