Գոլորշային փուլի էպիտաքսիայի (VPE) գործընթացի ընթացքում պատվանդանի դերը հիմքը պահելն ու աճի գործընթացի ընթացքում միատարր տաքացումն ապահովելն է: Պատվանդանների տարբեր տեսակներ հարմար են տարբեր աճի պայմանների և նյութական համակարգերի համար: Ստորև բերված են գոլորշային փուլում սովորաբար օգտագործվող պատվանդանների որոշ տեսակներ:էպիտաքսիա:
Տակառային պատվանդան
Հորիզոնական կամ թեքված գոլորշու փուլի էպիտաքսիալ համակարգերում սովորաբար օգտագործվում են տակառային պատվանդաններ։ Դրանք կարող են պահել հիմքը և թույլ տալ գազին հոսել հիմքի վրայով, ինչը նպաստում է միատարր էպիտաքսիալ աճի ապահովմանը։
Սկավառակաձև պատվանդան (ուղղահայաց պատվանդան)
Սկավառաձև պատվանդանները հարմար են ուղղահայաց գոլորշու փուլի էպիտաքսիային համակարգերի համար, որոնցում հիմքը տեղադրված է ուղղահայաց: Այս դիզայնը նպաստում է հիմքի և ընկալիչի միջև շփման մակերեսի կրճատմանը, դրանով իսկ նվազեցնելով ջերմության կորուստը և հնարավոր աղտոտումը:
Հորիզոնական սուսեկտոր
Հորիզոնական սուսեպտորները գոլորշու փուլի էպիտաքսիալում ավելի քիչ են տարածված, սակայն կարող են օգտագործվել որոշ կոնկրետ աճի համակարգերում՝ հորիզոնական ուղղությամբ էպիտաքսիալ աճը թույլ տալու համար։
Մոնոլիտ էպիտաքսիալ ռեակցիայի ընկալիչ
Մոնոլիտ էպիտաքսիալ ռեակցիայի ընկալիչը նախատեսված է մեկ հիմքի համար, որը կարող է ապահովել ավելի ճշգրիտ ջերմաստիճանի կառավարում և ավելի լավ ջերմամեկուսացում, հարմար է բարձրորակ էպիտաքսիալ շերտերի աճի համար։
Բարի գալուստ մեր կայք՝ ապրանքների վերաբերյալ տեղեկատվության և խորհրդատվության համար։
Մեր կայքը՝ https://www.vet-china.com/
Հրապարակման ժամանակը. Հուլիս-30-2024