Tijdens het dampfase-epitaxieproces (VPE) dient de pedestal om het substraat te ondersteunen en te zorgen voor een gelijkmatige verwarming tijdens het groeiproces. Verschillende typen pedestals zijn geschikt voor verschillende groeiomstandigheden en materiaalsystemen. Hieronder volgen enkele veelgebruikte pedestaltypen in de dampfase-epitaxie.epitaxie:
Tonvormig voetstuk
Vatvormige voetstukken worden vaak gebruikt in horizontale of gekantelde dampfase-epitaxiesystemen. Ze kunnen het substraat vasthouden en zorgen ervoor dat het gas over het substraat kan stromen, wat bijdraagt aan een uniforme epitaxiale groei.
Schijfvormig voetstuk (verticaal voetstuk)
Schijfvormige voetstukken zijn geschikt voor verticale dampfase-epitaxiesystemen, waarbij het substraat verticaal wordt geplaatst. Dit ontwerp helpt het contactoppervlak tussen het substraat en de susceptor te verkleinen, waardoor warmteverlies en mogelijke verontreiniging worden beperkt.
Horizontale susceptor
Horizontale susceptoren komen minder vaak voor bij dampfase-epitaxie, maar kunnen in sommige specifieke groeisystemen worden gebruikt om epitaxiale groei in horizontale richting mogelijk te maken.
Monolithische epitaxiale reactie-susceptor
De monolithische epitaxiale reactiesusceptor is ontworpen voor één enkel substraat, wat zorgt voor een nauwkeurigere temperatuurregeling en betere thermische isolatie, en is daardoor geschikt voor de groei van hoogwaardige epitaxiale lagen.
Welkom op onze website voor productinformatie en advies.
Onze website: https://www.vet-china.com/
Geplaatst op: 30 juli 2024