Tijdens het dampfase-epitaxieproces (VPE) is de rol van de sokkel het ondersteunen van het substraat en het garanderen van een gelijkmatige verwarming tijdens het groeiproces. Verschillende soorten sokkels zijn geschikt voor verschillende groeiomstandigheden en materiaalsystemen. Hieronder volgen enkele veelgebruikte sokkeltypen in de dampfase.epitaxie:
Vat voetstuk
Vatvormige voetstukken worden vaak gebruikt in horizontale of gekantelde dampfase-epitaxiesystemen. Ze kunnen het substraat vasthouden en het gas eroverheen laten stromen, wat bijdraagt aan een uniforme epitaxiale groei.
Schijfvormige sokkel (verticale sokkel)
Schijfvormige voetstukken zijn geschikt voor verticale dampfase-epitaxiesystemen, waarbij het substraat verticaal wordt geplaatst. Dit ontwerp helpt het contactoppervlak tussen het substraat en de susceptor te verkleinen, waardoor warmteverlies en mogelijke besmetting worden verminderd.
Horizontale susceptor
Horizontale susceptoren komen minder vaak voor bij dampfase-epitaxie, maar kunnen in sommige specifieke groeisystemen worden gebruikt om epitaxiale groei in horizontale richting mogelijk te maken.
Monolithische epitaxiale reactie-susceptor
De monolithische epitaxiale reactiesusceptor is ontworpen voor een enkel substraat en kan zorgen voor een nauwkeurigere temperatuurregeling en betere thermische isolatie, geschikt voor de groei van hoogwaardige epitaxiale lagen.
Welkom op onze website voor productinformatie en advies.
Onze website: https://www.vet-china.com/
Plaatsingstijd: 30-07-2024