Дар раванди эпитаксияи фазаи буғӣ (VPE), нақши поя аз дастгирии субстрат ва таъмини гармии якхела дар раванди афзоиш иборат аст. Намудҳои гуногуни пояҳо барои шароити гуногуни афзоиш ва системаҳои моддӣ мувофиқанд. Дар зер баъзе аз намудҳои пояҳои маъмулан истифодашаванда дар фазаи буғӣ оварда шудаанд.эпитаксия:
Пойдевори милӣ
Пойдеворҳои баррелӣ одатан дар системаҳои эпитаксии фазаи буғии уфуқӣ ё майлдошта истифода мешаванд. Онҳо метавонанд субстратро нигоҳ доранд ва имкон диҳанд, ки газ аз болои субстрат ҷорӣ шавад, ки ба ноил шудан ба афзоиши якхелаи эпитаксиалӣ мусоидат мекунад.
Пояи шакли диск (пояи амудӣ)
Пойдеворҳои шакли диск барои системаҳои эпитаксияи фазаи амудии буғӣ, ки дар онҳо субстрат амудӣ ҷойгир карда мешавад, мувофиқанд. Ин тарҳ ба кам кардани майдони тамос байни субстрат ва суссептор мусоидат мекунад ва бо ин васила талафоти гармӣ ва ифлосшавии эҳтимолиро кам мекунад.
Санҷандаи уфуқӣ
Сусепторҳои уфуқӣ дар эпитаксияи фазаи буғӣ камтар маъмуланд, аммо метавонанд дар баъзе системаҳои мушаххаси афзоиш барои имкон додани афзоиши эпитаксиалӣ дар самти уфуқӣ истифода шаванд.
Суссептори реаксияи эпитаксиалии монолитӣ
Сусептори реаксияи эпитаксиалии монолитӣ барои як субстрат тарҳрезӣ шудааст, ки метавонад назорати дақиқтари ҳарорат ва изолятсияи беҳтари гармиро таъмин кунад ва барои афзоиши қабатҳои эпитаксиалии баландсифат мувофиқ бошад.
Барои гирифтани маълумот дар бораи маҳсулот ва машварат ба вебсайти мо хуш омадед.
Вебсайти мо: https://www.vet-china.com/
Вақти нашр: 30 июли соли 2024