Rè pròiseas epitaxis ìre smùide (VPE), is e ròl a’ pheideil taic a thoirt don t-substrate agus dèanamh cinnteach à teasachadh cunbhalach rè a’ phròiseas fàis. Tha diofar sheòrsaichean pheideil freagarrach airson diofar shuidheachaidhean fàis agus siostaman stuthan. Seo cuid de na seòrsaichean pheideil a thathas a’ cleachdadh gu cumanta ann an ìre smùide.epitaxis:
Peidestal baraille
Bithear a’ cleachdadh peidistalan baraille gu cumanta ann an siostaman epitaxy ìre smùide còmhnard no claon. Faodaidh iad an t-substrate a chumail agus leigeil leis a’ ghas sruthadh thairis air an t-substrate, a chuidicheas le bhith a’ coileanadh fàs epitaxial cunbhalach.
Peidestal cumadh diosc (peidestal dìreach)
Tha peidiseanan diosc-chruthach freagarrach airson siostaman epitaxy ìre smùide dìreach, anns a bheil an t-substrate air a chur gu dìreach. Bidh an dealbhadh seo a’ cuideachadh le bhith a’ lughdachadh an àite conaltraidh eadar an t-substrate agus an glacadair, agus mar sin a’ lughdachadh call teas agus truailleadh a dh’fhaodadh a bhith ann.
Glacadair còmhnard
Tha gabhadairean còmhnard nas ainneimhe ann an epitaxy ìre smùide, ach faodar an cleachdadh ann an cuid de shiostaman fàis sònraichte gus leigeil le fàs epitaxial ann an taobh còmhnard.
Gabhadair ath-bhualadh epitaxial monolithic
Tha an glacadair ath-bhualadh epitaxial monolithic air a dhealbhadh airson aon fho-strat, a bheir seachad smachd teothachd nas mionaidiche agus dealachadh teirmeach nas fheàrr, freagarrach airson fàs sreathan epitaxial àrd-inbhe.
Fàilte gu ar làrach-lìn airson fiosrachadh mu thoraidhean agus co-chomhairleachadh.
An làrach-lìn againn: https://www.vet-china.com/
Àm puist: 30 Iuchar 2024