A gőzfázisú epitaxia (VPE) folyamat során az emelvény szerepe az aljzat megtámasztása és az egyenletes melegítés biztosítása a növekedési folyamat során. A különböző típusú emelvények alkalmasak különböző növekedési körülményekhez és anyagrendszerekhez. Az alábbiakban a gőzfázisban gyakran használt emelvénytípusok közül néhányat ismertetünk.epitaxia:
Hordó talapzat
A hordó alakú talapzatokat gyakran használják vízszintes vagy döntött gőzfázisú epitaxiális rendszerekben. Ezek megtartják az aljzatot, és lehetővé teszik a gáz áramlását az aljzat felett, ami elősegíti az egyenletes epitaxiális növekedést.
Korong alakú talapzat (függőleges talapzat)
A korong alakú talapzatok alkalmasak függőleges gőzfázisú epitaxiális rendszerekhez, amelyekben az aljzatot függőlegesen helyezik el. Ez a kialakítás segít csökkenteni az aljzat és a szuszceptor közötti érintkezési területet, ezáltal csökkentve a hőveszteséget és a potenciális szennyeződést.
Vízszintes szuszceptor
A vízszintes szuszceptorok ritkábban fordulnak elő gőzfázisú epitaxiában, de bizonyos specifikus növekedési rendszerekben alkalmazhatók az epitaxiális növekedés vízszintes irányú lehetővé tételére.
Monolitikus epitaxiális reakciószuszceptor
A monolitikus epitaxiális reakciószuszceptort egyetlen hordozóra tervezték, amely pontosabb hőmérséklet-szabályozást és jobb hőszigetelést biztosít, alkalmassá téve kiváló minőségű epitaxiális rétegek növesztésére.
Üdvözöljük weboldalunkon, ahol termékinformációkat és konzultációt talál.
Weboldalunk: https://www.vet-china.com/
Közzététel ideje: 2024. július 30.