Under dampfaseepitaksi (VPE)-prosessen er sokkelens rolle å støtte substratet og sikre jevn oppvarming under vekstprosessen. Ulike typer sokkeler er egnet for forskjellige vekstforhold og materialsystemer. Følgende er noen av de vanligste sokkeltypene i dampfase.epitaksi:
Tønnesokkel
Tønnesokler brukes ofte i horisontale eller skråstilte dampfaseepitaksisystemer. De kan holde substratet og la gassen strømme over substratet, noe som bidrar til å oppnå jevn epitaksial vekst.
Skiveformet pidestall (vertikal pidestall)
Skiveformede pidestaller er egnet for vertikale dampfaseepitaksisystemer, der substratet plasseres vertikalt. Denne designen bidrar til å redusere kontaktområdet mellom substratet og susceptoren, og reduserer dermed varmetap og potensiell forurensning.
Horisontal mottaker
Horisontale susceptorer er mindre vanlige i dampfaseepitaksi, men kan brukes i noen spesifikke vekstsystemer for å tillate epitaksial vekst i horisontal retning.
Monolittisk epitaksial reaksjonsmottaker
Den monolittiske epitaksiale reaksjonssusceptoren er designet for et enkelt substrat, som kan gi mer presis temperaturkontroll og bedre termisk isolasjon, egnet for vekst av epitaksiale lag av høy kvalitet.
Velkommen til nettsiden vår for produktinformasjon og konsultasjon.
Vår nettside: https://www.vet-china.com/
Publisert: 30. juli 2024